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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 /l-lkG5  
    ORhe?E]  
    5_@ u Be~  
                                                             !%<bLD8  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 M[N$N`9  
                                                                 M}E0Msq_o  
    建模任务                                                         KiU/N$ E  
    <\< [J0  
     3VZeUOxY\W  
    '`$z!rA  
    光栅元件   X(nbfh?n  
    7yGc@kJ?  
                                                             \M-}(>Pfk  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: rnvKfTpZDU  
    • FMM/RCWA T >X nVK  
    • Diffractive Lens Component @Omgk=6  
                                                                 y%A!|aBu  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       M}|<# i7u  
    e"9 u}-Q@  
                                                         ]RgLTqv4x  
    n4Od4&r  
    正弦光栅-传输相位形态     Y;ytm #=  
    f$vWi&(  
                                                         +.gM"JV  
    =~M%zdIXv  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         5}d"nx  
    x _&=IyU0j  
     rxZ%vzVQ>  
    by z2u  
    正弦光栅-衍射效率 UX3 ]cr  
    k*)O]M<,  
                                                                 tW4|\-E"s4  
    "L yMw){  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ^V]DQ%v"I  
    J ik+t\A  
           Y)*5M  
    2%Bq[SMuN  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   R[Y]B$XO  
                                           Vsh7>|@  
    bvY'=   
                                                                 : tKa1vL  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) XRi/O)98o  
    <xOv0B  
                                                               "RPX_  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         bvZTB<rA  
    > <cK  
    u2=gG.  
     . C_\xb  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         NHKIZx8sR  
    7O6VnKl  
     ~ KNdV  
                                                                 So &c\Ff  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Ul@ Jg    
    .yp"6S^b  
     *LnY}#  
                                                                 B^'Uh+Y  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         S}zh0`+d'Z  
    (ATvH_Z  
     ^zjQ(ca@"x  
                                                                 fJ"#c<n  
    VirtualLab Fusion技术   lLD-QO}/  
    VT.BHZ  
                                                             <YU+W"jQT  
     
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