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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 JyWBLi;Z  
    B5pM cw  
    F@4XORO;  
                                                             ?#ue:O1  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ivsp):W  
                                                                 !fr /WxJ  
    建模任务                                                         P|YBCH  
    <n< @ O5  
     J Sz'oA5  
    f~-81ctu  
    光栅元件   >lQ&^9EI%  
    LivPk`[  
                                                             saQA:W;  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: tmiRv.Mhn<  
    • FMM/RCWA <T{2a\i 4f  
    • Diffractive Lens Component ^:W.R7|  
                                                                 x nWCio>M  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       SHS:>V  
    (qT_4b~  
                                                         @54,I  
    Bt4 X  
    正弦光栅-传输相位形态     JCZ"#8M3  
    VQF!|*#  
                                                         6z@OGExmd#  
    rRyBGEj  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         n-[J+DdB  
     ::Y   
     `'9Kj9}   
    w_|R.T\7  
    正弦光栅-衍射效率 yaV=e1W  
    g9(zJ  
                                                                 c0jdZ#H  
    xevG)m  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       -Qx:-,.a  
    j|gv0SI_ w  
           5&q@;vR  
    ?n)r1m  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   r(NfVQF  
                                           CZyOAoc<  
    (v(!l=3  
                                                                 2f(5C*~  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) /'?Fz*b  
    IQ[ ?ej3W  
                                                               j(/Bf m  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Q >[*Y/`I  
    }Zu2GU$6  
    S@]7   
     -IhFPjQ  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         6#VG,'e3  
    .b>1u3  
     %J4]T35^2  
                                                                 _KiaeVE  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                          ,!_  
    q+2yp&zF  
     H pXMPHd  
                                                                 ,\Gn  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ) ?rJKr[`  
    yZ3/Ia>,  
     Srj%6rgsB  
                                                                 p%e! &:!  
    VirtualLab Fusion技术   b2c% 0C  
    :/fG %e  
                                                             8;9GM^L  
     
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