[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 =35g:fL  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 /\L-y,>X  
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建模任务 RT+pB{Y  
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模拟&设置：单平台互操作性 w)C/EHF  
建模技术的单平台互操作性 #mT\B[4h  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 %y96]e1  
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 平面波光源 #VM+.75o1  
 微透镜阵列 ,> Ya%;h2k  
 彩色滤光片(吸收介质) 6zyxGJ(  
 通过基底传播 .rPg  
 探测 ~F [V  
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连接建模技术：微透镜 -!@]z2uU  
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连接建模技术：彩色滤光片 dDu8n+(8 L  
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连接建模技术：可编程介质 ;*c8,I;  
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连接建模技术：自由空间传播 XWq`MwC9  
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连接建模技术：堆栈 *P01 yW0  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 "g
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 微透镜阵列 g+j\wvx0  
 彩色滤光片(吸收介质) 1b=,lm  
 通过基底传播 SuR+
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 探测 9]L4`.HM  
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元件内场分析器：FMM H'"=C&D~  
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模拟结果 ?vBMx _0  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Z!+n/ D-1  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) V.e30u5  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) P67*-Ki  
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3D仿真与结果比较 Z5V_?bm$  
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