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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 .zdaY, U  
                                             H0OO +MCe  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 L;*7p9  
    w+ ')wyB  
    建模任务 rlh:| #GTJ  
    Xa>'DO2  
    系统构建块-扫描源                                                     8 0nu^ _  
    \(Nx)F  
    How to Set Up a Scanning Source ]SAY\;,_  
                                                                                   Q{S{|.w-  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 UZFs ]z!,k  
    sM)1w-  
    系统构建块-参数耦合 )P9]/y  
       :D3:`P>,c  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion c oZK  
                                                                                       q90RTX'CY  
    系统构建块-失真分析仪 '")'h  
                                                                               `'iO+/;GY  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 J?#vL\8  
     M]Vi]s  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               rd%uc~/  
    w2b(,w  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         3 []ltN_  
    yph@H!@  
    r<(UN@T}  
     5#|&&$)  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: PtQ[({d3R  
    _\IA[-C+O  
    Universal Detector !jB}}&Ii  
                                                                                   <%w TI<m,-  
    总结-组件… T}?b,hNl$  
    C[Q4OAFG  
     #"r_ 3  
    系统观感   WQCnkP  
     X7K{P_5l  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ]b;a~Y0  
    fO5L[U^`  
     {I0!q"sF  
    性能评估-点位偏差 _-{=Z=?6}  
    \rh+\9(  
                                       }+`,AC`RM  
    性能评估-光斑直径测量                                                       :8bq0iqsV  
    f:P;_/cJc  
    P5G0fq7  
    #sF#<nHZ  
    +Q5'!@8  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 !a V:T&6  
    )AieO-4*  
    VirtualLab Fusion技术 [Pq |6dz  
     {%('|(57  
     
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