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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 @1D3E=  
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    Bus]OF>hu  
                                                        
    :!^NjO  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 *'*n}fM  
                                                                 5"ooam3  
    建模任务                                                         RKZBI?@4  
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    光栅元件   4 !m'9  
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    Q.fUpa v  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: }$[@*  
    • FMM/RCWA Ta$55K0  
    • Diffractive Lens Component wYLodMaYH  
                                                                 jz S iw z  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       B6@q`Bmw.  
    eaDR-g"  
                                                    
    gjx-tp 1.  
    ]^8CtgC  
    正弦光栅-传输相位形态     hAs ReZ?  
    L9oLdWa(C  
                                                    
    wR,}#m,  
    BLAF{vVaf  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ^j@+!A_.Q  
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    NwdrJw9  
    正弦光栅-衍射效率 1CR\!?  
    N3zZ>#{  
                                                            
    *sau['Ha  
    !p76I=H%  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       maa$kg8U*!  
    u8t|!pMF8  
      
    zeq")A  
    `PUxR8y  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   T]/5aA4  
                                      
    + )z5ai0m  
    ( P=WKZMPN  
                                                                 g7^|(!Y%  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 0FLCN!i1  
    @eDs)mY  
                                                          
    lr[T+nQ  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         fwmXIpteK  
    ]O{i?tyX  
    _q}Cnp5  
    'p78^4'PL  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ^>>9?  
    Mlr'h}:H  
    G B,O  
                                                                 ng~LCffpY  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         @!j6y (@  
    H:OpS-b  
    C<(qk_  
                                                                 W /*?y &  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         fmJK+  
    w{u,YM(Q  
    :R3iLy  
                                                                 kr@!j@j$  
    VirtualLab Fusion技术   +v'2s@e` #  
    FFcIOn  
                                                        
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