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摘要 Ywwu0.H<
/~<@ *-' F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 m|G'K[8 $b mLu=9 建模任务 *I0T{~
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系统构建块-扫描源 % oo2/aF OtNd,U.dE How to Set Up a Scanning Source _D+J!f^ ;&)-;l7M 系统构建块-透镜系统组件 FIsyiSY<j \7'+h5a 系统构建块-参数耦合 aYSCw3C< ?pd8w#O Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion KGFv"u{ .P"D 系统构建块-失真分析仪 >o=-$gz`
n~V ]Z 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 &:`U&06q
k1D@fiz 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 <Pi|J-Y 6g)GY"49 通用探测器和探测器附加组件 =aTv! 8</ m* kl
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K- Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: m+T;O/lG0{ 7](KV" %V Universal Detector u@cYw:-C Z'7 总结-组件… L bmawi^
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j=r P:# 系统观感 /x
p| XLrwxj0 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 /$p6'1P8 [UWdW
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[ 性能评估-点位偏差 ,tu.2VQc@ NdD`Hn-
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性能评估-光斑直径测量 >E{";C) 1`qMj0Y_ 2OVRf0.R~ !`Hd-&}bYz
GE%Z9#E 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 8&qZ0GLaT ;"~
fZ2$U VirtualLab Fusion技术 eEv@}1~
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