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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 LyWgaf#/d  
                                             $`Hb -  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 @eU5b63jM  
    b?{\t;  
    建模任务 N9=1<{Z  
    eY#_!{*Wn  
    系统构建块-扫描源                                                     Z_}[hz$  
    2UJjYrm  
    How to Set Up a Scanning Source OX[pK_:`l  
                                                                                   )=@ SA`J  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ]'!$T72  
    ( !=^(Nd  
    系统构建块-参数耦合 ?A`8c R=)I  
       l0-zu6i w  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5svM3  #  
                                                                                       `37$YdX  
    系统构建块-失真分析仪 iX\]-_D  
                                                                               1aBQ.-E-  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 $Y9Wzv3Ra  
     8ZPjzN>c6  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               0\2#(^  
    -K*&I!  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         1DT}_0{0Q  
    bL9vjD'}  
    |VxO ,[~  
     }Z Nyd  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: J.^%VnrFO9  
    1'Y7h;\~\  
    Universal Detector 0` \!O(jJ  
                                                                                   $>=?'wr  
    总结-组件… BA(PWX`H  
    O{w'i|  
     . \:{6_  
    系统观感   u#r[JF9LP  
     UK!PMkX  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 cH>3|B*y  
    N~t4qlC/  
     H". [&VP5Z  
    性能评估-点位偏差 Bq4^nDK  
    CP"  
                                       E/IoYuB  
    性能评估-光斑直径测量                                                       X8Y)5,`s  
    wi$,Y. :  
    uEX+j  
    g r[M-U  
    yirQ  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 .5K}R<  
    u/>+cT6}  
    VirtualLab Fusion技术 VS ?npH  
     ?@YABl  
     
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