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摘要 p+[} Hxx= N@()F&e 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 TEWAZVE*
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 sJ~P:g M/#U2!iFk 超构光栅结构和建模 5
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2 .f|2: I
 A"4@L*QV k 4B_W VirtualLab Fusion提供： p=B?/Sqa Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; L/x(RCD Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 +"uwV1)b" =dGKF`tR 光栅周围介质 j"hASBTgp
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 azX`oU,l ,|pp67 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 O]{*(J/t • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 {|6z+vR • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ]"sRS`0+
m}5q]N";x 光栅堆栈内部材料 fHfY}BQS
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 s$GF 95^ {mSJUK?TKl • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 Hk u=pr3Gn • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 sRq U]i8l • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 p {.8_#O%S k1fRj_@WPT 单柱几何配置 3cC }'j
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 4j3oT)+8 ?"j@;/= 柱子的分布 x?L hq2 ^i`*Wm@!  "E H ,J • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 b Us|t • 有几种方法可以做到这一点: :;4SQN{2
O • 逐个柱子，手动; +(mL~td01 • 一次性定义在等距网格; Mm# [&j[Y • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 <Wy>^<` • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 !8$RB D % qks|d_ 数值参数设置 O
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 Of`c`-<j " H1:0p • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 ``9 GY • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 $bGD%9
z • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ow.j+ <M /6U
4 S>'( 例1:一维Blazed 超构光栅 0M 8 .U |+NuYz? 材料和介质的配置 -0 0}if7
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 C4NRDwU |. see the full Application Use Case CgnXr/!L
Ro r2qDF 柱子几何及分布 j} RzXJ~t (1){A8=?o  J&6:d aws"3O%
uW 空间频率数 ez*j jm 3ATjsOL  9#rt:&xo0 H?U't
09 <4mQ*6 例2:二维光束分离超构光栅 ~m`!;rE {$fsS&aPg 材料和介质的配置 n}J^6:1 s#^p C*,'
 1r 571B*O HXks_ix ) 柱子几何及分布 ]}2Zt r)zZ @
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