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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 前天 08:37
    摘要 Us%g&MWdpb  
                                             R%`fd *g  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ^-"tK:{  
    SErh"~[  
    建模任务 ~ ^fb`f+%  
    ^,`]Q)P^  
    系统构建块-扫描源                                                     n|B<rx?v  
    dt/-0~U  
    How to Set Up a Scanning Source =o'g5Be<F  
                                                                                   xWM?E1@  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 X(Z(cY(  
    4P#4R B  
    系统构建块-参数耦合 KWM}VZY:Z  
       ~6+>2|wIS  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion w zi7pJjXh  
                                                                                       q(v|@l|)yO  
    系统构建块-失真分析仪 ST,+]p3L(  
                                                                               /L./-92NH4  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 f*VXg[&\\F  
     (B03f$8}*_  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               U U#tm  
    sH]T1z  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         3EE_"}H>  
    C u1G8t-  
    [&(~1C|C  
     S>jOVWB  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 86a,J3C[  
    3\cx(  
    Universal Detector { _Y'%Ggh  
                                                                                   cg9*+]rc  
    总结-组件… *w}r:04F  
    }ktK*4<k  
     9_ ~9?5PU  
    系统观感   N0N%~3  
     qx*N-,M%k(  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 9Q\RCl_1  
    p(9[*0.};  
     U~dqxR"Q  
    性能评估-点位偏差 FtlJ3fB@  
    A+FQmLS  
                                       B9H.8+~(  
    性能评估-光斑直径测量                                                       mP?}h  
    9#kk5)J  
    SL +\{V2  
    }g:'K  
    9D;ono3  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ]cW Q9  
    MPYYTQ1FB  
    VirtualLab Fusion技术 c5pK%I}O  
     d@zxgn7o  
     
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