[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Hb:@]!r>  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 N*CcJp{Q  
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建模任务 9}_ccq  
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模拟&设置：单平台互操作性 *>%tx k:)  
建模技术的单平台互操作性 S.$/uDwo  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 qx+ .v2G  
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 平面波光源 dRXEF6G  
 微透镜阵列 y~ZYI]` J  
 彩色滤光片(吸收介质) aVXk8zuL  
 通过基底传播 4{Q{>S*h  
 探测 |_ u  
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连接建模技术：微透镜 s;[OR  
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连接建模技术：彩色滤光片 6bXP{,}Gp  
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连接建模技术：可编程介质 Pgp`g.$<  
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连接建模技术：自由空间传播 GqT0SP  
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连接建模技术：堆栈 [|)Eyd[G  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 e~+VN4D&b>  
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 微透镜阵列 2Kg+SLU[~  
 彩色滤光片(吸收介质) H}[kit*9  
 通过基底传播 "B~ow{3  
 探测 PI5a'k0F  
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元件内场分析器：FMM !jIpgs5  
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模拟结果 9t1aR*b&@  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) yl#(jb[?1  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) N!u(G  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) -ST[!W V  
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3D仿真与结果比较 8)1k>=  
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3D仿真与结果比较 ,dG2[<?o  
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