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摘要 F8$.K*tT {'l^{"GO" 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 -^=gQ7f9
+v2Fr}
 i64 a]= rbS67--] 超构光栅结构和建模 Li( }_
KFCrJ )
 `YVdIDl] ;Xk-hhR VirtualLab Fusion提供： H{
p Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ^8Tq0>n? Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 L,*2t JcC< 9F84 5M 光栅周围介质 JaoRkl?F
NVU @m+m ~
 d@#! ,P5 ` Rx<m+ = • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 AWsO? |YT • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 !*HH5qh6 • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 j2\bCGY k"Y9Kc0XoU 光栅堆栈内部材料 j$'L-kK+
Ch%W
C ,
 Qu,W3d :CH "cbo • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ?l W-NPr • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 lM`M70~ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 =kH7 Q* &>Ui[& 单柱几何配置 }&BE*U8_
VC5LxA0{
 +dq&9N/ q4'szDYO2 柱子的分布 -CtLL _ I :# s 6,  9\ZlRYnc= • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 ^2%_AP0= • 有几种方法可以做到这一点: 2a8ZU{wjn • 逐个柱子，手动; .lAqD- • 一次性定义在等距网格; eQ`TW'[9_6 • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 fgIzT!fyz • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 <aR9,: =cI -<0QSn 数值参数设置 S&_Z,mT./
2 eo]D?}
 *yKw@@d+p &
9}L +/, • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 #Jp_y| • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 "| cNY_$&s • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 Sm(X/P=z EvSo|}JA [ 例1:一维Blazed 超构光栅 c]LE9<G BOC lMeA4 材料和介质的配置 gw' u Y$
&?UIe]
 /.B7y( see the full Application Use Case tkX7yg>`
@yiAi:v@ 柱子几何及分布 X3&-kU Qz)1wf'y  =?g26>dYo 9eO!_a^ 空间频率数 E0; }e
(3a]#`Q  lz=$Dz Q Y2/mtI le60b @2G0 例2:二维光束分离超构光栅 VqGmZ|+8 1AMxZ (e 材料和介质的配置 l2 H-E&'= P`r@<c gb=
 Y~z3fd 4UwXrEQp 柱子几何及分布 +e
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