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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 ]33!obM  
    fPR_ 3qgQ  
    tpfgUZ{  
                                                             *t@A-Sn  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ]vrZGX a+  
                                                                 j\2Qe %d  
    建模任务                                                         &D, Iwq  
    ]#tB[G  
     inP2y?j  
    222 Y?3>@D  
    光栅元件   Y },E3<  
    [FFr}\}bY  
                                                              |/Nh#  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *a9cBl'_  
    • FMM/RCWA CM6% g f3  
    • Diffractive Lens Component 6h 0qtXn-  
                                                                 ZU4=&K  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ^T=9j.e'ja  
    iaGA9l<b  
                                                         IH|zNg{\Y  
    Q(|@&83].  
    正弦光栅-传输相位形态     GQ2GcX(E(  
    Jo?LPR \6  
                                                         c<lp<{;  
    m`yvZ4K!  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         3efOgP=L  
    "LBMpgpU  
     ,d"T2Hy  
    ;6tra_  
    正弦光栅-衍射效率 19 5_1?'<  
    Z@~gN5@,M  
                                                                 FP@_V-  
    `3TR`,=  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5100fX}  
    Sd+5Uf `  
           w$]G$e  
    =RoE=) 1&-  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7Cz~nin>7  
                                           ZO+RE7f*?c  
    tXE/aY*I  
                                                                 a>4/2#J  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ~q>jXi  
    LjKxznn o  
                                                               {^]qaQ[5N  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         HQ-[k$d W4  
    >6es 5}  
    N,`@Q7  
     X3:1KDVsV  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Bm~^d7;Cw  
    -l[H]BAMXy  
     hY)zKX_r  
                                                                 O4rjGTRF  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         I4Do$&9<D  
    kZ9Gl!g  
     7qC /a c  
                                                                 <spG]Xa<  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         e$L C  
    ZflB<cI  
     .Xlo-gHk  
                                                                 /xn|d#4  
    VirtualLab Fusion技术   '5}hm1,  
    RDps{),E;d  
                                                             1P)K@j  
     
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