[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 9!Xp+<  
^mC,Z+!  
:!?Fq/!  
n^5Q f\o  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Gui[/iY,F  
G^dzE/:  
建模任务 Zp<#( OIu  
KQw>6)  
=d:3]M^
 

E m+&I  
模拟&设置：单平台互操作性 #,XZ@u+  
建模技术的单平台互操作性 2*Pk1vrI  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 lq,]E/<&  
zzW$F)X  
8ZCA vEy  
=9^}>u  
 平面波光源 8xhx*A  
 微透镜阵列 Ss
\?SEq  
 彩色滤光片(吸收介质) h5-yhG  
 通过基底传播 fM*?i"j;Y  
 探测 hJir_=  
3/]FT#l]i  
连接建模技术：微透镜 .j**>&7L  
se=^K#o  
r=AA /n<  
('\sUZ+5  
/<(-lbq,  
连接建模技术：彩色滤光片 bz~aj}"`  
EN}XIa>R  
e-\/1N84  
Yw5-:w0f  
连接建模技术：可编程介质 <X1lq9 lW  
ozl!vf# kv  
&%qDi_UD  
Ze#DFe$  
连接建模技术：自由空间传播 }Ya! [tX  
TqfL Sm|  
V d]7v  
ux| QGT2LY  
连接建模技术：堆栈 3?L[ohKH?:  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 KtH^k&z.f  
#5'@at'1  
fk>{  
R
yxu#]s  
 微透镜阵列 (~E-=+R[$&  
 彩色滤光片(吸收介质) /;1O9HJa  
 通过基底传播 }&2,!;"">3  
 探测
b0f6p>~q^  
-p>1:M <  
元件内场分析器：FMM X7`-dSVE  
X-,oL.:c  
o8hE.pf&  
Ht\2 IP  
模拟结果 "bWx<  
S $o1Q  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) gFu,q`
Vf*  
g
;nLR<]  
eMmNQRmH  
kN8B,  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) r)K5<[\r  
$8AW  
5;XYF0  
_<Ij)#Rq7  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) H{S+^'5Y.  
%N`_g' r!  
8e
,F{>N  
Y Q.Xl_  
3D仿真与结果比较 ',t*:GBZCf  
1@h8.ym<"  
HX}B#T  
v>Kh5H5e~  
3D仿真与结果比较 z\" .(fIV  
HpfZgkC+