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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 ;f =m+QXU  
                                             (k?H T'3)  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 HeOdCr-PN  
    b6bs .  
    建模任务 flsejj$  
    "f,{d}u  
    系统构建块-扫描源                                                     }d<R 5  
    Q?#I{l)V(  
    How to Set Up a Scanning Source CIjc5^Y2  
                                                                                   f8Iddm#  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ?13qDD:  
    Cf 2@x  
    系统构建块-参数耦合 cJ;Nh>ey  
       VPe0\?!d  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion FJ:^pROpm  
                                                                                       x4oWZEd  
    系统构建块-失真分析仪 l3>S{  
                                                                               uu9M}]mDl  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 <kak9 6A  
     uM-,}7f7  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               tAdE<).!  
    UEU/505  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         V!W.P  
    \D7bTn  
    Vw;Z0_C  
     MUO<o  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: bMyld&ga  
    Zt`Tg7m  
    Universal Detector fpD$%.y'J  
                                                                                   "& ,ov#  
    总结-组件… CSO'``16  
    m`/Nl<  
     .Pb-{!$Ni  
    系统观感   ?sf<cFF  
     KdkA@>L!;  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 9)Fx;GxL  
    CMa6':~  
     VdLoi\-/L  
    性能评估-点位偏差 CXa[%{[n  
    M/zO|-j&  
                                       E}@C4pS  
    性能评估-光斑直径测量                                                       A,}M ^$@  
    p3I"LY  
    %;PpwI  
    '7Gv_G_  
    . %RM8  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 b;k+N`  
    3S^0%"fY  
    VirtualLab Fusion技术 ;cor\ R  
     J:xGEa t  
     
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