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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 jF6Q:`k  
    %rs2{Q2k  
    ]Yt3@ug_f  
                                                             JL_(%._J  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 9*iVv)jd  
                                                                 hRuiuGC  
    建模任务                                                         Q']'KU.  
    ;0_T\{H"nR  
     |8}y?kAC  
    ;,Vdj[W$>  
    光栅元件   ("A45\5  
    ; t7F%cDA  
                                                             Onqapm0  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: }k AE  
    • FMM/RCWA ~jKIuO/  
    • Diffractive Lens Component %zc.b  
                                                                 @ ~{TL  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       7y&=YCkc7  
    KX x+J}n  
                                                         ST#)Fl  
    ,%m~OB #  
    正弦光栅-传输相位形态     t`&mszd~T  
    ce4rhtkV  
                                                         "c~``i\G   
    \zcSfNE  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         uR")@Tc  
    M&zB&Ia"'  
     L9hL@  
    MeV4s%*O+  
    正弦光栅-衍射效率 ZyU/ .Uk  
    ([JFX@  
                                                                 n}%_H4t  
    4myikeUR_  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       tF*Sg{:bCa  
    ( K-7z  
           :'t"kS  
    ~&0lWa  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   mFpj@=^_G  
                                           T8LvdzS  
    U2_;  
                                                                 ~Gg19x.#uW  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) %D7^.  
    {>R933fap  
                                                               `T2DGv  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         |[V6R\l39  
    ]w)uo4<^J  
    8/"uS;yP  
     *}r6V"pH~  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         y#ON=8l  
    50S*_4R  
     ,=ju^_^sA  
                                                                 6jal5<H  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Q Na*Y@i  
    `EP-Qlm  
     A?ESjMy(R  
                                                                 \>/AF<2"  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         h 1j1PRE  
    dZJU>o'BG  
     i[U=-4 J  
                                                                 R;/LB^X]  
    VirtualLab Fusion技术    9mv6  
    gcM(K.n  
                                                             :OaGdL   
     
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