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摘要 jRP.Je@t Jwzkd"D 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 {VqcZhqy/l Yoy}Zdu}h
Z)B5g> g7G=ga 超构光栅结构和建模 !"{+|heU9p i,jPULzyjk
bgs2~50 [ix45xu7 VirtualLab Fusion提供: T\\Q!pY Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ni$7)YcF Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。
V_*TY6 X!r9 光栅周围介质 Tdvw7I-q G%N3h'zDi
X2PQL"` u\gPx4]4c • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ][R#Q;y< • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 3(|8gWQ • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ]DcQ8D fy at-wbb 光栅堆栈内部材料 %j9'HtjEa k[3J5 4`g1
pq0F!XmU _\M:h+^ • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 h?H:r <
• Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 <=KtRE>$ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 Wx&gI4~ gKK*`
L~ 单柱几何配置 NIn# gGl}~
*3_@#Uu7 >*v!2= 柱子的分布 ~x`BV+R kae&,'@JF x5/O.5>f • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 9L+dN%C • 有几种方法可以做到这一点: ]AjDe] • 逐个柱子,手动; ;Js-27_0 • 一次性定义在等距网格; Y>}[c
• 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 "?E>rWz • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 w>M8FG(4] 8RC7Ei 数值参数设置 ~4YU ~Xa8\>
3=(Gb Z["[^=EP • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 $J8?!Xg • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 MpZ
# • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ^^MVd@,i
[0v`E5 例1:一维Blazed 超构光栅 :sD/IM",}, lFMQT
; 材料和介质的配置 R~nbJx$ eq)8V x0
|y+<|fb,a see the full Application Use Case nZ>8r biZwxP3 柱子几何及分布 fhCMbq4T Ji<^s@8Zc ;[
UGEi /(#;(] 空间频率数 y8/
7@qw "5 \<. {<XPE:1>Y &m@~R| +r0ItqkM 例2:二维光束分离超构光栅 &6*X&]V!Z x[]}Jf{t 材料和介质的配置 $GI2rzh +k=BD s
i}C9 @I{v 柱子几何及分布 5$C4Ui{<E' |TCHPKN QH:PClW![
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