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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 .L0pS.=LT  
    6A7UW7/  
    #m1e_[   
                                                             j01.`G7Q  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 -@b&qi7&S  
                                                                 e,>L&9] ZI  
    建模任务                                                         l7Y^C1hM  
    j0L9Q|s  
     .J#xlOa-  
    j_-$xz5-  
    光栅元件   yL^1s\<ddW  
    BP6;dF5 E  
                                                             EB)j&y_  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ])!|b2:s3  
    • FMM/RCWA 6Ii2rEzD  
    • Diffractive Lens Component -iGt]mbJkP  
                                                                 EJO:3aKa  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       oJVpNE[3]  
    ,miU'<8tQ|  
                                                         pOS:/~I3  
    PQ.xmg2  
    正弦光栅-传输相位形态     >^ 0JlL`XG  
    "tBdz V  
                                                         TKvUBy  
    |jJC~/WR  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         r.** z j  
    }P#%aE&-  
     Na=9 ju  
    L.$9ernVY  
    正弦光栅-衍射效率 {g@Wd2-J}  
    8Y3c,p/gS>  
                                                                 Wznz  
    38b%km#  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       .*:SZ3v  
    "Y }f"X|  
           HWT0oh]  
    aDb@u3X@  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ePa:_?(  
                                           {J%Na&D  
    p<?~~7V  
                                                                 e]!Vxn3  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) PwQW5,,h0  
    " E72j.  
                                                               5Qd |R  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         BWFl8 !_X  
    F8Z<JcOI  
    ~mOGNf?f  
     6%H8Q v  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         )|@b GEk  
    %/>\`d?  
     LO[1xE9  
                                                                 Qh%/{6(u  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         R[LVx-e7'  
    ~:b bV6YO  
     sqi~j(&\1  
                                                                 }X$vriW  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         fO[X<|9  
    3H%R`ha  
     lyI rO"o  
                                                                 @;qC % +^  
    VirtualLab Fusion技术   ,pa,:k?  
    ;@Ep?S @  
                                                             Wy@Z)z?  
     
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