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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 |,dMF2ADc  
    8ZG'?A+{  
    5Tu#o ()  
                                                             m3_e]v3{o  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 mu"]B]  
                                                                 nZ\,ZqV  
    建模任务                                                         d*A>P  
    i'e^[oZ  
     d'[aOH4}  
    }%k"qW<Y  
    光栅元件   }lpcbm  
    ~O1*]  
                                                             & p_;&P_  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: i6`8yw  
    • FMM/RCWA "mPa >`?  
    • Diffractive Lens Component sWavxh8A  
                                                                 oN `tZ;a  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       34;c00  
    X'?v8\mPK  
                                                         f6|3| +  
    GE5@XT  
    正弦光栅-传输相位形态     lh#GD"^(w&  
    ^G2vA8%  
                                                         -S,dG|  
    /$eEj  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         KG3*~G  
    iBo-ANnK9  
     )D[xY0Y~  
    2{V|  
    正弦光栅-衍射效率 c(Ha"tBJ  
    l?FNYvL  
                                                                 iL,3g[g  
    ok6e=c '  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       dhVwS$O )  
    *(>$4$9n  
           8V|-BP5^  
    ZcWl{e4  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   "5y^s!/  
                                           OT *W]f  
    w5*18L=O\  
                                                                 teB {GR  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ^_=0.:QaW  
    s lI)"+6  
                                                               ,@!d%rL:4]  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         I9Sh~vTm=u  
    {VNeh  
    KdR&OBm  
     kW:!$MX!  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         }jk^M|Z"Oz  
    4xYo2X,B  
     7J;.T%4 l  
                                                                 )?xt=9Lh  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         |1<Z3\+_/  
    0[i]PgIH  
     cq=R  
                                                                 lLDHx3+  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         785iY865  
    -qEr-[z  
     l2v}PALs  
                                                                 Z*QRdB%,  
    VirtualLab Fusion技术   "Jwz.,Y\  
    /vV 0$vg  
                                                             qB:`tHy  
     
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