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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 $iN"9N%l  
    8V~k5#&Ow  
    QJZK|*  
                                                             x) ,eI'mf  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Xc =Y  
                                                                 {0L1X6eg  
    建模任务                                                         :">!r.Q  
    Z_LFIz*c  
     'K$[^V  
    4zXFuTr($  
    光栅元件   h){0rX@:&  
    vHgi <@u  
                                                             *l"T$H   
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: S.mG?zbw  
    • FMM/RCWA 4R#chQ  
    • Diffractive Lens Component A` N,  
                                                                 iJ ($YvF4  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       S4Pxc ]!  
     Fe#  1  
                                                         h&M{]E9=  
    .8 2P(}h  
    正弦光栅-传输相位形态     >f|||H}Snw  
    034iK[ib"  
                                                         >1.X*gi?-  
    Q{O+  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         5-FQMXgThc  
    )\1QJ$-M&  
     !eGC6o}f  
    s,"]aew  
    正弦光栅-衍射效率 y;4OY  
    6, ^>mNm  
                                                                 WEw6He;  
    %2}-2}[>  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       fZ6MSAh  
    f- K+]aZ)  
           ;"xfOzQ  
    [ZNtCnv  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   DRSr%d  
                                           R#s )r  
    P:hBt\5B  
                                                                 4`lLf  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) C+* d8_L  
    _no/F2>!/n  
                                                               O n8v//=&  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         nB_?ckj,  
    t^UxR@l<K|  
    [NF'oRRD9s  
     :W"~ {~#?  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         aKJwofD  
    R]JT&p|w.1  
     bc7/V#W  
                                                                 <h!_>:2L  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         _Ym]Mj' ln  
    <S5BDk  
     'HO$C, 1]  
                                                                 ):P?  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         , xw#NG6  
    _1!7V3|^  
     3(``#7  
                                                                 8mCxn@yV  
    VirtualLab Fusion技术   AL[KpY  
    5v[*:0p'  
                                                             j9m_jv  
     
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