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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 "%+9p6/  
                                             <*djtO  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 }yM!o`90  
    d?=r:TBU  
    建模任务 [3(lk_t  
    'tq4-11xB  
    系统构建块-扫描源                                                     qApf\o3[0  
    @Y+9")?  
    How to Set Up a Scanning Source l`*R !\  
                                                                                   f >\~h,SLL  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 $`Aps7A  
    ,}$[;$ye  
    系统构建块-参数耦合 [L>AU; :  
       DbK-3F_  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 2Xp?O+b#"O  
                                                                                       qjLFgsd  
    系统构建块-失真分析仪 h7>`:~  
                                                                               ?uqPye1fc  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 /@K1"/fqH  
     A)u,Hvn  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               e>$E67h<~  
    (rjv3=9\3  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         MH_3nN  
    =' #yG(h  
    }<G#bh6;Q  
     Uj> bWa`  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: IVSd,AR7yY  
    [!b=A:@  
    Universal Detector hN.{H:skL)  
                                                                                   bF? {  
    总结-组件… q!}O+(kt  
    ~_"/\; 1  
     [xg& `x9,.  
    系统观感   lag%} ^  
     $oH?7sj  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 =^gZJ@  
    F]^ZdJ2  
     NEX{vZkgw  
    性能评估-点位偏差 p ^Dm w0y  
    :HDU \|{^  
                                       hIMD2  
    性能评估-光斑直径测量                                                       #N `Z)}Jm  
    )nA fT0()0  
    <>^otb,e$  
    bupDnTF  
    "A,-/~cBV  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 e'1}5Ky  
    %P-z3 0FHp  
    VirtualLab Fusion技术 by0M(h  
     Tjza3M  
     
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