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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 nKR{ug>I)  
                                             c,so`I3rI  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 s,bERN7'yO  
    IJTtqo  
    建模任务 ZZ QG?("S'  
    W{z.?$ SH  
    系统构建块-扫描源                                                     $,I q;*7N  
    4?N8R$  
    How to Set Up a Scanning Source )%rg?lI  
                                                                                   !$2Z-!  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 pZ`|iLNl-  
    bNT9 H`P  
    系统构建块-参数耦合 ob+euCuJ  
       xw{-9k-~  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion #T`t79*N  
                                                                                       d]9U^iy  
    系统构建块-失真分析仪 %h1N3\y9i(  
                                                                               l4T7'U>`  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Li*eGlId  
     &`b "a!  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Cs2;z:O]  
    Z*G(5SqUh"  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         imQUR C  
    (E,T#uc{  
    R+g z<H.Q  
     Q1V9PRZX  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: }@if6(0  
    f7Ul(D:j\  
    Universal Detector NM)k/?fA  
                                                                                   +cb6??H  
    总结-组件… jYNrD"n  
    No2b" G@  
     :Hxv6  
    系统观感   G0E121`h  
     5SCKP<rb  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 $d?.2Kg  
    4k./(f2+  
     <dyewy*.L  
    性能评估-点位偏差 tabT0  
    8Sz})UZ  
                                       54zlnM$  
    性能评估-光斑直径测量                                                       [qsEUc+Z.'  
    5zON}"EC  
    tTd\|  
    ){jl a,[  
    5nbEf9&  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 #^+DL]*l  
    A'P(a`  
    VirtualLab Fusion技术 @{Gncy|  
     #c^^=Z  
     
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