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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 ]ZS OM\}  
    8z\xrY  
    0"z9Q\{}  
                                                             F!K>Kz  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 "m>81-0  
                                                                 Xch~ 1K  
    建模任务                                                         x,' !gT:j  
    fc>L K7M  
      %;!.n{X  
    _)-o1`*-  
    光栅元件   5!9zI+S|=`  
    k9F=8q  
                                                             ]]yO1x$Kk  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: -UT}/:a  
    • FMM/RCWA 69.NPy@  
    • Diffractive Lens Component BJ(M2|VH  
                                                                 `M6)f?|$.  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       /qw.p#  
    f%hEnZv  
                                                         Z3!`J&  
    "kFg  
    正弦光栅-传输相位形态     P!k{u^$L  
    ^<AwG=  
                                                         }ad|g6i`  
    / XIhj  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         /Ci<xmP  
    <a+Z;>  
     %8x#rohP  
    0m ? )ROaJ  
    正弦光栅-衍射效率 E_LN]v  
    zx7{U8*`<  
                                                                 m l$o5&sN  
    T[A 69O]v  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       LOJAWR9$^U  
    rVsJ`+L  
           >o,TZc\  
    GPkpXVm  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ,Y48[_ymm  
                                           Y nZiT e@  
    J$v?T$LVw  
                                                                 DlNX 3  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) :\U{_@?`%  
    W@!S%Y9  
                                                               GuL<Z1<c  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         #3d(M  
    >&k-'`Nw  
    $, '*f?d  
     -Y;3I00(  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         j <RrLn_  
    gPc=2  
     7=, ;h  
                                                                 c[Zje7 @  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         -|\ZrE_h  
    2GStN74Xr  
     y*h<MQ  
                                                                 WMP,\=6k0  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         !0E&@X:-  
    4v|W-h"K  
     BFW&2  
                                                                 ItTz.sQ  
    VirtualLab Fusion技术   A. w:h;7  
    L4?IHNB  
                                                             '[O;zJN;  
     
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