[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 xRF_'|e  

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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 kEg~yN  
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建模任务 eh*F
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模拟&设置：单平台互操作性 +*RpOtss  
建模技术的单平台互操作性 $'lJ_jL  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 UL" <V  
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 平面波光源 E}]SGU"  
 微透镜阵列 +>v{#A_u  
 彩色滤光片(吸收介质) 2aQ}| `  
 通过基底传播 *kDV ^RBfq  
 探测 b*a}~1  
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连接建模技术：微透镜 98WJ"f_ #  
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连接建模技术：彩色滤光片 QpifO  
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连接建模技术：可编程介质 dGc>EZSdj  
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连接建模技术：自由空间传播 WTh|7&  
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连接建模技术：堆栈 dnTXx*I:  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Iyvl6  
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 微透镜阵列 or]s  
 彩色滤光片(吸收介质) %n#^#:  
 通过基底传播 6_a.`ehtj<  
 探测 %u|qAF2uS  
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元件内场分析器：FMM d_Vwjv&@/"  
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模拟结果 1')/BM2  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) H\!u5o&}`  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Onoi6^G  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ;h3*MR  
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3D仿真与结果比较 Fk(0q/b  
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3D仿真与结果比较 aLXA9?  
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