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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 dUBf.2 ry  
    2uT@jfj:r  
    fo=@ X>S  
                                                             B~E>=85z  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 g* -}9~  
                                                                 >[N6_*K]  
    建模任务                                                         ac,<+y7A  
    r3Kx  
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    ,g1~4,hqQ  
    光栅元件   &gP1=P,!  
    "u'dd3!  
                                                             |fb*<o eT  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 1]W8A.ZS  
    • FMM/RCWA C,8@V`  
    • Diffractive Lens Component 4^*Z[6nt|  
                                                                 Q>xp 90&.n  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       rcf#8  
    *c( J4  
                                                         ^Ge|tBMoKE  
    DB'3h7T  
    正弦光栅-传输相位形态     UZL-mF:)&  
    c],Zw  
                                                         o9v.]tb  
    2h) *  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         {M23a _t\  
    A&d_! u>  
     @sRb1+nn  
    CX7eCo  
    正弦光栅-衍射效率 "Z"`X3,-z  
    rm<`H(cT  
                                                                 sDwE,f0h  
    ;`Sn66&  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       e63io0g>  
    4)9Pgp :  
           tbB.n  
    "VeNc,-nfQ  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   "^t;V+Io  
                                           RRtOBrIedI  
    1 y7$"N8Xo  
                                                                 b:&= W>r  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 'l1cuAP!+  
    /b{Ufo3v  
                                                               I^O`#SA(  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ?YM0VB,y  
    Iy2AJ|d.  
    S3dcE"hg  
     ,f .#-  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         LfsOGC  
    CasFj9,  
     6w0r)  
                                                                 "; ?^gA  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         UQ2;Dg G%  
    mTa^At"  
     Csm23QLsg)  
                                                                 wHErF #xo  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         6o GF6C  
    k= 9a/M u  
     l 4cTN @E  
                                                                 1gH>B5`  
    VirtualLab Fusion技术   -vS7%Fbr  
    68!=`49r>  
                                                             5{#ya 2  
     
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