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摘要 Q[O[,Rk 3C{3"bP 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 B/hL
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 [R:\ 8(J&_7u 超构光栅结构和建模 KAH9?zI)M
H}5zKv.T
 ~Q}JC3f> Q$ r1beA VirtualLab Fusion提供： {W*_^>;K Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; L8s HG$[ Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 {U/a h2* ?$ T! = e" 光栅周围介质 6fV%[. RR
|d =1|C %,
 bAS('R;4 MM8@0t'E • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 h.+{cOA;n • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 <J" 7ufHSQ • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 w],+l N; X+2 aP'D 光栅堆栈内部材料 Qvo(2(
szW_cjS
 Jv(9w[ +s?0yH-%p • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 _EMq"\ND • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 M5DQ{d<r • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 ;T6{J[
h "|<6 bA 单柱几何配置 A<-Prvryt
7 $AEh+f
L7oLV?k C Za Urr 柱子的分布 rS1mBrqD Teq1VK3Hr  4pNIsjl} • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 3>LyEXOW • 有几种方法可以做到这一点: d67Q@ ')00 • 逐个柱子，手动; {KkP"j'7h • 一次性定义在等距网格; P5
f p!YF • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 v[4A_WjT • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 Zq w xi1 e_ mUO" 数值参数设置 m]LR4V6k|
TTB1}j+V6
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O ;+N"v .
!gkJ • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 f44b=,Lry5 • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 Fl)p^uUtl • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 !J<}=G5 ={_.} 例1:一维Blazed 超构光栅 ' *h y!f] LvP{"K; 材料和介质的配置 *6uZ"4rb.
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 8w,U[aJm see the full Application Use Case !&4<"wQ
v,6 柱子几何及分布 d:KUJ
Y. 1e= <df  wkSIQL zQY|=4NP 空间频率数 g
)H>Uu5@ : 0K[fBa  *5KV DOd
jY^wqQls 7)Zk:53] 例2:二维光束分离超构光栅 #'"zyidu G JlkEWs 材料和介质的配置 }~gBnq_DDU s"1:#.u
 M#v#3:&5 Yr9>ATR 柱子几何及分布 a`SQcNBf* NpS*]vSO  "&jWC
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