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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 fyYv}z  
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    UG Fx  
                                                        
    f3y_&I+zl  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ~b3xn T  
                                                                 \ CV(c]  
    建模任务                                                         J0d +q!  
    ?lR)Hi  
    +z>*m`}F  
    =H>rX 2k  
    光栅元件   K\IS"b3X  
    lr+Kwve  
                                                        
    -*e$>w[.N  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: -g IuL  
    • FMM/RCWA &KbtW_  
    • Diffractive Lens Component 9{70l539  
                                                                 A. U<  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       "LaNXZ9  
    ~< Gs<c}z  
                                                    
    ]AERi] B  
    g}ciG!0  
    正弦光栅-传输相位形态     q&jZmr  
    D<L]'  
                                                    
    K&BlWXT  
    ^zs CF0  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         EVgn^,  
    _? 1<  
    "Z &qOQg%3  
    x:xKlPGd  
    正弦光栅-衍射效率 q{yz]H,  
    kzJNdYtdH  
                                                            
    ~UK) p;|  
    HQt=.#GW  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       x"8(j8e  
    v{Zh!mk* L  
      
    |WXu;uf$.u  
    H!Uy4L~>  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   -T4?5T_  
                                      
    &oTSff>p}  
    AJt0l|F  
                                                                 4mNL;O  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) S.t+HwVodO  
    X]C-y,r[M  
                                                          
    &:akom8  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ``w,CP ?  
    {* >$aI  
    o6xl,T%  
    iP|h];a+@  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         nHD4J;l  
    Z=8 25[p  
    % eW>IN]5  
                                                                 <G2;nvRr  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         /Wg$.<!5 }  
    l= ~]MSwY  
    R/ l1$}  
                                                                 ll[U-v{  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Z7k {7  
    wbd>By(T1  
    7k+UCi u>  
                                                                 |;OM,U2  
    VirtualLab Fusion技术   {(ey!O  
    \w^U<_zq  
                                                        
    ^YenS6`F  
     
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