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摘要 Bp{`%86SE +Z~!n
[Pc[{( cPaWJ+c 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 nEcd+7( jy@i(@Z 建模任务 Nz3%}6F: z<vO#
-hFyqIJW bKJ7vXC05 光栅元件 bKMR7&e.Ep v;}`?@G
ig_<kj;Vd 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: X<}o>
6|d • FMM/RCWA 6?.pKFBZ • Diffractive Lens Component CC(*zrOd- rbuL@=S@* 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) C"^hMsU8 ;zE5(3x
Z t+FRR= l8AEEG8> 正弦光栅-传输相位形态 VMye5 P *:tjxC
9}jq`xSL dJ%Rk#?;A 正弦光栅-传输相位形态 m_Ac/ctf O:^LQ
oSA*~ N: oBNX8%5w 正弦光栅-衍射效率 `=}UFu 71/ m.w
t-7U1B}=<C P&%eIgAOL 正弦光栅-效率vs. 周期 87pXv6'FQ hKZ`DB4
Cq*}b4^; "`i:)E t 正弦光栅—选定周期的相位形态 Ds%&Mi _:Jp*z s\C8t0C =GKS;d#/ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) -?YT Q@ W w0j/\XN2s
(YYj3#| 闪耀光栅-传输相位形态 G]mWaA 7.e7Fi{ c@ZS|U*( .Y(lB=pV 闪耀光栅-衍射效率 VwOG?5W/ bH\C5zt6(
t.E4Tqzc> B?#k W!wj 闪耀光栅-效率vs.周期 9XoQO 9*Q S'!q}|7X3
&`yOIX-H_ 8@%mnyQ 闪耀光栅-选定周期相位形态 h^A3 0f_x V'"I9R'1
EzIs@} O b8B VirtualLab Fusion技术 JS/M~8+Et :/v,r=Y9p
Jh43)#G-
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