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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-16
    摘要                                                                             ";/ogFi  
    8A}<-?>  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 qC5IV}9`  
    5#y_EpL"  
     'rq@9$h1W  
    aj/+#G2  
    超构光栅结构和建模 QMy1!:Z&!  
    5tk7H2K^<  
                                                                                 6Kw?  
    6J">@+  
    VirtualLab Fusion提供： LB[?kpy  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ZUvc|5]  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 )[u'LgVN/L  
    dkqyn"^  
    光栅周围介质   7u rD  
    D;*cy<_K8  
                                                                                 ML0_Uc3en  
    rU(-R@["  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 HKIr?  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 H7k@Br  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 sk*vmxClY  
    3sW!ya-VZ  
    光栅堆栈内部材料 J#q^CWN3R  
    |>1#)cONW  
                                                                               ,`YIcrya:  
    @sW!g;\T  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 )3<>H!yG}  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 s%8,'3&  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 A-J#$B  
    i29a1nD4Hm  
    单柱几何配置  ;]bW  
    4Xww(5?3  
                                                                             n&a\mGF  
    &|#,Bsk"@  
    柱子的分布                                                                           @= =)  
    TuaP  
    6L)7Q0Z  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 7j29wvSp5  
    • 有几种方法可以做到这一点: 7#Uzz"^  
    • 逐个柱子，手动; F/[m.!Eo  
    • 一次性定义在等距网格; J1Az+m  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 /a9CqK  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 NqveL<r`  
    {B e9$$W,  
    数值参数设置 M%RH4%NZ0  
    Y\+LBbB8  
                                                                               G]{^.5  
    8EX?/33$  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 }`!-WY  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 lR9uD9Dr  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 {oR@'^N  
    MOay^{u  
    例1:一维Blazed 超构光栅 IGi9YpI&K  
    )]4=anJu@|  
    材料和介质的配置 /{[p?7x>  
    T LF'7ufq  
                                                                             Koj9]2<0  
    see the full Application Use Case ^FVmP d*1  
     #{^qBP[  
    柱子几何及分布                                                                           uBn35%  
       XHOS"o$y  
    P=L@!F+s  
                                                                                     ledr[)  
    空间频率数                                                                             _ n1:v~  
                                                                               da_0{;wR  
    CS5[E-%}T=  
    OVc)PMp  
     ls7P$qq  
    例2:二维光束分离超构光栅 ^".6~{  
    3 TTQf f  
    材料和介质的配置                                                                             "WO0 rh`  
    r* l c#  
     '#e T  
    y~\uS  
    柱子几何及分布                                                                           ^]~!:Ej0  
    ET 0(/Zz  
    <`NsX 6t  
     
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