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摘要 N=KtW?C 1o%#kf 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ~TEn + $R/@8qnP
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H3<tsK=: P:4"~]} 超构光栅结构和建模 kpIn_Ea U?le|tK
,"(G z R?R,k)m VirtualLab Fusion提供: 3ai[ r Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; w\o6G7 Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 u9OY
Jo ?J2A1iuq3 光栅周围介质 4d5c]% L
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e^>>"tr qqf`z,u • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 W_`]7RO8 • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 hbH~Ya=+S • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 e"%TU &/]en|f" 光栅堆栈内部材料 kk-<+R2 ;rT'~?q
E(4c& a+cMXMf • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 QIGU i,R • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 @/.#
/ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 m6ge
% w~b:9_reY 单柱几何配置 G|rE\h 2w Y0 a[Lb0
F tIcA"^N k56Qas+3= 柱子的分布 djOjd, Y7}Tuy dC !Zj]0,^ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 +M0pmK! • 有几种方法可以做到这一点: eut2x7Z(c • 逐个柱子,手动; <#C,66k • 一次性定义在等距网格; pX SShU# • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 w+R/>a(] • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 6e+'Y"v #uhUZq 数值参数设置 Ds">eNq e
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v@nK%#J 2Cz haO • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 SV>tw`2 • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 VV$t*9w • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 GEWjQ;g 10FiA; 例1:一维Blazed 超构光栅 -eG~ kcCCa@~v 材料和介质的配置 Y~I<L ocv +lx&$mr?
'E_~|C see the full Application Use Case AEyvljv uAn}qrqE9 柱子几何及分布 53])@Mmus 'I]XX==_ y/Xs+ {x H$h#n~W~ 空间频率数 nqyD>> 'o-4' ljKIxSvCFp qiNVaV\wr| JXB)'d0 例2:二维光束分离超构光栅 l[/`kK ~#pATPW@( 材料和介质的配置 j7~FR{:j &jP1Q3
4@PA+(kvS ^e.-Ji 柱子几何及分布 R /+$ : >pv.,cj .{V"Gn9!
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