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摘要 iBE|6+g~Cj HoBx0N9\2
F"Dr(V I!zoo[/)% 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 /.:1Da XRaGV~ 建模任务 c<13 r=+ Yjg$o:M
R;"$ PHD
\^1^|a" 光栅元件 9^^\Z5 1dD%a91
1P]J3o 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: R0M>'V?e • FMM/RCWA &UDbH* !4= • Diffractive Lens Component qJ" (:~ zDg*ds\ 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ErN[maix# @Z0. }}Y
Wv>`x?W I/'>MDB! 正弦光栅-传输相位形态 +s}!+I8P {F_>cyR
*wAX&+); +sJ{9# 6 正弦光栅-传输相位形态 tE>FL -raK
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=$}`B{(H t<`wK8) 正弦光栅—选定周期的相位形态 lC*xyOK }P=FMme{F( D~qi6@Ga *3^7'^j< 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =Q"thsR Bl)D/
DN8I[5O 闪耀光栅-传输相位形态 x~l"'qsK [3irr0D7l Pf8_6 z_ ,>g(%3C 闪耀光栅-衍射效率 0?R$>=u R||$Wi[$
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