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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 Q?tV:jogY  
    ]S:@=9JB'  
    68!]q(!6F  
                                                             Ya_6Zd4O  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Stc\P]%d  
                                                                 a(7ryl~c=  
    建模任务                                                         G !~BA*  
    0l##M06>  
     K]u|V0c  
    q)~qd$yMS  
    光栅元件   ##5/%#eZ  
    $W?XxgkB?  
                                                             <oO,CXF  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: gP<_DEd^`  
    • FMM/RCWA 6Te}"t>  
    • Diffractive Lens Component Cb6MD  
                                                                 kmoJ`W} N  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       r#Mx~Zg~  
    . $k"+E  
                                                         J v#^GNm  
    VMWg:=~$  
    正弦光栅-传输相位形态     V4-=Ni]k  
    F[u%t34'  
                                                         -b$OHFL  
    caP  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         m@@QT<  
    d.AjH9 jg  
     (*ng$z Z$  
    OGFKc#  
    正弦光栅-衍射效率 @NIypi$T  
     SoX V  
                                                                 2UF94  
    (HI%C@e9  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       /)1-^ju  
    5avO48;Vc  
           bw\=F_>L  
    ;N\?]{ L  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   PR?clg=z  
                                           H1nQ.P]_  
    _);Kb/  
                                                                 G!8pF  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 1 =<|h  
    Y+GeT#VHe  
                                                               ^W D$ gd  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         vI'>$  
    >#?: x*[  
    dLf8w>i`T  
     V+24-QWh  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         kDq%Y[6Z  
    ?vFh)U  
     05B+WJ1  
                                                                 BA-nxR  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ef&@aB  
    kW&Z%k  
     3+3m`%G  
                                                                 Q ~JKKq  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Zk UuniO  
    ok[=1gA#h  
     9M]"%E!s  
                                                                 9D{).f0  
    VirtualLab Fusion技术   5Kj4!Ai  
    #<Nvy9  
                                                             h(Ed%  
     
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