[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 s d-5AE  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 FT0HU<." 1  
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建模任务 e;QPn(  
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模拟&设置：单平台互操作性 E038p]M!  
建模技术的单平台互操作性 ``l7|b jJ  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 dEz7 @T  
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 平面波光源 "?_r?~sJx  
 微透镜阵列 A
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 彩色滤光片(吸收介质) h/T^+U?-<  
 通过基底传播 @qC](5|TQ  
 探测 )~((6?k4e  
K,pQ11J  
连接建模技术：微透镜 Fu@2gd  
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连接建模技术：彩色滤光片 3`V#ImV>  
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连接建模技术：可编程介质 hrLPyV:  
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连接建模技术：自由空间传播 #x)lN  
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连接建模技术：堆栈 JIw=Bs  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 P, (#' W  
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 微透镜阵列 (5-4`:1ux  
 彩色滤光片(吸收介质) =Zg%& J  
 通过基底传播 zjuU*$A4  
 探测 Lm-
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元件内场分析器：FMM D #<)q)  
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模拟结果 Sqt'}  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) KF'DOXBw>  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) m2
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) X4- _l$j  
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3D仿真与结果比较 nE4?oq  
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3D仿真与结果比较 `7f><p/q  
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