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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 8":Q)9;%  
    J|73.&B  
    cr;da)  
                                                             es7=%!0  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 eHUOU>&P]  
                                                                 (E1~H0^  
    建模任务                                                         4Z0]oI X  
    Eu3E-K@y  
     V0mn4sfs  
    YoFxW5by  
    光栅元件   VIf.q)_k  
    ?S=mybp  
                                                             X:{!n({r=  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: F#E3q|Q"BS  
    • FMM/RCWA _+MJ%'>S  
    • Diffractive Lens Component W(p_.p"  
                                                                 8&dF  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       T)_hpt.  
    J'r^/  
                                                         r3?o9D>  
    _yR^*}xJb  
    正弦光栅-传输相位形态     A=0'Ks  
    *LY8D<:zs  
                                                         S+lqA-:  
    )+Pus~w  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         9>#6*/Oa7  
    u ^RxD^=L  
     klhtKp_p  
    8 Fbo3  
    正弦光栅-衍射效率 _@/8gPT*i  
    7{Wny&[0  
                                                                 xgtR6E^k  
    /Z4et'Lo  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       gBD]}vo-  
    &%Tj/Qx  
           g9F?z2^  
    C7AUsYM  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   `r_/Wt{g  
                                           }ad|g6i`  
    SgOheN-  
                                                                 <a+Z;>  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) jz0T_\8D`  
    vvOV2n .WD  
                                                               e>7i_4(C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Z/J y'$x  
    cM7[_*Ot<m  
    D1;QC  
     L/^I*p,  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         xId.GWY1  
    E4xa[iZ  
     #LOwGJ$yVz  
                                                                 Du){rVY^d  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         /u+e0BHo  
    1-QS~)+  
     igAtRX%Qx  
                                                                 g=o4Q< #^y  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ,7b[!#?8  
    >F&47Yn  
     sp`Dvqx0  
                                                                 {]|J5Dgfe  
    VirtualLab Fusion技术   \uMLY<]P  
    =nHgDrA_  
                                                             }o{(S%%  
     
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