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摘要 xR}^~14Bz '4k
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Hy=';Ccn} ,]RMa\Q4Wg 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 &{E1w<uv zLEl/yPE 建模任务 v&Xsyb0CaM \6AYx[|
OQ>8Q` ScOiOz:Ha 光栅元件 vOIK6- sI\v}$(~
>dO1) 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: e>z • FMM/RCWA Aiyx!Q6vT • Diffractive Lens Component ]S!:p>R ;PM(q<@\ 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) &%eWCe++ UF37|+"E
Lv;% z khFr%u ?S 正弦光栅-传输相位形态 Q8-;w{% _mSDz=!Z3
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S I_hus 正弦光栅-传输相位形态 ZAATV+Z u NmbR8Mx
3XykIj1 b0X<)1O 正弦光栅-衍射效率 mQL8ec_c _A]8l52pt
{"kEu v=m!$~ 正弦光栅-效率vs. 周期 bsClw /%&Kbd
f6/<lS oW [d"]AF[# 正弦光栅—选定周期的相位形态 d `MTc T'i^yd}*v b"4'*<=au hHA!.u4& 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) xE>jlr? nR%ey"
FS'|e?WU 闪耀光栅-传输相位形态 Fh8 8DDJ 8U8%XI EJ ,5*Z<[* ) |t;nK, 闪耀光栅-衍射效率 s+m3&(X gWk?g^KJL
|.#G G7F^S zG\& ZU 闪耀光栅-效率vs.周期 jmORKX+) mV>l`&K=
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