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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 rl <! h5  
                                             p-6(>,+E[  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Qxvj`Ge  
    IO(Y_7  
    建模任务 E@f2hW2  
    pO;BX5(x  
    系统构建块-扫描源                                                     H/eyc`  
    @t;WdbxB%  
    How to Set Up a Scanning Source w(y#{!%+  
                                                                                   e2onR~Cf  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 S!/N lSr<  
    77:s=)   
    系统构建块-参数耦合 nhUL{ER  
       SiM1Go}#  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion [CfA\-gx<f  
                                                                                       o*L#S1yL  
    系统构建块-失真分析仪 D>YbL0K>X~  
                                                                               }iK_7g`yKa  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 mp{r$tc  
     |H,g}XWMU  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               A(xCW+h@)  
    /pa8>_,~  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         [\j@_YYd  
    &SzLEbU!  
    f +#  
     hKT]M[Pv  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: OfR\8hAY  
    \n @S.Y?P  
    Universal Detector (,J`!Y hS  
                                                                                   Vs)%*1><  
    总结-组件… CQq'x +{F  
    L?@ TF;  
     )BuS'oB  
    系统观感   xTnd9'Pk`:  
     .Y.{j4[LQ  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 l Z3o3"  
    F^],p|4f  
     rQncW~  
    性能评估-点位偏差 $jd>=TU|  
    _t:l:x.;T  
                                       ZU vA`   
    性能评估-光斑直径测量                                                       A/ eZ!"Y  
    i w,F)O  
    NZ\aK}?~!  
    j15TavjGh  
    kXj%thDx  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 FmALmS  
    !n=@(bT*wT  
    VirtualLab Fusion技术 4{'0-7}  
     /nK)esB1L  
     
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