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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 $!ATj`}kb  
                                             it#,5#Y:  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 %aB RL6  
    Cd7imj  
    建模任务 JQ~[$OGH  
    |c)hyw?[Y  
    系统构建块-扫描源                                                     O u-/dE%  
    hHsN(v  
    How to Set Up a Scanning Source ] oMtqkiR  
                                                                                   "G[yV>pxv  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 B*3<(eI  
    Wp |qv  
    系统构建块-参数耦合 j(>~:9I`  
       L|*0 A=6  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion j`o_Stbg  
                                                                                       g.wDg  
    系统构建块-失真分析仪 ~ubcD6f  
                                                                               yP^C)  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 {@7xOOAw  
     5{Oq* |  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               K-2oSS56  
    b3M`vJ+{  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ;]PP +h  
    QE Q/  
    unB`n'L  
     >3qfo2K 0  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 9{cpxJ  
    )7jJ3G*  
    Universal Detector  {S$61ut  
                                                                                   ?glK~G!i  
    总结-组件… \5pBK  
    NE)Yd7m-  
     Jmml2?V-c  
    系统观感   ~#];&WE  
     crbph.0  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 $l=&  
    (Zz8 ldO  
     3Ow bU  
    性能评估-点位偏差 @9e}kiW  
    5XzN%<_h9  
                                       [lz#+~rOS  
    性能评估-光斑直径测量                                                       \n>7T*iM&  
    uefrE53  
    35KRJY#  
    .gclE~h.  
    $V\Dl]a1  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 >n"4M~I  
    Aryp!oW  
    VirtualLab Fusion技术 ]J^/`gc  
     \#sdN#e;XA  
     
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