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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 D*|h c  
                                             *JZU 0Xb  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 eVjr/nm  
    |F-_YR  
    建模任务 4pJOJ!?  
    Y 6K<e:Y  
    系统构建块-扫描源                                                     gs_"H  
    %E3|b6k\  
    How to Set Up a Scanning Source 8|.( Y  
                                                                                   T|GRkxd,E3  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Y\(Q  
    yyPkjUy[  
    系统构建块-参数耦合 8iB1a6TlL  
       z2i?7)(?;A  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion y)t< r  
                                                                                       u3R0_8 _.w  
    系统构建块-失真分析仪 I;qeDCM  
                                                                               y>'^<xk  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 W @Y$!V<  
     {# ;e{v  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               rtS(iD@B"  
    hzg&OW=:  
    通用探测器和探测器附加组件                                                          gG1%.q  
    x|<rt96 6A  
    oJ ,t]e*q=  
     kG[u$[B  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 9w[7X"#n  
    AFGWlC#`  
    Universal Detector BB-E"<  
                                                                                   V.Dqbv  
    总结-组件… .n[!3X|d  
    X3tpW`alo  
     [?r`8K2!,  
    系统观感   $xNM^O  
     Lfx&DK !  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 1/c7((]7(,  
    h`-aO u  
      Aa[p7{e  
    性能评估-点位偏差 sn '#]yM  
    jY-{hW+r  
                                       HUuL3lYka  
    性能评估-光斑直径测量                                                       5&D)W>{d  
    G4{ zt3{  
    4`)`%R$  
    wo5"f}vd#  
    U=\ZeYK.  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 YK!nV ,  
    Z)<ljW  
    VirtualLab Fusion技术 &%+}bt5  
     n"N!76  
     
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