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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 YuZnuI@m9  
                                             wpdT "  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 v*pVcBY>  
    Y9N:%[ :>W  
    建模任务 AyUVsIuPT=  
    ;A_QI>>  
    系统构建块-扫描源                                                     `/O_6PQ}  
    LCt m@oN  
    How to Set Up a Scanning Source x8[8z^BV?e  
                                                                                   {<lV=0]  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 U\N`[k.F  
    P<1zXs.H  
    系统构建块-参数耦合 :n=+$Dq  
       WW.=>]7;  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion he,T\ };  
                                                                                       y< 84Gw_  
    系统构建块-失真分析仪 %/7`G-a.B  
                                                                               O;~1M3Ii  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 /D12N'VaE  
     fXN;N&I  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               b3ZPlLx6  
    y =CemJ[~  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         &^Io\  
    <_5z^@N3$  
    Kxq~,g=t  
     fqi5 84  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: >.A{=?   
    :\ S3[(FV  
    Universal Detector |b@-1  
                                                                                   2neiUNT  
    总结-组件… C..O_Zn{g  
    F 1BPzRo`  
     P)3e^~+A  
    系统观感   (Q@+W |~  
     I<$lpU_H  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 _$\T;m>'A  
    rei<{woX  
     /2c?+04+  
    性能评估-点位偏差 KF.?b]  
    2axH8ONMu  
                                       )gE:@ 3  
    性能评估-光斑直径测量                                                       !e?\> '  
    SpkD  
    GYBM]mW^ W  
    =T1i(M#  
    | .PLfc;  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 W6Hiqu+  
    +f+\uObi:  
    VirtualLab Fusion技术 )Aj~ xA  
     SkY|.w.   
     
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