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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-16
    摘要                                                                             xEGI'lt  
    "{|9Yis=  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 74QWGw`,  
    Ip|7JL0Z  
     -]HO8}-Rjs  
    C)Mh  
    超构光栅结构和建模 6M F%$K3  
    eo"6 \3z  
                                                                                 87y$=eZ  
    9J*m!-hOY  
    VirtualLab Fusion提供： [K,&s8N5  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; RytQNwv3  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 8 z\WyDz  
    \3Ys8umKq  
    光栅周围介质   B$aboL2  
    mq >Ag  
                                                                                 9_oIAn:<  
    }Z"<KF  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 EPW Iu)A  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 P6dIU/w  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 !ZHPR:k|  
    }fUV*U:3  
    光栅堆栈内部材料 -fn["R]  
    H;%a1  
                                                                               xqX~nV#TB  
    %.[t(F  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 $D1Pk  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 1P@&xcvS\  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 =D<46T=(RB  
    Ay/ "2pDZ  
    单柱几何配置 eLM_?9AZ!R  
    P*Uu)mG)G  
                                                                              Jcy  
    ?E=&LAI#  
    柱子的分布                                                                           tNoo3&  
    w*OZ1|  
    3;@t {rIin  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。  jI[:`  
    • 有几种方法可以做到这一点: C 3b  
    • 逐个柱子，手动; ^;!A`t  
    • 一次性定义在等距网格; vH9/}w2  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 >n{(2bcFs  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 /m(vIl  
    iO(9#rV  
    数值参数设置 7JQ5OC3  
    LEKN%2  
                                                                               /k l0(='  
    p (:\)HP)R  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 H@.j@l  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 )W(?wv!,  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 25o + ?Y<  
    z ~T[%RjO  
    例1:一维Blazed 超构光栅 1.]#FJe  
    ehoDWO]S  
    材料和介质的配置 OIe {Sx{y  
    !Z`~=n3bk  
                                                                             ke!)C[^7z  
    see the full Application Use Case ubjuuha"  
     HJ:s)As  
    柱子几何及分布                                                                           fr4#< 6,  
       EL;IrtU  
    ]Jq1b210  
                                                                                     j_H{_Ug  
    空间频率数                                                                             k^:$ETW2 D  
                                                                               ~6Vs>E4G  
    (&=-o(  
    r=~yUT  
    !=_:*U)-'  
    例2:二维光束分离超构光栅 m1heU3BUWU  
    kS%FV;9>(  
    材料和介质的配置                                                                             G!C2[:[g  
    u`xmF/jhQ  
     s =! y%  
    yNoJrA  
    柱子几何及分布                                                                           ) ^'Q@W  
    &HNJ '  
    [-x~Q[  
     
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