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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 p%+ 0^]v1  
                                             p<?~~7V  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。  4%LG9hS  
    \O/" F;  
    建模任务 kV!0cLH!hH  
    F\Q)l+c  
    系统构建块-扫描源                                                     3hab51J  
    gF^l`1f"  
    How to Set Up a Scanning Source =xQ 7:TB  
                                                                                   Q~G+YjM3  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 -Cd4yWkO  
    oF,XSd  
    系统构建块-参数耦合 EXH{3E54)`  
       %P0dY:L~  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion JiEcPii  
                                                                                       #B8`qFpQC  
    系统构建块-失真分析仪 P0~3<h?U8  
                                                                               q@F"fjWBr  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 [6K2V:6:  
     |Yh-`~~A"  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               h?j;*|o-  
    @k <RX'~q  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         2hEB?ZAQZ  
    .3?'+KZ,  
    >F8&wh'BjY  
     k(C?6Gfj  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: z}.!q{Q  
    4q/E7n  
    Universal Detector >hoIJZP,  
                                                                                   ZLyJ  
    总结-组件… oo) P(_"u  
    8A"[n>931  
     t;Jt+k~  
    系统观感   >s1FTB-$W  
     1 iS9f~  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 fU@}]&  
    RKdf1C  
     2_vE  
    性能评估-点位偏差 $5GvF1  
    GC66n1- X  
                                       }r]WB)_w  
    性能评估-光斑直径测量                                                       %\_I% yF  
    0t}=F 4@&a  
    t!c8 c^HR  
    JmrQDO_(  
    8xj4N%PA  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 }U7>_b2  
    S+ymdZ)xZ`  
    VirtualLab Fusion技术 -))>7skc  
     #j d?ocoY  
     
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