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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 7z,M`14  
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    9,c>H6R7  
                                                             YaT07X.(b  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /&dt!.WY^  
                                                                 si;]C~X*  
    建模任务                                                         Le'\x`B  
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    光栅元件   09?<K)_G  
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                                                             rh l5r"%  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: _# F'rl6'  
    • FMM/RCWA TatyD**(  
    • Diffractive Lens Component I(CI')Q  
                                                                 #?=cg]v_  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       h5gXYmk  
    o%5bg(  
                                                         /YbL{G )j}  
    E)E!  
    正弦光栅-传输相位形态     w8i!Qi#y5D  
    Z%R%D*f@y  
                                                         gZUy0`E  
    .-AB o]hf  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         $S}x'F!4_  
    B<RONQj_  
     ;R!H\  
    | <*(`\ 'w  
    正弦光栅-衍射效率 kt#W~n  
    Td >k \<  
                                                                 "p{ '984r<  
    eQx"nl3U%  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                        c$|dK  
    iPOZ{'Z  
           ,lJ6"J\8.  
    Sv@p!-m  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ]EnaZWyO]  
                                           k I~]u  
    kk'w@Sn.(  
                                                                 >nDnb4 'C  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) t>2^!vl  
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         &^_(xgJL  
     ^gyp- !  
    Y(zN  
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    闪耀光栅-衍射效率                                                         PuJ{!S\T7  
    !f-o,RJ  
     0gD0}nH  
                                                                 H@ms43v\  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         i@Zj 7#e*  
    h.;CL#s  
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    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Ib8i#DV  
    5ba[6\Af  
     <WJ0St  
                                                                 ; ,<J:%s  
    VirtualLab Fusion技术   i q:Q$z&  
    Sp,Q,Q4  
                                                             _vV&4>  
     
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