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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 LL e*| :  
                                             )zxb]Pg+  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。  oYN"L  
    8n5~K.;<  
    建模任务 B<I(t"s  
    D;P=\i>9-  
    系统构建块-扫描源                                                     ?+.mP]d_  
    [ iTP:8  
    How to Set Up a Scanning Source 2L&c91=wE  
                                                                                   aM $2lR])J  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 /[_aK0U3  
    e#/&A5#Ya  
    系统构建块-参数耦合 Gl>\p  
       Q!q6R^5!K  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion {3  
                                                                                       O(I^:_eH  
    系统构建块-失真分析仪 ?7NSp2aq2A  
                                                                                `vH|P  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 zH~P-MqC  
     ,mz;$z6i  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               -7&ywgxl  
    h |]cZMGo  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         26/<\{q~  
    U^KWRqt  
    _{`Z?lt  
     8p 4[:M@  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: xF{%@t  
    z@VL?A(3  
    Universal Detector $\ZWQct  
                                                                                   N*36rR$^  
    总结-组件… D\5+2 G  
    In1{&sS  
     79;uHR&S  
    系统观感   kFE9}0-   
     KyrZ&E.`  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Rf0so   
    +A8q.-N G  
     AM=,:k$  
    性能评估-点位偏差 oIO@#   
    02Vfg42  
                                       *KNfPh#wi}  
    性能评估-光斑直径测量                                                       9@CRL=  
    G%HG6  
    iN8[^,2H|  
    [[c0g6  
    a_!H_J  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Evj%$7H1L1  
    >rlUV"8jY;  
    VirtualLab Fusion技术 |?J57(  
     Z&>Cdgt*  
     
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