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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 @l BR;B"  
    jG8 ihi  
    fv#e 8y  
                                                             %-H  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /q(+r5k \  
                                                                 mtmtOG_/=  
    建模任务                                                         fE7[Sk  
    Pxy(YMv  
     R6CxNPRJ  
    Of Y>~d  
    光栅元件   l $MX \  
    %xkqiI3Ff  
                                                             ld`oIEj!P_  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: L}x"U9'C  
    • FMM/RCWA 8V^gOUF.  
    • Diffractive Lens Component ef Ra|7!HK  
                                                                 I)9;4lix  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       sj Yg  
    A5B 5pJ  
                                                         RG#  
    )7[>/2aGd  
    正弦光栅-传输相位形态     o^7}H{AE  
    x~A""*B~  
                                                         2'_Oi-&  
    \MX>=  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ^MDBJ0 I.  
    ogDyrY}]  
     ($[pCdY  
    \O72PC+  
    正弦光栅-衍射效率 y}nM'$p  
    (m~MyT#S  
                                                                 ATH0n>)  
    x^9W<  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       F(}d|z@@  
    =i\~][-  
           x-(?^g  
    yz,ak+wp  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   lg;`ItX]  
                                           $Ob]JAf}  
    IiS1ubNtZ  
                                                                 9e1gjC\c  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) J4xt!RW!  
    o#Rao#bD:  
                                                               $Y)|&,  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         jpT!di  
    'xvV;bi  
     NM  
     ;m{[9i` 2  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         H Viu7kue`  
    :KMo'pL  
      H[fD >  
                                                                 ,1RW}1n  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         E}.cz\!.  
    ^L<1S/~)  
     N@Bqe{r6j  
                                                                 mWta B>f  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         u,4,s[  
    64o`7  
     ~)Ny8Dh  
                                                                  Js'COO  
    VirtualLab Fusion技术   <@ (HQuL#  
    pcoJ\&&W  
                                                             Jel%1'Dc^  
     
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