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摘要 <tF9V Jq { /K.3
gVq;m>\|F .y_/U wu 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 E*.{=W }C i]Fp..`v~ 建模任务 5R'TcWf#W ~$iIVJ`
F~%]6^$w ROg(U8
N 光栅元件 N^HUijw< J7= +
Ss~;m']68 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: g!$!F>[ • FMM/RCWA iYDEI e • Diffractive Lens Component ?ooe'V@ tk!t
Y8j 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) xC*6vH]? w[9|cgCY
'MEz|Z c_-drS 正弦光栅-传输相位形态 0y
7"SiFY QW$G
$}J5xG,}$ 5b!vgm#]) 正弦光栅-传输相位形态 |zQ4u :"=ez<t
i=i(%yQ% )2V: 正弦光栅-衍射效率 )-0kb~;| ~%^
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/f 正弦光栅-效率vs. 周期 (d(hR0HKE "OQ^U_
b4E:Wn9x 3&u&x( 正弦光栅—选定周期的相位形态 tE@;X= ~i~7na| u+'tfFds& S{;sUGcu 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @\|_ NdL,F;^
PV9pa/`@ 闪耀光栅-传输相位形态 Svondc
4 7NDr1Z#B6V pQshUm"_ 7on.4/;M 闪耀光栅-衍射效率 @!`Xl*l '+osf'&
A D1=[I3 M[6:p2u 闪耀光栅-效率vs.周期 p 3 w POvP]G9'"
RLbKD> ?YZ- P{rTS 闪耀光栅-选定周期相位形态 :^kZ.6Q@ >sWp?
&Q>k7L! /lo2y?CS* VirtualLab Fusion技术 =&,]Z6{> A9wh(P0\
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