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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-16
    摘要                                                                             /mA,F;   
    =>iA gp'#  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 H1/?+N}(  
    M}O}:1Par  
     r)^vO+3u  
    `d\r;cE%lm  
    超构光栅结构和建模 ?'s6Xmd  
    nXy>7H[0  
                                                                                 Ts.wh>`  
    $pyOn2}  
    VirtualLab Fusion提供： >R\lqLILb,  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; l{Dct\ #s  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 3djC;*,9,  
    I%j_"r9-I  
    光栅周围介质   FAsFjRS  
    q%Yn;g|_  
                                                                                 /w(e  
    *`_{  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 0@I S  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 nUS| sh  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 #bH_Dg5I  
    .8(OT./  
    光栅堆栈内部材料 Fqy\CMC  
    A@hppaP!  
                                                                               ag-f{UsTy  
    x'<K\qp{{  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 `h:34RC;  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 1y#D?R=E  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 $+p?Y)h .  
    Fz#X= gmG  
    单柱几何配置 f| _u7"OX  
    t>=fTkB  
                                                                             VTy9_~q  
    El\%E"Tk%  
    柱子的分布                                                                           7lV.[&aKW  
    I$q]. B  
    -Eu6U`"(  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 LUB${0BrA  
    • 有几种方法可以做到这一点: ktIi$v  
    • 逐个柱子，手动; ;X*cCb`h   
    • 一次性定义在等距网格; ~t9tnLc$  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 J'$>Gk]  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 A,sr[Pa@  
    >leU:7  
    数值参数设置 ^nbnbU4'  
    kuyjnSo9i  
                                                                               WSuww  
    )W/;=K  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 UMAgA!s  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 2hzsKkrA {  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 _ODbY;M  
    _S>JKz  
    例1:一维Blazed 超构光栅 QQWadVQo  
    }zhGS!fO  
    材料和介质的配置 ULMu19>  
    KQB3 m"  
                                                                             !1e6Ss  
    see the full Application Use Case ^#-nE7  
     <HbcNE~  
    柱子几何及分布                                                                           |*}4 m'c  
       bv&;R  
    'Lu__NfN  
                                                                                     /!c${W!sY  
    空间频率数                                                                             d_IAs  
                                                                               xlQBe-Wg  
    YW7b)u Yf  
    "'D=,*  
    )c `7( nY  
    例2:二维光束分离超构光栅 <J^MCqp!v  
    6Vz9?puD  
    材料和介质的配置                                                                             \B,(k<  
    gLOEh6  
     A!h`]%0B  
    j KoG7HH  
    柱子几何及分布                                                                           6oGYnu;UZ  
    .ev?"!Vpp9  
    ;qm D50:%  
     
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