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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 L,WkJe3  
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    X:U=MWc>  
                                                        
    :Jm!=U%'Z  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 sbgJw  
                                                                 Etw~*  
    建模任务                                                         Q*Y 4m8wY  
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    dV)Y,Yx0${  
    光栅元件   )dqR<)  
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    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: g ,`F<CF9  
    • FMM/RCWA u2 Y N[|V  
    • Diffractive Lens Component 5[nmP95YK  
                                                                 pa> p%  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ]F !'M  
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    正弦光栅-传输相位形态     cT\O v P*_  
    7qpzk7X?pR  
                                                    
    E2h(w_l  
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    正弦光栅-传输相位形态                                                         [+y &HNf  
    EK^JLvyT  
    1X[ 73  
    3T"2S[gT  
    正弦光栅-衍射效率 J 0&zb'1  
    3(MoXA*  
                                                            
    @8QFP3\1  
    d:A\<F  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       dUI3erO  
    [|y`y%  
      
    _c[|@D  
    p 7 , f6kG  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   )gr}<}X)B  
                                      
    km9Gwg/zT  
    |Uc <;> l  
                                                                 sq6>DuBZz  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) t-'I`I  
    ]^Sd9ba  
                                                          
    , - QR  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         5P-K *C&  
    pTc$+Z7 3  
    DxE(9j  
    r5D jCV"  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         :uOZjEZi  
    &\JK%X.Jlt  
    wYZy e^7  
                                                                 p^T&jE8])#  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         /7c2OI=\  
    >_rzT9gX&  
    H0: iYHu  
                                                                  fn4=  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         jn.R.}TT  
    7h(HG?2Y  
    ?lu_}t]  
                                                                 CW.&Y?>Tv  
    VirtualLab Fusion技术   }9{dR4hD  
    K%98;e9  
                                                        
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