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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 a.Rp#}f  
                                             07T;IV3#C5  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 OIXAjU*N  
    m>Z\ rqOK  
    建模任务 bgzT3KZ  
    lH,]ZA./  
    系统构建块-扫描源                                                     3G%XG{dg  
    NU)`js  
    How to Set Up a Scanning Source },n,P&M\`  
                                                                                   xnhDW7m  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 'sjJSc  
    Pw^c2TQ  
    系统构建块-参数耦合 DiYJlD&  
       MoKXl?B<  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion S}v{^vR  
                                                                                       L?D~~Jb  
    系统构建块-失真分析仪 >arO$|W  
                                                                               Ch \ed|u  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。  [A%e6  
     >jrz;r  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               o7 @4=m}  
    3"^)bGe  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         }TX'Z?Lq  
    jy__Y=1}  
    T^(n+lv  
     k^dCX+  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: lU50.7<08  
    gGiV1jN _  
    Universal Detector Hs4zJk  
                                                                                   hPqapz]HcP  
    总结-组件… g]@R'2:1  
    T`w};]z^d2  
     .2{C29g  
    系统观感   UTK.tg  
     MMxoKL  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 kq1M <lk  
    m)[wZP*e  
     !irX[,e  
    性能评估-点位偏差 9tc@   
    X!M fJ^)q  
                                       K3r>nGLBo  
    性能评估-光斑直径测量                                                       HDW\S#  
    dV2b)p4J  
    [[66[;  
    ^K 77V$v  
    aIt 0;D  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 1TxhEXB  
    l~6SR  
    VirtualLab Fusion技术 T\e)Czz2-  
     4Utx 9^  
     
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