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摘要 )gR !G]Y
 ^.9I[Umua F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ^l\^\ >8 9}2E + 建模任务 *0`oF TJ
 ,@ Izx
系统构建块-扫描源 Ih.6"ISK}  a jCx"J How to Set Up a Scanning Source kWgZIkY Fhn=}7|4q 系统构建块-透镜系统组件 )R2BTE:  8f<[Bu ze 系统构建块-参数耦合 2$ O @T]  93npzpge
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion a9GLFA8Vq
bNG;`VZ% 系统构建块-失真分析仪 iPxhDn<B
 [J|)DUjt 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 f: h.O# d>
 kMHupROj 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 dik+BBu5z t-$R)vZ}M
通用探测器和探测器附加组件 ,/;mK_6 |QvG;{!
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u Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 0NB6S&lI^k GP5Y5 ) Universal Detector <<da TQV l*|^mx^Q 总结-组件… "3*Chc
 Xh/i5}5 t
 j3bTa|UdT 系统观感 64^dy V,;
Ab <4F 7 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 h7-!q@
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 $C UmRi{T 性能评估-点位偏差 $S Q8,Y,
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 FBM 73D@` 性能评估-光斑直径测量 ->oQ,ezB yWACI aj  B8^tIq
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 0}YR=
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VirtualLab Fusion技术 mN^92@eebC
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