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摘要 ;_Z[' % W 2.Ap 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 :M
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 \olYv!f S{#L7 S 超构光栅结构和建模 Ek%mX"
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 Js}1_K {IA3`y~ VirtualLab Fusion提供： @[. 0, Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; J_rb 3 Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 0S71&I$u] s2*~n_B 光栅周围介质 GZWU=TC2{2
Cu&y',ee~
 e> -fI_+b "1HKD • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 b:t|9 FE% • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 ~D\zz }l • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 BH\!yxK [H5BIM@{ 光栅堆栈内部材料 PED V9u[A
o4F( X0
 #Q'j^y 7=z 9mRP%c#( • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ~
NZC0& • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 &.1qixXIr • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 Jy?; < 0 n}2D7 单柱几何配置 uyDPWnYk
L-eO_tTh0
 d`9ofw~3= X([p0W
9V( 柱子的分布
Ci(c`1a v IC6r?  oF L7dL • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 t5RV -$ • 有几种方法可以做到这一点: </]a`h] • 逐个柱子，手动; eY\w ?pT2 • 一次性定义在等距网格; ]@{l<ExP • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 zw[ #B # • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 =M9 ;`EmC R1vuf*A5, 数值参数设置 Q4ZKgc C
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 "DvhAEM P"f4`q
• 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 *3\ N j6 • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 "6q@}sz! • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ke b.%cb= F [KM0t! 例1:一维Blazed 超构光栅 .H
9 r_ [P*zm 8b 材料和介质的配置 L(o#) I>j
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Ruv`yfQ see the full Application Use Case suHi sc*
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1 1<=3Yj 柱子几何及分布 L<k(stx~ EGVS8YP>h  >u+% H
vzc wC?>,LOl 空间频率数 {t!Pv 2y< ^cCNQS }r  GBY{O2!3u mO2u9?N =[,EFkU?B 例2:二维光束分离超构光栅 .iYp9?t zl<D" eP 材料和介质的配置 $ Y M( NC GT,1t=|&V
 L)c] i'W Z B` )TRt+'. 柱子几何及分布 o .*t %UlgG 1?A  {q! :t0X.Y
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