[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 hD ~/ywS&  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 C{J5:ak  
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建模任务 7y|U!r"Y  
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模拟&设置：单平台互操作性 dP8qP_77A~  
建模技术的单平台互操作性 %[p*6&V  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 `Ow]@flLI  
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 平面波光源 4P3RRS  
 微透镜阵列 k_V+;&:%  
 彩色滤光片(吸收介质) b\}a   
 通过基底传播 v8f3B<kj  
 探测 89&9VX^A  
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连接建模技术：微透镜 lm4A%4-db  
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连接建模技术：彩色滤光片 K]m#~J3d>  
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连接建模技术：可编程介质 b;QgL_w  
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连接建模技术：自由空间传播 h2zSOY{su  
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连接建模技术：堆栈 s1_Y~<yX  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;&j'`tP  
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 微透镜阵列 i<Ms2^  
 彩色滤光片(吸收介质) HMUx/M.j  
 通过基底传播 KcV"<9rE  
 探测 gaXo)oS  
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元件内场分析器：FMM oqwW  
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模拟结果 z!6_u@^-  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) : _Y^o  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) @~2k5pa  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) "#wAGlH6>  
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3D仿真与结果比较 EO+Ix7w  
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3D仿真与结果比较 5L6.7}B  
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