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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 `&:>?Y/X2  
                                             m al?3*x/  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 R; ui 4wg6  
    '=`af>Nc  
    建模任务 %O$=%"D6  
    :*ZijN*{)$  
    系统构建块-扫描源                                                     P(.XB`  
    h0 Xc=nj  
    How to Set Up a Scanning Source 3Rhoul[S  
                                                                                   n/{ pQ&B  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ?_B'#,tI  
    mT/^F{c  
    系统构建块-参数耦合 o)GesgxFa5  
       ~d3|zlh  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion _<GXR ?  
                                                                                       q|}O-A*wa  
    系统构建块-失真分析仪 z(u,$vZ _  
                                                                               r~G  amjS  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 q"5\bh1"  
     <=Saf.  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               I Z|EPzS  
    ?O Puv5!pI  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         !+z&] S3s  
    ;Y,zlq2  
    IE3GZk+a~  
      ^Kl*}  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 8>9MeDE  
    (f2r4Io|}  
    Universal Detector 9^8_^F  
                                                                                   voFg6zoV_  
    总结-组件… T[I7.8g  
    F|G v  
     )5`~WzA  
    系统观感   iaJLIrl  
     j]U~ZAn,K  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 qnb/zr)p  
    l_4 ^TYF  
     vw$b]MO!  
    性能评估-点位偏差 ?-~<Vc*  
    A9KPU:  
                                       ;<*USS6X  
    性能评估-光斑直径测量                                                       505ejO|  
    K"[\)&WBG  
    ]9~Il#  
    xSm~V3b c  
    zf]e"e  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 %Eugy  
    V(XZ7<& {  
    VirtualLab Fusion技术 -GMaK.4 =  
     cNikLd~?A  
     
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