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摘要 &ZClv"6 )pW(Cp
%}x/fq i~ PN(h 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ?_(0cVi MjQKcL4%7 建模任务 -=s7Q{O8Z B/c_pRl;
bJmVq%>; 7Ha
+@ 光栅元件 _t'Kj\ VfAIx]Fa
n$F&gx'^ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 0bzD-K4WVd • FMM/RCWA +^1HtI|y • Diffractive Lens Component =YR/X@& ]SFB_5Gb 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) %j^[%&pT `7LN?-
T
#x"4tI GCkc[]2p 正弦光栅-传输相位形态 oIAP dn #K yb9Qg
V+W,#5 GX4# IRq 正弦光栅-传输相位形态 ]<WKi= "9Sxj
bP`yLz vbXuT$ 正弦光栅-衍射效率 X48Q{E+ X25cU{
4xjk^N9 w[qWr@
正弦光栅-效率vs. 周期 P`v%<
9~ GE\@mu *pO
_1VtVfiZ{ vClD)Ar 正弦光栅—选定周期的相位形态 Ie`kzssM SuMK=^>% Z f4Xt
Yn T+8F'9i` 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) t
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7[[XNJP 闪耀光栅-传输相位形态 EGf9pcUEO& N J9H= osB[KRT>(" M\BLuD 闪耀光栅-衍射效率 v[T5D: iEux`CcJ.
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O=` [R iCa 闪耀光栅-效率vs.周期 '=EaZ>= )f>s\T
CaX&T2( S\JV96 闪耀光栅-选定周期相位形态 Fyrr,# A_6b 4T
]i3 2-8% KGS=(z VirtualLab Fusion技术 I9h?Z&n5 {<5rbsqk
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