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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 Q1(6U6L  
                                             %V&I${z  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 `.8#q^  
    {P>%l\?  
    建模任务 ~PAbtY9}U  
    "=r"c$xou  
    系统构建块-扫描源                                                     6ISDY>p  
    </B5^}  
    How to Set Up a Scanning Source #v QyECf  
                                                                                   #m<<]L(o8W  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 6a\YD{D] _  
    %/(>>*}Kw|  
    系统构建块-参数耦合 ,) JSX o  
       q|fZdTw  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion sBfPhBT|  
                                                                                       `*hrU{b  
    系统构建块-失真分析仪 m&X6a C'[  
                                                                               F9&ae*>,  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 >4lT0~V/  
     zkrcsc\Z~0  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               wRi` L7  
    .0zNt  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         J}vxK H#=  
    kW=GFj)L  
    t%f6P  
     _^)<d$R<  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ugI9rxT]Kv  
    m+m,0Ey5H  
    Universal Detector @^';[P!  
                                                                                   HRY?[+  
    总结-组件… 0u'qu2mV  
    <_tkd3t#W  
     *NDM{WB|)  
    系统观感   VY9|8g/  
     }`,}e259  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 +s'qcC  
    tsA+B&R_]  
     bf3Njma%  
    性能评估-点位偏差 02~+$R]L  
    :uD*Q/  
                                       0` {6~p  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ?5<Q+ G0r  
    $`emP Hel  
    rK\)  
    j5EZJ`  
    6DFF:wrm&  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 WD^!G;}  
    !)(c_ uz  
    VirtualLab Fusion技术 vNhi5EU  
     v{}i`|~J  
     
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