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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 Ql"~ z^L  
    yi2F#o 'K  
    0 qW"b`9R  
                                                             |O;vWn'U2  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 TgKSE1  
                                                                 0D0uzUD-  
    建模任务                                                         szXqJG8|  
    j.c{%UYj  
      IuMJ-"  
    B_RF)meux  
    光栅元件   7/iN`3Bz  
    7Dw. 9EQ  
                                                             cH707?p/I  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: h<qi[d4X  
    • FMM/RCWA ]l`V#Rd  
    • Diffractive Lens Component +^%)QH>9   
                                                                  )|W6Z  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       En4!-pWHQ  
    G/_xn5XDD  
                                                         H|/"'t OZ  
    /v.<h*hxWy  
    正弦光栅-传输相位形态     2'Raj'2S4  
    n*caP9B  
                                                         WkV0,_(P  
    P G zwS  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         4}Lui9  
    X.ZG-TC  
     n6 wx/:  
    s.a@uR^  
    正弦光栅-衍射效率 =F_j})O5  
    .N7&Jy  
                                                                 mRN[l j  
    w }8=sw  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       t{`uN  
    rl-#Ez  
           8C*xrg#g:  
    IR32O,)  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   cQ3p|a `  
                                           UG]x CkDS  
    .=) *Qx+  
                                                                 bAUYJPRpy  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) %&J`mq  
    4b}'W}  
                                                               -V P_Aw$  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ~+PKWs'}F  
    ReGT*+UN  
    Z7 ++c<|p  
     v!=e]w6{  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         S_s;foT  
    Q+'fTmT[,  
     Ga` 8oY+~  
                                                                 0*j\i@  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ^ '_Fd  
    h]4qJ  
     #v4^,$k>  
                                                                 Y5*A,piq  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         YVk +zt~S  
    \aN5:Yy  
     '1zC|:,  
                                                                 3%u: c]-wF  
    VirtualLab Fusion技术   rLbFaLeQ  
    -L2?Tap  
                                                             `.wgRUhFH;  
     
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