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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 &$V&gAN  
                                             CwL8-z0 Jn  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 dW4FMm>|  
    Ks>l=5~v|  
    建模任务 .G~Y`0  
    /]@1IC{Lk  
    系统构建块-扫描源                                                     n]Z() "D  
    uA]!y{"}J  
    How to Set Up a Scanning Source IBn+4 2V  
                                                                                   :5DL&,,Q3  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 = 9K5f# ;e  
    .I#ss66h  
    系统构建块-参数耦合 iS@+qWo1  
       m.g2>r`NU  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion &&s3>D^Ta  
                                                                                       E8LZ% N#  
    系统构建块-失真分析仪 L8WYxJ k  
                                                                               |~d8j'rt  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 6VQe?oh  
     ">|G^ @|:A  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               sWKe5@-o0  
    HVLj(_ A  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         AS-%I+ A  
    <u Kd)l  
    ->S# `"@$  
     pcC/$5FQ  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: I8%Uyap{  
    B ?%g@d-;  
    Universal Detector nb|KIW  
                                                                                   \96aHOk<  
    总结-组件… ~\]lMsk+  
    tM DJ,rT  
     >2BWie?T  
    系统观感   ygo4.  
     ~C31=\$  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 fP>~ @^  
    g=)OcTd#  
     TO5#iiM)  
    性能评估-点位偏差 ?igA+(.  
    P ?A:0a  
                                       t E(_Cg  
    性能评估-光斑直径测量                                                       NfsF'v  
    @ i*It Hk  
    jV 98 2Y  
    j#rj_uP  
    QJ^'Uyfdn  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 b sM ]5^  
    |?\J,h  
    VirtualLab Fusion技术 k"$E|$  
     kW4B @Zh  
     
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