[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 >b["T+  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 '<0q"juXE  
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建模任务 ob] lCX)  
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模拟&设置：单平台互操作性 4v|/+J6G  
建模技术的单平台互操作性 E~>6*_?  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 4{DeF@@  
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 平面波光源 ?&"^\p  
 微透镜阵列 _onp%*  
 彩色滤光片(吸收介质) 3] qlz?5  
 通过基底传播 Hk]BC
 
 探测 $&8h=e~]-  
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连接建模技术：微透镜 h6h1.lZ  
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连接建模技术：彩色滤光片 }o^A^
 
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连接建模技术：可编程介质 v\Y}(fD  
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连接建模技术：自由空间传播 ,GX~s5S8  
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连接建模技术：堆栈 + |qfgi  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 >J}n@MZ  
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 微透镜阵列 hRr1#'&  
 彩色滤光片(吸收介质) ZCBPO~&hO'  
 通过基底传播 Iv(Qa6
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 探测 $W$# CTM  
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元件内场分析器：FMM QP%kL*=8  
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模拟结果 M{xVkXc>  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) *w/WHQ`xI  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) xb>n&ym?  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) d;~ 3P   
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3D仿真与结果比较 90s;/y(  
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3D仿真与结果比较 lRDxIuTK  
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