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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 h5.u W8  
                                             |_ E)2b:h  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~{oM&I|d8  
    pgfI1`h  
    建模任务 D@FJVF7c  
    _K8ob8)m  
    系统构建块-扫描源                                                     <JDkvpckx.  
    {BDp`uZ  
    How to Set Up a Scanning Source { ~FYiX  
                                                                                   8xZN4ck_@  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 @va)j   
    bsR&%C  
    系统构建块-参数耦合 @tRq(*(/:  
       r68'DJ&m3  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion UACWs3`s+  
                                                                                       p8Ts5n  
    系统构建块-失真分析仪 $yI!YX&  
                                                                               9^3y\@ m  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 qbFzA i  
     z9u"?vdA  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               \{P(s:  
    pkM_ @K  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         6ZR'1_i6i=  
    r8}GiP0|  
    }I9\=jT  
     ^t?P32GJ  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: tAPqbi$a  
    a$l/N{<.  
    Universal Detector t/#[At5p=  
                                                                                   Tr-gdX ;  
    总结-组件… nkSYW]aQ1g  
    khyn4   
     %, XyhS5[o  
    系统观感   wBA[L}  
     /F5g@ X&  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 U8\[8~Xftn  
    1#&*xF "  
     y8D'V)B  
    性能评估-点位偏差  Jx[IHE  
    8m2-fuJz  
                                       K #}DXq  
    性能评估-光斑直径测量                                                       AN\:  
    tz6d}$  
    MrXhVZ"d*  
    U(3{6^>Gc  
    C;y3?+6P$  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 r ~si:?6:  
    ??CtmH  
    VirtualLab Fusion技术 Q!(C$&f  
     .u>IjK^  
     
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