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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 <tF9V Jq  
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    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 E*.{=W }C  
                                                                 i]Fp..`v~  
    建模任务                                                         5R'TcWf#W  
    ~$iIVJ`  
    F~%]6^$w  
    ROg(U8 N  
    光栅元件   N^HUijw<  
     J7=+  
                                                        
    Ss~;m']68  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: g!$!F>[  
    • FMM/RCWA iYDEI e  
    • Diffractive Lens Component ?o oe'V@  
                                                                 tk!t Y8j  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       xC*6vH]?  
    w[9|cgCY  
                                                    
    'MEz|Z  
    c_-drS  
    正弦光栅-传输相位形态     0y 7"SiFY  
    QW $G  
                                                    
    $}J5xG,}$  
    5b!vgm#])  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         |zQ4u  
    :"=ez<t  
    i=i(%yQ%  
    )2V:  
    正弦光栅-衍射效率 )-0kb~;|  
    ~%^ tB  
                                                            
    J6U$qi  
    x^kp^ /f  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       (d(hR0HKE  
    "OQ^U_  
      
    b4E:Wn9x  
    3&u&x(   
    正弦光栅—选定周期的相位形态   tE@;X=  
                                      
    ~i~7 n a|  
    u+'tfFds&  
                                                                 S{;sUGcu  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @\|_  
    NdL,F;^  
                                                          
    PV9pa/`@  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Svondc 4  
    7NDr1Z#B6V  
    pQshUm"_  
    7on.4/;M  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         @!`Xl*l  
    '+osf'&  
    AD1=[I3  
                                                                 M[6:p2u  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         p3 w  
    POvP]G9'"  
    RLb KD>  
                                                                 ?YZ- P{rTS  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         :^kZ.6Q@  
    >sWp ?  
    &Q>k7L!  
                                                                 /lo2y?CS*  
    VirtualLab Fusion技术   =&,]Z6{ >  
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