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摘要 wqD5d
 K>1X}ZMdD( F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 9s` /~ a@ alm-
r-Kb3 建模任务 t`G)b&3_O
 5]"SGP
系统构建块-扫描源 +l?; )  *7" L]6 How to Set Up a Scanning Source *Oo &}oAj S #8 >ZwQ 系统构建块-透镜系统组件 {J]-<:XD  E'c%d[:H, 系统构建块-参数耦合 -2i\G .,J  }+R B=#~o
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion IfV
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b |7ja_ 系统构建块-失真分析仪 ZPO|<u R
 :\yc*OtX 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 'iUg[{'+
 B@t'U=@7 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 I^3:YV R& VC- ;S7k
通用探测器和探测器附加组件 Q$ZHv_VLx ! gP0ndRJ=
 O~ @fXMthh
 NY.k. Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: c
~F dx -<N&0F4|* Universal Detector I*\ ^,ow Bct"X#W|& 总结-组件… H?yE3 w
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p 系统观感 S KXD^OH
Vhg1/EgUr 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 oRq!=eUu_
ohQAA h
 xxa} YIe8 性能评估-点位偏差 qv+R:YYOq
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 @"|i"Hk^ 性能评估-光斑直径测量 P7GRSjG X-JV'KE}^z  rZwB> c
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 .FP$ IWt/1
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VirtualLab Fusion技术 uS5o?fg\e
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