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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 M-{*92y& |  
                                             *f79=x  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 M6J/mOVx5  
     ;KZrl`  
    建模任务 'dkXYtKCB  
    q.-y)C) ;  
    系统构建块-扫描源                                                     }KK2WJp#M  
    XR|"dbZW.0  
    How to Set Up a Scanning Source }ppVR$7]0  
                                                                                   }c} ( 5  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Ee&hG[sx  
    +AB6lv  
    系统构建块-参数耦合 3@&bxYXm  
       c\M#5+1j  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion , Hn7(^t  
                                                                                       6MuWlCKF8  
    系统构建块-失真分析仪 3=Z<wD s  
                                                                               Yy]T J  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 \@i=)dA  
     \3r3{X _<`  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               !/947Rn  
    sYI~dU2H  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         t)ld<9)eB  
    [(1O"  
    u,f A!  
     3@G;'|z  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: l<TIG3 bs  
    iSlFRv?a  
    Universal Detector tVunh3-  
                                                                                   i`+B4I8[  
    总结-组件… Tj`yJ!0  
    ` K w7"  
     k5a\Sq}  
    系统观感   ?yp0$r/  
     *wwhZe4V  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 6^sHgYR  
    ]c}=5m/  
     _F izgs  
    性能评估-点位偏差 aM$\#Cx  
    4YLs^1'TG0  
                                       uArR\k(  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ~n6[$WjZA  
    I_?He'=0oU  
    ~Eq\DK  
    ('t kZt%8  
    "x&3Z@q7  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 JvkL37^ n:  
    0O~p7D  
    VirtualLab Fusion技术 )Pli})   
     *zy'#`>  
     
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