[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 G]SE A  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 d}G?iX;c}  
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建模任务 }Q%>Fv  
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模拟&设置：单平台互操作性 EW!$D  
建模技术的单平台互操作性 Brl6r8LGi  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 @U)'UrNr~  
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 平面波光源 V":BAn  
 微透镜阵列 J!H5{7.efN  
 彩色滤光片(吸收介质) 3UaP7p+d  
 通过基底传播 Ao\Vh\rQkq  
 探测 RpXQi*c0  
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连接建模技术：微透镜 k@~-|\ooG  
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连接建模技术：彩色滤光片 y((_V%F}  
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连接建模技术：可编程介质 98]t"ny [  
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连接建模技术：自由空间传播 GKSy|z  
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连接建模技术：堆栈 cg.e(@(  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 oL@ou{iQ  
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 微透镜阵列 kziBHis!  
 彩色滤光片(吸收介质) [w/t  
 通过基底传播 Z)A+ wM  
 探测 rrWk&;?  
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元件内场分析器：FMM StL[\9~:  
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模拟结果 |BkY"F7m9  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Bg
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) E?mp6R]}%  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) S7/v,E  
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3D仿真与结果比较 m#$za7  
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3D仿真与结果比较 j~H`*R=ld#  
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