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摘要 :-Gf GL>] y^utMH
kJ^)7_3 RPH]@ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 bwHl}3 ^;on 建模任务 r3~~4Q4XI> \2$-.npz
E:EXp7 AGxtmBB; 光栅元件 N
=k}"2_= .QwwGm
Rg4'9I%B 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: m53XN • FMM/RCWA Q@M>DA!d^V • Diffractive Lens Component al{;]>W -N'xQ(#n3q 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 2.Kbj^ m6V:x/'=
;QMRm<CLV hqEnD 正弦光栅-传输相位形态 %cy]dEL7 K|"97{*|2
&``dI,NC '%JIc~LJ 正弦光栅-传输相位形态 gEWKM(5B} /CpU.^V
)s @}|` 6[q<%wA 正弦光栅-衍射效率 D{b*,F:&@) aSu6SU
:?!kZD! >Ln/ )j 正弦光栅-效率vs. 周期 VBHDI{HzRv pn},o vR;
s)?=4zJ L^}i7nJ 正弦光栅—选定周期的相位形态 Ww8C}2g3 *}yOL
[ XynDo^+ru RR*eq.; 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) D{%l 4og fc}G6P;3{
]h]| PdN 闪耀光栅-传输相位形态 bnso+cA FiN^}Kh Idq&0<I ^h
q?E2- 闪耀光栅-衍射效率 -pWnO9q m@|0iDS
ba=-F4? 9qhX\, h 闪耀光栅-效率vs.周期 ^qn,b/>L fjc8@S5x9j
0nz=whS{ k!{0ku}] 闪耀光栅-选定周期相位形态 l%$~X0%DM h92'~X36
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