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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 z2GT9  
                                             1-=zSWmyK  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 MSMgaw?  
    ^:c"%<"='  
    建模任务 cI Byv I-  
    Q ]u*Oels  
    系统构建块-扫描源                                                     MiX*PqNTM  
    [H!8m7i;  
    How to Set Up a Scanning Source @9wug!,  
                                                                                   c G`R\ $  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ]5=C3Y  
    = +=k(*  
    系统构建块-参数耦合 nd 5w|83  
       G2{.Ew  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ?+WSYg0  
                                                                                       5l&9BS&  
    系统构建块-失真分析仪 -X6[qLq  
                                                                               !PFc)J  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 6tBh`nYB=  
     @sV6g?{tI  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               q-;z!iq|!  
    kh'R/Dt  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         #!WD1a?L  
    a_pNFe  
    !M[a/7x,p  
     5V^+;eO  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: `XJU$c  
    }4; \sY  
    Universal Detector ezC2E/#  
                                                                                   ^,$>z*WQ.  
    总结-组件… >c~ Fg s  
    XSu9C zx&I  
     ^@&RJa-kb  
    系统观感   +])St3h  
     }h6 N.vz  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ]y3'6!  
    -<'&"-  
     \.R+|`{tf  
    性能评估-点位偏差 Y-.pslg  
    nEZo F  
                                       (oYM}#Q  
    性能评估-光斑直径测量                                                       1i.t^PY  
    jtMN)TM  
    6n 2LG  
    UY_'F5X  
    <Q4yN!6  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 q x1}e  
    @"6dq;"  
    VirtualLab Fusion技术 BtSl%(w  
     4mG?$kCN  
     
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