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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 :KFhryN  
    @U&|38  
    @cx!m   
                                                        
    6Hz=VhQrN  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 2XE4w# [j  
                                                                 BH}u\K  
    建模任务                                                         []@Mk  
    {>i'Pb0mG|  
    Nb$)YMbA  
    rnW i<Se  
    光栅元件   XdB8Oj~~  
    sU`#d  
                                                        
    m$4Gm(Up  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: t+&WsCN  
    • FMM/RCWA &1I0i[R  
    • Diffractive Lens Component 4-TM3Cw`d&  
                                                                 }/=VnCfU  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       'd28YjtoX  
    ;%U`P8b!  
                                                    
    G~_dSa@g G  
    hGpaHY>My  
    正弦光栅-传输相位形态     al5?w{us  
    ";jhj:Xj  
                                                    
    8T%z{A1T  
    +pE-Yn`YS  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         L.8-nTg"y  
    &BQ`4j~.  
    `'g%z: ~  
    2nw P-i  
    正弦光栅-衍射效率 y :457R2F  
    [1E u6X6  
                                                            
    <$UY{"?  
    'a0$74fz  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       {6n B83BB  
    U?kJXM2  
      
    5T,`j=\  
    YS;Q l\4   
    正弦光栅—选定周期的相位形态   xL mo?Y*  
                                      
    N!,@}s  
    FzNs >*  
                                                                 P2lj#aQLS  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) d/"e3S1  
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    -{ZRk[>Z  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         vmL0H)q  
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    闪耀光栅-衍射效率                                                         /Wt<[g#  
    mio\}S A  
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                                                                 G6L 'RP  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         BaqRAO7  
    nq r[HFWs  
    +Ge-!&.;A  
                                                                 O{Wy;7i  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         mI}1si=$  
    m&fm<?|  
    YX- G>.Pc  
                                                                 rIy,gZr.U  
    VirtualLab Fusion技术   Yf<6[(6 O  
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