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摘要 <X^@*79m E *6C w
l 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 W$;,CU.v
ufZDF=$7
 |t&>5HM S_4?K)n # 超构光栅结构和建模 x0D*U?A
VUGmi]qd
 K Hu+9eX \?ZB]*Fu VirtualLab Fusion提供： Q&ptc>{bH6 Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; wn, KY$/ Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 #PW9:_BE TG?brgW 光栅周围介质 !bx;Ta.
kGS;s B
 =tn)}Y.<e Al^d $FaF • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 o5O#vW2Il& • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 0 [#
3;a • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 7 \[@ m3s *3FKt&v 0 光栅堆栈内部材料 vjCu4+w($Z
Zw9FJ/Zn@
 1~`fVg wqs? 828x • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 |\t-g" ~sN • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 NiK4d{E& • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 [`[ |l
'<xXK@=KEI 单柱几何配置 J#(LlCs?@c
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 mb3 "U"ohs c )g\ / 柱子的分布 7#a-u<HF" jo@6?(
*4  o4,6. 1} • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 D|p9qe5% • 有几种方法可以做到这一点: M `M5'f • 逐个柱子，手动; 1{. |+S Z! • 一次性定义在等距网格; EjR9JUu • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 n\D&!y[]F • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 T!kN)#S 'ya{9EdlT 数值参数设置 lh7# t#
@ioJ] $o7
 g%I"U>!2 $6 9&O • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 y9GoPC`z • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 hEH?[>9 • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 [kB7@o !hy-L_wL] 例1:一维Blazed 超构光栅 5 PJhEB pa3{8x{9m 材料和介质的配置 <2x^slx)?
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 q:0N<$63 see the full Application Use Case KY I /
$GcqBg-Hi 柱子几何及分布 C2I_%nU Z1 j2[+z tG  ie95rZp 0i>5<ej,f 空间频率数 ()?(I?II 1(R}tRR7 R  R+z2}}Z!` ^
VyKd 'GWN~ 5 例2:二维光束分离超构光栅 [ l??A3G lb3b m)@: 材料和介质的配置 MJO-q $)c @b%=H/5\
 4k1xy## yx[/|nZDC4 柱子几何及分布 /Cr%{'P zk L`TLgH&?R  1R%.p7@5QU
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