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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 R4y]<8}  
    T-LX>*  
    @y'0_Y0-B  
                                                             Mbp7%^E"A  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 )qRH?Hsb7  
                                                                 %s! |,Cu  
    建模任务                                                         h UC157  
    PjD9D.  
     ^) (-7H  
    K9{RU4<  
    光栅元件   +CM>]Ze  
    : eCeJ~&E  
                                                             5a-x$Qb9  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: <2E|URo,#  
    • FMM/RCWA FUarI5#fwF  
    • Diffractive Lens Component B[I9<4}  
                                                                 VsJiE0'%  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       >%ovL8F  
    [l3ys  
                                                         <5? pa3  
    _u+ 7>  
    正弦光栅-传输相位形态     XEnu0 gr  
    1ysQvz  
                                                         * bd3^mP  
    <.mH-Y5i  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         6`@b@Kd  
    $AT@r"  
     q)mG6Su d  
    @c-  
    正弦光栅-衍射效率 |r*)U(c`  
    "M, 1ElQ  
                                                                 !> =ybRe  
    [~u&#!*W  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       L R\LC6kM  
    J#48c'  
           ?!K6")SE  
    M.K^W`  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   9b/Dswxjx  
                                           PcBD;[cn  
    j.ucv  
                                                                 hLbWqF  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) cT(6>@9@  
    WR3,woo  
                                                               > 1(J  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         V"Z8-u  
    5Yhcnwdm!  
    f"KrPx!^b  
     . %s U)$bH  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         @zC6`  
    Z4EmRa30 p  
     4Wp5[(bg  
                                                                 1_<x%>zG  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         A*eVz]i,k&  
    .07`nIs"  
     'Y/0:)  
                                                                 y ?&hA! x  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         R!%nzL@e&`  
    Jup)A`64  
     :{#O   
                                                                 #n'.a1R  
    VirtualLab Fusion技术   p_h/hTi  
    4SZ,X^]I>  
                                                             X+C*+k,z  
     
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