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摘要 xy 4P_
 R`M@;9I.@ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 K%UjPzPWw nF]zd%h 建模任务 EFv^uve
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系统构建块-扫描源 S a@T#%oU  X|C=Q How to Set Up a Scanning Source %~[@5<p K{:[0oIHc 系统构建块-透镜系统组件 6?a z  S
R s 系统构建块-参数耦合 )hC3'B/[Y  3R%yKa#
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ~=9S AJr]
`3* QKi$ 系统构建块-失真分析仪 Rh%@N.Z*
 N*+WGsxl$z 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 :< HLw.4O
 hV& " 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 jhJ<JDJ?` "\u<\ CL
通用探测器和探测器附加组件 J> "qeR
/ #Z,@yJ2wl
 ^$]iUb{\
 |.;] e[& Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: WWC& -Ni ihekON": Universal Detector ={51fr/C% O:ACp< @ 总结-组件… O$N;a9g
 G l"hn
 KGc!#C 系统观感 dH'02[;
!s:_>P`MQ 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 6n~) R
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 I@IE0+ [n 性能评估-点位偏差 ia,5=SKJ
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 Hp5.F>- 性能评估-光斑直径测量 :4)(Qa( WJ^]mpH9  E!uQ>'iq.
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 HU$]o N
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VirtualLab Fusion技术 3Pp+>{2_?
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