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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 R?Qou!*]  
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                                                             , +^db)  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 e|P60cd /  
                                                                 edQ><lz  
    建模任务                                                         </QSMs  
    >smaR^m  
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    K]l) z* I  
    光栅元件   yS""*8/  
    n9^zAcUbAW  
                                                             \q>,c49a{  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ;D:v@I$I  
    • FMM/RCWA )UJMmw\  
    • Diffractive Lens Component 5{> cfN\q  
                                                                 Z"jo xZ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       )j]RFt  
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                                                         `*a,8M%  
    7vFqO;  
    正弦光栅-传输相位形态     8 _J:Yg  
    21qhlkdc  
                                                         oS4ag  
    u(R`}C?P'  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ;b^@o,=  
    809-p_)B  
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    3A5" %  
    正弦光栅-衍射效率 jv ";?*I6.  
    qA30G~S  
                                                                 `W9_LROD  
    I zT%Kq  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       =ZQIpc  
    n!p&.Mt  
           s5.2gu|"%  
    T1E=<q4  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Z& %61jGK  
                                           ])`F$S  
    0czy:d,M%  
                                                                 h4/rw fp^  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) d={}a,3?  
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                                                               4ZIXG,@mZJ  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ,RZktWW_  
    S(Pal/-"  
    K"#}R<k8:A  
     D"MNlm  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         _ |; bh  
    \h-[u%  
     ^%L$$V nG  
                                                                 k`-L5#`  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         X7G6y|4;w  
    ?}y7S]B FI  
     K"pfp !Y  
                                                                 *M="k 1P1  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ]OVjq ?  
    L{42?d  
     z|9 ^T@)  
                                                                 &~j"3G;e  
    VirtualLab Fusion技术   `27? f$,  
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                                                             =X`/.:%|[  
     
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