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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 YbLW/E\T  
                                             /7LR;>Bj  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 H']+L~j  
    |&jXp%4T  
    建模任务 Aa]"   
    SY8C4vb'h  
    系统构建块-扫描源                                                     'm9` 12 H  
    L8n|m!MOD  
    How to Set Up a Scanning Source "h ^Z  
                                                                                   A70d\i  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Qci]i)s$js  
    b>$S<td  
    系统构建块-参数耦合 ?hM64jI|  
       ::F|8  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion O1kl70,`R  
                                                                                       (9h`3#  
    系统构建块-失真分析仪 )_NO4`ejs/  
                                                                               \C1nZk?3  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 E!AE4B1bd  
     WjjB<YKzF  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               p<;0g9,1  
    {y;n:^  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         QdC<Sk!G  
    R FH0  
    M@ZI\  
     t0I{q0  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Lh<).<S  
    uwBi W  
    Universal Detector E~:x(5'%d  
                                                                                   &VcV$8k  
    总结-组件… o`RKXfCq  
    +'w3 =2Bo  
     2Wb]4-  
    系统观感   x$%!U[!3  
     j8`BdKg  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Oc; G(l(  
    @ry_nKr9  
     ?F;8Pa/  
    性能评估-点位偏差 PiYxk+N  
    ofv)SCjd  
                                       = 9]~ yt  
    性能评估-光斑直径测量                                                       J)C/u{o  
    #C3.Jef  
    +?!(G}5  
    ?I@W:#>o  
    &`XVq" 7  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 >e"#'K0?\  
    DDH:)=;z  
    VirtualLab Fusion技术 Wiu"k%Qsh  
     #YOA`m,'  
     
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