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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 Ywwu0.H<  
                                        
    /~<@*-'  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 m|G'K[8  
    $b mLu=9  
    建模任务 *I0T{~  
    g pOC`=  
    系统构建块-扫描源                                                
    % oo2/aF  
    OtNd,U.dE  
    How to Set Up a Scanning Source _D+J!f^  
                                                                                   ;&)-;l7M  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 FIsyiSY<j  
    \7'+h5a  
    系统构建块-参数耦合 aYSCw 3C<  
       ?pd8w#O  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion KGFv"u{  
                                                                                  
     .P"D  
    系统构建块-失真分析仪 >o=-$gz`  
                                                                          
    n~V ]Z  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 &:`U&06q  
    k1D@fiz  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               <Pi|J-Y  
    6g)G Y"49  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    =aTv! 8</  
    m*kl  
    2V#>)R#k  
    N <Xq]! K-  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: m+T;O/lG0{  
    7](KV"%V  
    Universal Detector u@cYw:-C  
                                                                                   Z '7  
    总结-组件 L bmawi^  
     ^0 \  
    j=r P:#  
    系统观感   /x p|  
    XLrwxj0  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 /$p6'1P8  
    [UWd W  
    %#xaA'? [  
    性能评估-点位偏差 ,tu.2VQc@  
    NdD`Hn -  
                                  
    R[hzMU}KB  
    性能评估-光斑直径测量                                                       >E{";C)  
    1`qMj0Y_  
    2OVRf0.R~  
    !`Hd-&}bYz  
    GE%Z9#E  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 8&qZ0GLaT  
    ;"~ fZ2$U  
    VirtualLab Fusion技术 eEv@}1~  
    GQUe!G9  
     
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