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摘要 C q/936`O IoEITKd
a/9R~DwN .
6wyu7oK 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 (*.t~6c?5 W?a{3B 建模任务 uR|?5DK rf2+~B{$,
hAPWEh^ K$S:V=y%r7 光栅元件 5t`:=@u n*tT<
P'.M.I@ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: n:hHm, • FMM/RCWA 6$1dd# • Diffractive Lens Component K#j<G]I( @ '=|2, H] 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) A!([k}@=j `yjHLg
taS2b#6\+ )!h(o R 正弦光栅-传输相位形态 q Ee1OB [dm&I#m=
jOJ$QT }b9"&io 正弦光栅-传输相位形态 G_GPnKdd m5O;aj* i
]0`*gKA _j$"fg 正弦光栅-衍射效率 g7($lt> AlW0GK=N-p
P8tpbdZE- _:hrm%^ 正弦光栅-效率vs. 周期 . ZuRH_pI vwVK^B
+T*=JHOD Fai_v{&? 正弦光栅—选定周期的相位形态 _[zZm* uFseO9F.2 Gp0H[-oF 6S#Y$2
P 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ZLsfF
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?F{sym@i 闪耀光栅-传输相位形态 z/IA
@ XLEEd?Vct9 \8Mn[G9TL cL31g_u 闪耀光栅-衍射效率 wul$lJ?tE k[TVu5R
hu?Q,[+o d~i WV6Va 闪耀光栅-效率vs.周期 ,EkzBVgo P}So>P~2
-^ )0c Yt]tRqrh;T 闪耀光栅-选定周期相位形态 8v$2*$ (IlHg^"
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