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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 [sZ ,nB/  
    46D _K  
    hH_\C.bL  
                                                             _Lgi5B%   
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 l0lvca=;  
                                                                 C&f{LpB`  
    建模任务                                                         uJU;C.LX  
    G;AJBs>Y}  
     U*\ 1d  
    ]23+ d/  
    光栅元件   .5!Q(  
    juEH$7N !  
                                                             (97&mhs3  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: s&M#]8x;x  
    • FMM/RCWA G8lTIs4u;  
    • Diffractive Lens Component :czUOZ_  
                                                                 Dop,_94G  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       O'S9y  
    UV\&9>@L  
                                                         jdd3[  
    H8h,JBg5<F  
    正弦光栅-传输相位形态     d RHw]!.  
    y4,t=Gq7^  
                                                         vz^=o'  
    \RmU6(;IQ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         3j\Py'};  
    <x1,4a~  
     wDKA1i%G  
    $fwj8S7$  
    正弦光栅-衍射效率 GRAPv|u9[  
    emG1Wyl  
                                                                 P.3kcZ   
    +kx#"L:  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       xG|lmYt76  
    H={5>;8G  
           N3ccn  
    &XB1=b5  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   B6U4>ZN  
                                           s[%@3bY!7  
    ZmS ]4WM<  
                                                                 .e|\Bf0P  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) yH(%*-S  
    -932[+  
                                                               KP CZiu7  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         K}QZdN']  
    })C}'!+]  
    xpWY4Q  
     95*=& d  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         HjT-5>I7f  
    M<xF4L3]  
     Tz{-L%*#  
                                                                 \xX'SB#.l  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         qjH/E6GGg  
    vq1u !SY  
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                                                                 %)=c#H1  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         J'*`K>wV  
    -NUA  
     h! w d/jR  
                                                                 r^`~GG!,Q  
    VirtualLab Fusion技术   y)T|1)  
    6f&qtJQ<A  
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