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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-07
    摘要 IQ-l%x[fue  
    4UzXTsjM7  
    15' fU!  
    ,Sy& ?t}`  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 lHTr7uF(  
    }ALli0n`V)  
    建模任务 FDGG$z?>m  
    BTG_c_ ?]e  
    TGPZUyi3!=  
    0E (G1o'  
    模拟&设置:单平台互操作性 YH^@8   
    建模技术的单平台互操作性 KQw>6)  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 =d:3]M^  
    0,.|-OZ  
    pm:-E(3#  
    B8.}9  
     平面波光源 |m@>AbR5dk  
     微透镜阵列 kDM?`(r  
     彩色滤光片(吸收介质) aU[!*n 4Ux  
     通过基底传播 D+~*nc~ g  
     探测 T*8K.yw2  
    ^~@3X[No  
    连接建模技术:微透镜 JV'aqnb.8\  
    p1 HbD`ST  
    8$ #z>  
    qcQq.cS_'N  
    gm!sLZ!X  
    连接建模技术:彩色滤光片 se=^K#o  
    r=A A /n<  
    ('\sUZ+5  
    /<(-lbq,  
    连接建模技术:可编程介质 2Yd@ V}  
    lB_X mI1t  
    pQC|_T#u  
    v '^}zO  
    连接建模技术:自由空间传播 @M'qi=s*  
    <X1 lq9 lW  
    X-TGrdoX  
    y c 8 h}`  
    连接建模技术:堆栈 "5sA&^_#_  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;)P=WS:=  
    EYC ZuJxv  
    0G33hIOS  
    R osU~OK  
     微透镜阵列 ZW0\_1  
     彩色滤光片(吸收介质) LEOa=(mN\  
     通过基底传播 )EKWsGNe/  
     探测 fk>{  
    |3Oyg?2  
    元件内场分析器:FMM &?Q^i">cZ  
    &rPAW V'v  
    7n+,!oJ  
    U[8F{LX  
    模拟结果 U|\ .)h=  
    z 1^fG)  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) vH1,As  
    @7.7+blS"H  
    ~kSO YvK$'  
    `NEi/jB  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) H270)Cwn+  
    o)7Ot\:E  
    MV!d*\  
    z,2*3Be6V  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) eMmNQRmH  
    kN8B,  
    r)K5<[\r  
    $8AW  
    3D仿真与结果比较 )|k#cT{=M  
    ~w|h;*Bj  
    -"i $^Q`  
    v-q-CI? B#  
    3D仿真与结果比较 3/yt  
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