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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 }mK_d9dx  
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    HmKE>C/  
                                                             Z5K,y19/~  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 8'$n|<1X  
                                                                 r+crE %-  
    建模任务                                                         "M]]H^r5  
    >XN&Q VE  
     #c_ZU\" h"  
    &iivSc;#  
    光栅元件   O!jCQ{ T  
    ,q1RJiR  
                                                             BVDo5^&W  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ty ?y&~axk  
    • FMM/RCWA c`cPGEv  
    • Diffractive Lens Component Wj0([n  
                                                                 ijfT!W  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       +$C5V,H ~  
    Y`v&YcX;  
                                                         5Z'pMkn3  
    j<u`W|vl  
    正弦光栅-传输相位形态     a>6p])Wh  
    (J;<&v}Gad  
                                                         MG|NH0k  
    1?;s!6=  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         =:DNb(  
    }N NyUwFa  
     hO8B]4=&*  
    AiuF3`Xa  
    正弦光栅-衍射效率 4U3T..wA  
    B(hNBq7  
                                                                 :HC{6W`$  
    8oK30?  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       q%l<Hw6{z  
    HDYoM  
           :hr%iu  
    AyWCb  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   !Qy3fs  
                                           TX;|g1K  
    y9 "!ys  
                                                                 ] GJskBm  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Z(#a-_ g  
    ^(%>U!<<%,  
                                                               a,X3=+_K  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         zK}.Bhj#  
    YS9|J=!~  
    IaW8  
     /}V9*mD2  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         kC)dia{$  
    ?U&onGy  
     3=z'Ih`  
                                                                 'n\ZmG{  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         x\lua  
    >%{h_5  
     GerZA#  
                                                                 18~j>fN  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         %k"-rmW  
    6;ICX2Wq'  
     &iTsuA/7  
                                                                 8<xJmcTEwO  
    VirtualLab Fusion技术   +K&ze:-Z  
    xi^_C!*J  
                                                             ],#9L   
     
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