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摘要 r`!S *zK
 MU5#ph F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 L*Q#!_K0P rklK=W z 建模任务 !UW{xHu
 EPL"H:o5%<
系统构建块-扫描源 4z^5|$?_ta  p_l. a How to Set Up a Scanning Source +*P;Vb6 D vV 7L
:> 系统构建块-透镜系统组件
"xY]&  Q>[GD(8k 系统构建块-参数耦合 .T }q"
 <%Afa#
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ~4[4"Pi>|
DJ<F8-sb2r 系统构建块-失真分析仪 CHNIL^B
 _4MT,kN 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 =9'px3:'WR
 f1}b;JJTsv 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 Yeb-u+23 6qp'
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通用探测器和探测器附加组件 yZDS>7H V(
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 K18Sj,]B
 3rQ;}<*M Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: @$%[D`Wa< E HY}gG) Universal Detector =p R'XF% p:q?8+W-r 总结-组件… DqTp*h I
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 TBp$S=_** 系统观感 $7JWA9#N!
)k'4]=d
< 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ,I|Tj C5
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 hh y nB^o 性能评估-点位偏差 UO{3v ry48
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 ;H:+w\?8f$ 性能评估-光斑直径测量 O9(6 ?n "=ogO/_Q"  q&N1| f7
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 `L1lGlt
( [m[<
VirtualLab Fusion技术 It8m]FN
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