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摘要 8KJ`+"<=@ hqln 6m 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 E
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 :@)R@. - +F q_w 超构光栅结构和建模 tf6-DmMH
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V 7 q!==P= VirtualLab Fusion提供： f3Zf97i Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; bM"?^\a&Q Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 R d HCb k $gnrd~v4e 光栅周围介质 uDND o
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 )C"ixZ>2xQ #/ePpSyD • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 OD7^*j(p` • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 JmDx sb^ • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 V|@bITJ?7 ^[.}DNR95( 光栅堆栈内部材料 S`YT"|~
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 C-S>'\ |8 lx4p T w1 • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 e YP^. U) • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 @5wc 3y • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 kJl^,q ML'y `S 单柱几何配置 @:RoY vk$
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 ZHjL8Iq V-7l+C 5 柱子的分布 g _{N^wS ~tWh6-:|{J  OS`jttU@ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 Wcc4/:`Hu • 有几种方法可以做到这一点: 5- GS@ f Y • 逐个柱子，手动; L3HC- • 一次性定义在等距网格; Ph]b6 • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 /0qb Rk i • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 pTi7Xy!Cw *<S>PbqLw 数值参数设置 2DPv7\fW
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 %w[Z/ aL[6}U0 (} • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 UH6 7<_mK • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 B(1-u!pz • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 XQ n1B3k + e(/F:ZEh 例1:一维Blazed 超构光栅 hsrf 2Xw[ "P#1= 材料和介质的配置 8Yk*$RR9
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 7^#f)Vp see the full Application Use Case ~Z/ ,o)
I ?Dp *u* 柱子几何及分布 X uE: dL? Ur]$@N  W9w*=W
)Z FfM^2`xP 空间频率数 }NyQ<,+mq& TMMJ5\t2  5\z<xpJ cQhr{W,Un H}kSXKO8!8 例2:二维光束分离超构光栅 h-1?c\Qq: Rs5 lL-I 材料和介质的配置 I[k"I( tgG*k $8z
 =[]6NjKS, y(QFf*J 柱子几何及分布 $2h%IK>#G R6(:l;
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