摘要 s d-5AE
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eBw6k09C+ xWNB/{F 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间
分辨率。同时,这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真,以验证微透镜的有效性。
FT0HU<." 1 F(jvdq 建模任务 e;QPn(
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nP9zTa 8t{- 模拟&设置:单平台互操作性 E038p]M! 建模技术的单平台互操作性 ``l7|b jJ 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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a>1_|QB. _0Mt*]L } 平面波
光源 "?_r?~sJx 微透镜
阵列 Aw]W- fx 彩色滤光片(吸收介质)
h/T^+U?-< 通过基底传播
@qC](5|TQ 探测
)~(( 6?k4e K,pQ11J 连接建模技术:微透镜 Fu@2gd &<Gs@UX~w 8Ja't8
6rBXC <Z |&O7F;/_ 连接建模技术:彩色滤光片 3`V#ImV> <$#;J>{WV
}Xn5M&>? 6gUcoDD 连接建模技术:可编程介质 hrLPyV:
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f$\gm+&hXE l!6^xMhYk 连接建模技术:自由空间传播 #x)lN Z?IwR
W$E!}~Ro "mBX$t'gb 连接建模技术:堆栈 JIw=Bs 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
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,xDs@37 C(t>ZR 微透镜阵列
(5-4`:1ux 彩色滤光片(吸收介质)
=Zg%& J 通过基底传播
zjuU*$A4 探测
Lm-yTMNPn X`REhvT 元件内场分析器:FMM D #<)q) m[k@\xS4e
/hNZ7\|P ENmfbJ4d~ 模拟结果 Sqt'} rKK{*%n 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) KF'DOXBw> `pB]_"b
Rds_Cd C 0N" VOEvG 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) m2j&v$
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sBsf{%I[{ ~Ogtgr 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) X4- _l$j
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