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摘要 zCdc wTe `m` Y3I 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ( PC)R9r5
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 l3xI\{jn :+_ 超构光栅结构和建模 F.{$HJ
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 D0}r4eA sOO_J!bblP VirtualLab Fusion提供： `]=0oDG:1! Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; G3o `\4p Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 mb>8=hMg $x*(D|\' < 光栅周围介质 C jGQ
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 90 >V he mpNS}n6 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 *zwo="WA\t • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 VfFbZds8f • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 1+#E|YWJ B|"-Ed 光栅堆栈内部材料 UP7?9\
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 ,1B` Ve NM"5.
• 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 W]5Hc|!^^ • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 q+BG • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 P ]O= K k Ep{L 单柱几何配置 h=4 GSU
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 Q*hXFayx _SnD)k+TgJ 柱子的分布 }]Nt:_UCX 7h.fT`  +{#L,0t • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 k;Fxr% • 有几种方法可以做到这一点: #;= sJ[m4 • 逐个柱子，手动; "d`u#YmR • 一次性定义在等距网格; x !6< 7s • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 ,n2" N5{jw • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 * ,zrg%8 &smZ;yb|'h 数值参数设置 Q_Wg4n5
V%B~ q`4
 h\2iArw8 {:|b,ep
T • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 -Jf}3$Ra • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 yp[,WZt • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ^#XQ2UN H>Ucmd;ay 例1:一维Blazed 超构光栅 6a<zZO`Z6+ .K] Uk/W 材料和介质的配置 H:P7G_!\
DJ9x?SL@KD
 eL<jA9cJ9 see the full Application Use Case 0gG r/78
>=:^N- a 柱子几何及分布 rHi4Pw{L lwz\" 8  _ds;:*N+qA %WC ^aKfY 空间频率数 M~n./wyC g m%cAme  %P{3c~?DH *U}ztH-+/ VkO*+"cGv 例2:二维光束分离超构光栅 'tDUPm38 f7 |Tp m 材料和介质的配置 ExMd$`gW BOh^oQh
 X7[gfKGL)N LlS~J K 柱子几何及分布 )\j
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