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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 XEF|B--,  
                                             3~"G(UP  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 6i/x"vl>  
    )5Ddvz>+  
    建模任务 )bZS0f-  
    r;`6ML[5Vx  
    系统构建块-扫描源                                                     AZ)H/#be  
    4h>Dpml  
    How to Set Up a Scanning Source bk E4{P"  
                                                                                   g{@q  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 _ x&Y'X|  
    \ajy%$;$}  
    系统构建块-参数耦合 a3i4eGT-  
       >Vr+\c  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion (W3~r  
                                                                                       _94|^   
    系统构建块-失真分析仪 'AN3{  
                                                                               ql5NSQ>{  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 'c 0]8Y 4  
     =[!&&,c=  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               :ND5po#(  
    "?|sC{'C4j  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         YC#N],#  
    ]}2+yK  
    &MnS( 82L  
     {D1"bDZ  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: (tV/.x*G  
    ~:r:?PwWG  
    Universal Detector q]3bGO;  
                                                                                   Jg=[!j0(  
    总结-组件… v*'dA^Q  
    bCY8CIF  
     yTWP1  
    系统观感   PSz|I8 c  
     \Tf845  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 =Jfo=`da  
    0R&$P 6  
     )(`I1"1   
    性能评估-点位偏差 h.@5vhD  
    ~aKxwH  
                                       E7-il;`cKn  
    性能评估-光斑直径测量                                                       I/D (gY06<  
    iE$qq ~%  
    -@{5 u d  
    \EF^Ag  
    Dbt"}#uit;  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 B2Qt tcJ  
    xMNUy B{?  
    VirtualLab Fusion技术 F)'kN2  
     '{+5+ J  
     
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