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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 p>#q* eU5  
    xR|^{y9n  
    e-[PuJ  
                                                             CC;^J-h/  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 SM2N3"\  
                                                                 I|qhj*_C  
    建模任务                                                         oveK;\7/m  
    ^SKHYo`,,N  
     jzGK(%sw"  
    6x=w-32+ y  
    光栅元件    S~E@A.7  
    8lGM>(:o  
                                                             6-0sBB9=u  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: G--(Ef%v'  
    • FMM/RCWA ! K_<hNG&  
    • Diffractive Lens Component C/#pK2xY  
                                                                 RqP_^tB  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       <lWj-+m  
    O`"~AY&  
                                                         F|qMo|  
    -mn/Yv  
    正弦光栅-传输相位形态     wfpl]d!  
    i/H;4#Bz  
                                                         nE*S3  
    {"%a-*@%  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         1 ] cLbJ  
    Y6Cm PxOQ  
     peT91b  
    #D|%r-:"  
    正弦光栅-衍射效率 o3GkTn O  
    19c_=$mV  
                                                                 _aF8Us  
    ir>h3Zk   
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       H9_iTGBQ  
    ZfH>UHft  
           .P/0 `A{&  
    qNP)oU92  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   O(!; 7v}  
                                           L8!yP.3   
    9+PAyI#w  
                                                                 V,0$mBYa  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) kGo2R]Dd[  
    H.E=m0 np  
                                                               [ }Tb2|  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !<HMMf,-D  
    qe&B$3D|  
    q5=,\S3=  
     (a8iCci:   
    闪耀光栅-衍射效率                                                         r|DIf28MIq  
    SA&(%f1d  
     !ehjLFS?_  
                                                                 DB-79U%W  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         v[{7\Hha  
    O6)Po  
     KsE$^`  
                                                                 v;9(FLtL  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         'j, ([  
    ,=4,eCS  
     njg0MZBqA  
                                                                 WysWg7,r  
    VirtualLab Fusion技术   *pSnEWwE  
    2EZ7Vdz2  
                                                             :r hB=  
     
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