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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 =<r1sqf  
                                             #?DoP]1Y  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 "8\2w]"  
    TV?MB(mN  
    建模任务 Eu[/* t+l  
    "|/Q5 *L  
    系统构建块-扫描源                                                     {Lsl2@22  
    =A_fL{ SM  
    How to Set Up a Scanning Source zCmx1Djz  
                                                                                   ^K:-r !v^  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 |+Tq[5&R  
    CWSc#E  
    系统构建块-参数耦合 U<6+2y P  
       !WTL:dk  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Lv<vMIr  
                                                                                       ;e W\41w  
    系统构建块-失真分析仪 |Zdl[|kX  
                                                                               _W>xFBy  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 CEBa,hp@  
     "Ve9\$_s  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ggy9euWV  
    h*\u0yD)  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         j7J'd?l  
    lLS7K8;4W  
    f%rZ2h)  
     /])P{"v$^  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: (P-$tHt  
    ">vi=Tr  
    Universal Detector A5Lzd  
                                                                                   $#E!/vVwD7  
    总结-组件… aAgQ^LY  
    rbrh;\<jM  
     yV*4|EkvW  
    系统观感   KY\=D 2m  
     N t\ZM  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Y;k iU  
    $4BvDZDk`B  
     #tA/)Jvi  
    性能评估-点位偏差 P+DIo7VTX  
    XJ7pX1nf  
                                       (QQkXlJ  
    性能评估-光斑直径测量                                                       T@a|*.V  
    \J(kM,ZJ  
    S1U[{R?,  
    ,( NN)Oj  
    0B: v0 R  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 w8a49Fv  
    I:("f+ H  
    VirtualLab Fusion技术 w1 eFm:'  
     I{=Yuc  
     
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