切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 269阅读
    • 0回复

    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6313
    光币
    25710
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-16
    摘要                                                                             N=KtW?C  
    1o%#kf  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ~TEn +  
    $R/@8qnP W  
    H3<tsK=:  
    P:4"~ ]}  
    超构光栅结构和建模 kpIn_Ea  
    U?le|tK  
                                                                            
    ,"(G  
    zR?R,k)m  
    VirtualLab Fusion提供: 3ai[ r  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; w\o6G7  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 u9OY Jo  
    ?J2A1iuq3  
    光栅周围介质   4d5c ]%  
    L AasmQ  
                                                                            
    e^>>" tr  
    qqf`z,u  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 W_ `]7RO8  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 hbH~Ya=+S  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 e"%TU  
    &/]en|f"  
    光栅堆栈内部材料 kk-<+R2  
    ;rT'~?q  
                                                                          
    E(4c&  
    a+cMXMf  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 QIGUi,R  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 @/.# /  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 m6ge %  
    w~b:9_reY  
    单柱几何配置 G|rE\h 2w  
    Y0a[Lb0  
                                                                        
    FtIcA"^N  
    k56Qas+3=  
    柱子的分布                                                                           dj Ojd,  
    Y7}Tuy dC  
    !Zj ]0,^  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 +M0pmK!  
    • 有几种方法可以做到这一点: eut2x7Z(c  
    • 逐个柱子,手动; <#C,66k  
    • 一次性定义在等距网格; pXSShU#  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 w+ R/>a( ]  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 6e+'Y"v  
    #u hUZq  
    数值参数设置 Ds">eNq  
    e Wux  
                                                                          
    Z v@nK%#J  
    2CzhaO  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 SV>tw`2  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 VV$t*9w  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 GEWjQ;g  
    10FiA;  
    例1:一维Blazed 超构光栅 - eG~  
    kcCCa@~v  
    材料和介质的配 Y~I<Locv  
    +lx& $mr?  
                                                                        
    'E_~ |C  
    see the full Application Use Case AEyvljv  
    uAn}qrqE9  
    柱子几何及分布                                                                           53])@Mmus  
       'I]XX==_  
    y/Xs+ {x  
                                                                                     H$h#n~W~  
    空间频率数                                                                             nqyD>>  
                                                                                'o-4'  
    ljKIxSvCFp  
    qiNVaV\wr|  
    JXB)'d0  
    例2:二维光束分离超构光栅 l[/`kK  
    ~#pATPW@(  
    材料和介质的配置                                                                             j7~FR{: j  
    &jP1Q3  
    4@ PA+(kvS  
    ^e.-Ji  
    柱子几何及分布                                                                           R/+$ :  
    >pv.,cj  
    .{V"Gn9!  
     
    分享到