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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 +5Yf9  
    hX\z93an  
    yDBS : \  
                                                        
    KUG\C\z6=  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 )BR6?C3  
                                                                 >'4Bq*5>  
    建模任务                                                         lg_X|yhL  
    mAkR<\?iTF  
    |A".Mo_5  
    ^&iUC&8W  
    光栅元件   .,t"i C:E  
    DN)Ehd.  
                                                        
    HCHZB*r[  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: = 8F/]8_  
    • FMM/RCWA h$)},% e  
    • Diffractive Lens Component VkCv`E  
                                                                 V:*QK,  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       RX.n7Tb  
    2 fp\s5%J}  
                                                    
    ~W'>L++  
    o:u *E  
    正弦光栅-传输相位形态     Y_n^6 ;  
    eIjn~2^  
                                                    
    J_A+)_  
    (Hqy^EOZ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         "' g*_  
    _w8iPL5:  
    5/<?Y&x  
    n:cre}0.  
    正弦光栅-衍射效率 w8M,35b  
    [!E pv<G  
                                                            
    sqw^Hwy=!2  
    4:Adn?"  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       eyK=F:GO  
    JiL%1y9|  
      
    &UtsI@Mu  
    Wh4`Iv\.  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   J8[N!qDCj  
                                      
    r=YprVX  
    a=3?hVpB  
                                                                 DDh$n?2fd  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) YK Nz[x$|  
    {?c `0C  
                                                          
    d6ZJh xJ  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         2aiZ  
    :=u Ku'~  
    U  JO  
    6j9P`#Lt  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         R1Jj 3k  
    kWs"v6B  
    KF&1Y>t=  
                                                                 T\\Q!pY  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         hawE2k0p(  
    <t[WHDO`  
    7XLz Ewa  
                                                                 G%N3h'zDi  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         X2PQL"`  
    u\gPx4]4c  
    ][R#Q;y<  
                                                                 o'S&YD  
    VirtualLab Fusion技术   "]|I;I"b  
    4#H~g @  
                                                        
    |`d5Y#26  
     
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