[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 IQ-l%x[fue  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 lHTr7uF
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建模任务 FDGG$z?>m  
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模拟&设置：单平台互操作性 YH^@8   
建模技术的单平台互操作性 KQw>6)  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 =d:3]M^
 
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 平面波光源 |m@>AbR5dk  
 微透镜阵列 kDM?`(r  
 彩色滤光片(吸收介质) aU[!*n 4Ux  
 通过基底传播 D+~*nc~ g  
 探测 T*8K.yw2  
^~@3X[No  
连接建模技术：微透镜 JV'aqnb.8\  
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gm!sLZ!X  
连接建模技术：彩色滤光片 se=^K#o  
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连接建模技术：可编程介质 2Yd@V}  
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v'^}zO  
连接建模技术：自由空间传播 @M'qi=s*  
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X-TGrdoX  
y c 8h}`  
连接建模技术：堆栈 "5sA&^_#_  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;)P=WS:=  
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R osU~OK  
 微透镜阵列 ZW0\_1  
 彩色滤光片(吸收介质) LEOa=(mN\  
 通过基底传播 )EKWsGNe/  
 探测 fk>{  
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元件内场分析器：FMM &?Q^i">cZ  
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模拟结果 U|\ .)h=  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) vH1,As  
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`NEi/jB  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) H270)Cwn+  
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MV!d*\  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) eMmNQRmH  
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r)K5<[\r  
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3D仿真与结果比较 )|k#cT{=M  
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3D仿真与结果比较 3/yt  
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