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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 >PVi 3S  
    S}f<@-16P  
    {4 d$]o0V  
                                                             XOwMT,=Z)  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 T6r~OV5  
                                                                 h3IkOh4|h  
    建模任务                                                         eM"mP&TTL  
    pi}H.iF  
     @]tGfr;le&  
    $Ig,cTR.b  
    光栅元件   nQHd\/B  
    -c?wEqa~2  
                                                             .8!0b iS  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 49$4  
    • FMM/RCWA F.5b|&@  
    • Diffractive Lens Component o)=VPUe  
                                                                 Z+W&C@Uw  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       @<=#i  
    tQaCNS$=  
                                                         {:X];A$  
    9y*! W  
    正弦光栅-传输相位形态     ]r1{%:8  
    %Nl(Y@dD*  
                                                         $)]FCuv  
    B/hHkOoo  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %pkq ?9  
    ee^_Dh4  
     r(T/^<  
    ZC*d^n]x.  
    正弦光栅-衍射效率 faOWhIG  
    [5*-V^m2  
                                                                 U(=9&c@]  
    }C"*ACjF   
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       %,cFX[D/)  
    Pq>[q?>?  
           +%\j$Pv  
    pQ:PwyU  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   (zDk68=v  
                                           e=UVsYNx  
    i!oj&&  
                                                                 F'$S!K58  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ;6txTcn`=  
    o[[r_v_d  
                                                               Q9xx/tUW  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ~o'#AP#N~  
    _xg VuJ   
    lO:{tV  
     *F*jA$aY  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         +Z<Q^5w@  
    ' VEr4&  
     tZ j,A%<  
                                                                 kok^4VV  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Qr%Jm{_o  
    8{Eo8L'V  
     kF,\bM  
                                                                 `s> =Sn&UP  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         G+ X [R^RD  
    ?g;ZbD  
     o $`kpr  
                                                                 t<k [W'#  
    VirtualLab Fusion技术   5Vo}G %g  
    kTZx-7~  
                                                             5J+V:Xu{  
     
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