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摘要 pQ>V]M ZTun{ Dw{ 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 /x-t - }
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 LgaJp_d>9* <L`R!} 超构光栅结构和建模 v6r w.
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 {tM D*?C[6 X4TUi8ht!] VirtualLab Fusion提供： _#+ 9)*A Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; L`!sV-. Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 ( u _ sz n Ye} d! 光栅周围介质 j lB3BwG{w
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 m&\Gz *)3 &A9+%kOk> • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 zEGwQp< • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 07#!b~N • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 l>]M^=,&7 ,t[D1KZ t 光栅堆栈内部材料 `+6HHtF
WZMsmhU@T
 &yN<@. %Xi%LUk{ • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 k9,"`dk@ • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 B^qB6:\t • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 KYQ6U.%W ^>" ?!lv 单柱几何配置 n5 i}J/Sa2
C+k>Aj r
 pxF!<nN1, yx-"YV}5 柱子的分布 {\e}43^9N G pd:k  !d^` YEfE • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 P TP2QAt • 有几种方法可以做到这一点: ieI-_]|[ • 逐个柱子，手动; +~@Y#>+./l • 一次性定义在等距网格; b-Hn=e _ • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 &td#m"wI • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 O^GX Fz^ <ZiO[dEV 数值参数设置 RoTT%c P_
Px8E~X <@
 PEWzqZ|!; `zL9d lZ • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 %F~
dmA#: • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 :NL N xK • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 "xOeBNRjV x#^kv) 例1:一维Blazed 超构光栅 (}:xs,Ax %9lxE[/ 材料和介质的配置 #59zv=
H L?pnT09
 by<2hLB9Q see the full Application Use Case $ d"+Njd
}FXRp=s 柱子几何及分布 J3 ]m*i5A *.RVH<W=8  q~3&f yi OF& 空间频率数 `FwAlYJK DXt^Ym5Cv  FuKNH~MevQ *l//r
V?l F0\ry "(t 例2:二维光束分离超构光栅 riL!]'akV 9E^p i LA 材料和介质的配置 #t
O!3= 0 > U)O@W)
 ,3j7Y5v =X*E(.6Ip 柱子几何及分布 <Va>5R_d< }#J}8.  S\A[Z&k 0
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