[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 g<~Cpd  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 #8)*1?  
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建模任务 Z?\>JM >;  
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模拟&设置：单平台互操作性 t.;LnrY  
建模技术的单平台互操作性 H)n9O/u  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 s_mS^`P7  
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 平面波光源 "s{5O>  
 微透镜阵列 9Q"'"b*?z  
 彩色滤光片(吸收介质) NX}<*
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 通过基底传播 o_~eg8  
 探测 {E@Lft-  
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连接建模技术：微透镜 =uS9JU^E  
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连接建模技术：彩色滤光片 #)nSr  
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连接建模技术：可编程介质 3xaR@xjS  
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连接建模技术：自由空间传播 6}!#;@D~
 

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连接建模技术：堆栈 6}FP  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 W>j!Q^?  
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 微透镜阵列 GJ_7h_4  
 彩色滤光片(吸收介质) 6V7B;tB  
 通过基底传播 q-}Fvel u  
 探测 Tu).K.p:  
5?]hd*8  
元件内场分析器：FMM 24z< gO  
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模拟结果 (pv+c,  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) YoBDvV":@  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ]&lY%"U$i  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) LG9+y  
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3D仿真与结果比较 y1dDO2mA  
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3D仿真与结果比较 1Q<^8N)pf  
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