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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 |E7)s;}D  
    M,WC+")Z=  
    )h&*b9[B=  
                                                             WokQ X"  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 OZc.Rtgc  
                                                                 *9?T?S|^$F  
    建模任务                                                         B*,Qw_3dG  
    q*36/I  
     BGSqfr1F  
    2TZ+R7B?  
    光栅元件   OBBEsD/bc  
    ;xl_9Ht/  
                                                             Z^?YTykH  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: <zdo%~ba  
    • FMM/RCWA xy.di9  
    • Diffractive Lens Component t&^cYPRfY'  
                                                                 1$^=M[v  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       y9@DlK  
    P:3%#d~q  
                                                         S$egsK"~  
    "p[FFg  
    正弦光栅-传输相位形态     rQ!X  
    aDreN*n  
                                                         UN"U#Si)  
    (qQ|s@O  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         A!\-e*+W=  
    O:>9yZhV  
     % w0Vf$  
    4\?GA`@  
    正弦光栅-衍射效率 Jc74A=sT  
    N`Q[OFe  
                                                                 nOE 1bf^l  
    hV6=-QL*B  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       TM1D|H  
    ^^m3 11=  
           wzka4J{  
    3"pl="[*  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   z$q:Y g  
                                           Ue8k9%qV  
    _?IP}}jA:  
                                                                 CaV>\E)  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) w&E*{{otJ  
    HR> X@g<c  
                                                               Wz^M*=,  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ,7{}}l  
    ]PI|Xl  
    6x _tX  
     FKN!*}3  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         FlPPz  
    \;%DDw  
     = Nd &My  
                                                                 M\f1]L|8d  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ?[ts<Ltp  
    "++q. y  
     =`oQcIkz  
                                                                 (6WSQqp  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         pJK}9p=4`  
    D#~S< >u@  
     KC`~\sYRN]  
                                                                 <f'2dT@6  
    VirtualLab Fusion技术   Y8fahQ#  
    '[6o(~ *  
                                                             H:DTvv8e{  
     
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