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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 XM:\N$tg  
    mN1n/LNi  
    otdm r w|  
                                                             6Vu)  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 VB}^&{t)!  
                                                                 }k_'a^;C1  
    建模任务                                                         9+I /bl4  
    Si-Q'*Y=  
     a}'dIDj  
    }EN-WDJD\  
    光栅元件   '_ FxxLAO  
    J(Zz^$8]<?  
                                                             o}y(T07n  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 4 Xe8j55  
    • FMM/RCWA /q?g py  
    • Diffractive Lens Component S X[  
                                                                 X> U _v  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       F<Ig(Wl#az  
    .:B;%*  
                                                         6K5mMu#4  
    M,oRi;V  
    正弦光栅-传输相位形态     g\G}b  
    LMI7Ih;  
                                                         :O]US)VSj  
    Fq'Ds[wd5  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         > QG@P  
    q;QE(}.g  
     z(1`Iy M  
    ricL.[v9S  
    正弦光栅-衍射效率 #S"s8wdD  
    -b=A j8h  
                                                                 [rReBgV  
    ?$ M:4mX  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ln_[@K[oX  
    LU+}iA)  
           5>aK4: S/  
    !JA//{?  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   o~26<Lk  
                                           F[]6U/g n  
    /&zlC{:G92  
                                                                 VI?kbq jo  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) +nL#c{  
    %#E$wz  
                                                               6bT>x5?  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         UHBMl>~z  
    u]& +TR  
    OuyO_DSI  
     L)"CE].  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         "b\@.7".  
    k zC4V  
     D+{& zo  
                                                                 \6%`)p  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         +g_m|LF  
    Op:$7hv  
     %]N|?9L"=  
                                                                 r(JP& @  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         a&u!KAQ  
    JthU' "K  
     ,@\z{}~v  
                                                                 C=JS]2W2  
    VirtualLab Fusion技术   DSlO.) dHu  
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                                                             */4hFD {  
     
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