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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 }]h \/,  
                                             2bA#D%PHD  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 }V^e7d  
    cgNt_8qC  
    建模任务 3&J&^O  
    ;mJkqbVol  
    系统构建块-扫描源                                                     29O]S8  
    ],?pe  
    How to Set Up a Scanning Source TU%"jb5  
                                                                                   p5SX1PPQ  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 (UW6F4:$  
    %aLCH\e  
    系统构建块-参数耦合 <:cpz* G4  
       G\mKCaI8  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion iB{xvyR  
                                                                                       '?}R4w|)  
    系统构建块-失真分析仪 0!IPcZjY7  
                                                                               (@?eLJlT  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 6:RMU  
     ;F,qS0lzE  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ?Y!^I2Y6  
    y*KC*/'"  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         a2 >[0_E  
    )H+h ;U  
    |F~88j{VN  
     o_:Qk;t  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Zi3T~:0p:  
     ("F)  
    Universal Detector =5_y<0`4  
                                                                                   }@*I+\W/  
    总结-组件… y$h"ty{g  
    o>K &D$J;O  
     C*j9Iaj  
    系统观感   HwW6tQ  
     8}K"IW  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 !Ud:?U  
    w@-b  
     Z%;)@0~f  
    性能评估-点位偏差 \Jf9npz3  
    ;r@!a!NLB  
                                       GRQ_+K  
    性能评估-光斑直径测量                                                       u !.DnKu  
    cI3KB-lM#  
    aL 8Gnqf2  
    eRVY.E<  
    #ZF>WoC@e?  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 8qmknJC  
    _]Ey Ea  
    VirtualLab Fusion技术 p Dm K  
     n`QO(pZ6+  
     
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