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摘要 +5Yf9 hX\z93an
yDBS :
\ KUG\C\z6= 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 )BR6?C3 >'4Bq*5> 建模任务 lg_X|yhL mAkR<\?iTF
|A".Mo_5 ^&iUC&8W 光栅元件 .,t"iC:E DN)Ehd.
HCHZB*r[ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: =
8F/]8_ • FMM/RCWA h$)},% e • Diffractive Lens Component VkCv`E V:*QK, 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) RX.n7Tb 2fp\s5%J}
~W'>L++ o:u *E 正弦光栅-传输相位形态 Y_n^6 ; eIjn~2^
J_A+)_ (Hqy^EOZ 正弦光栅-传输相位形态 "'
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5/<?Y&x n:cre}0. 正弦光栅-衍射效率 w 8M,35b [!E pv<G
sqw^Hwy=!2 4:Adn?" 正弦光栅-效率vs. 周期 eyK=F:GO JiL%1y9|
&UtsI@Mu Wh4`Iv\. 正弦光栅—选定周期的相位形态 J8[N!qDCj
r=YprVX a=3?hVpB DDh$n?2fd 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) YK Nz[x$| {?c`0C
d6ZJh xJ 闪耀光栅-传输相位形态 2aiZ :=u Ku'~ U JO 6j9P`#Lt 闪耀光栅-衍射效率 R1Jj 3k kWs"v6B
KF&1Y>t= T\\Q!pY 闪耀光栅-效率vs.周期 hawE2k0p( <t[WHDO`
7XLz Ewa G%N3h'zDi 闪耀光栅-选定周期相位形态 X2PQL"` u\gPx4]4c
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