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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-16
    摘要                                                                             jRP.Je@t  
    Jwzkd"D  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 {VqcZhqy/l  
    Yoy}Zdu}h  
    Z)B5g>  
    g7G=ga  
    超构光栅结构和建模 !"{+|heU9p  
    i,jPULzyjk  
                                                                            
    bgs2~50  
    [ix45xu7  
    VirtualLab Fusion提供: T\\Q!pY  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ni$7)YcF  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 V_*TY6  
    X!r9  
    光栅周围介质   Tdvw7I-q  
    G%N3h'zDi  
                                                                            
    X2PQL"`  
    u\gPx4]4c  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ][R#Q;y<  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 3(|8gWQ  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ]DcQ8D  
    fyat-wbb  
    光栅堆栈内部材料 %j9'HtjEa  
    k[3J5 4`g1  
                                                                          
    pq0F!XmU  
    _\M:h+^  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 h?H:r <  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 <=KtRE>$  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 Wx&gI4~  
    gKK*` L~  
    单柱几何配置 NIn#  
    gGl}~  
                                                                        
    *3_@#Uu7  
    >*v!2=  
    柱子的分布                                                                           ~x`BV+R  
    kae &,'@JF  
    x5/O.5>f  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 9L+dN%C  
    • 有几种方法可以做到这一点: ]AjDe]  
    • 逐个柱子,手动; ;Js-27_0  
    • 一次性定义在等距网格; Y> }[c   
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 "?E>rWz  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 w>M8 FG(4]  
    8RC7 Ei  
    数值参数设置 ~4YU  
    ~Xa8\>  
                                                                          
    3=( Gb  
    Z["[^=EP  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 $J8?!Xg  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 MpZ #  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ^^MVd@,i  
    [0v`E5  
    例1:一维Blazed 超构光栅 :sD/IM",},  
    lFMQT ;  
    材料和介质的配 R~nbJx$  
    eq)8V x0  
                                                                        
    |y+<|fb,a  
    see the full Application Use Case nZ>8r  
    biZwxP3  
    柱子几何及分布                                                                           fhCMbq4T  
       Ji<^s@8Zc  
    ;[ UGEi  
                                                                                     /(#;(]  
    空间频率数                                                                             y8/ 7@qw  
                                                                                "5\<.  
    {<XPE:1>Y  
    &m@~R|  
    +r0ItqkM  
    例2:二维光束分离超构光栅 &6*X&]V!Z  
    x[]}Jf{t  
    材料和介质的配置                                                                             $GI2rzh  
    +k=BD s  
    i}C9  
    @I{v  
    柱子几何及分布                                                                           5$C4Ui{<E'  
    |TCHPKN  
    QH:PClW![  
     
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