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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 dX{|-;6vm  
                                             !}|n3wQ  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 A-1Wn^,> *  
    %&5 !vK  
    建模任务 \k/ N/&;  
    lrB@n?hk  
    系统构建块-扫描源                                                     K,bv\j;f  
    Re-~C[zwT  
    How to Set Up a Scanning Source PN[ `p1F  
                                                                                   I>o+INb:  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ]#P9.c_}  
    (xpj?zlmM  
    系统构建块-参数耦合 6js94ko[  
       ]3wg-p+  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion *,5V;7OR  
                                                                                       Pj>r(Cv  
    系统构建块-失真分析仪 Ls)y.u  
                                                                               Q( .d!CQ>  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 .^j #gE&B  
     *gfx'$  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               j9n3  
    kmPK |R  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         >B/ jTn5=  
    }UJS*mR  
    /uS(Z-@  
     \.y|=Ql_u  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: T#xCu|5  
    0gO<]]M?  
    Universal Detector xZW6Hk _  
                                                                                   5A/8G}'XZ  
    总结-组件… g^@ Kx5O\  
    {i y[8eLg  
     pV{MW#e  
    系统观感   ?F]Yebp^  
     9~98v;Z1  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 %7%7 W*0d  
    w|:UTJ>@  
     HMGby2^+  
    性能评估-点位偏差 w^Qb9vTa8  
    .| CcUmx  
                                       |&B.YLx  
    性能评估-光斑直径测量                                                       L&M6s f$N  
    sG`||Kb;n  
    l[lUmE  
    .}>d[},F  
    l G12Su/  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 O 4@sN=o  
    :Y/i%#*1  
    VirtualLab Fusion技术 9 X}F{!p~1  
     qYv/" 1  
     
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