[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 :CSys62
 
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 9g"a`a?c  
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建模任务 =4 &9!Z  
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模拟&设置：单平台互操作性 RJnRbaC  
建模技术的单平台互操作性 @`$8rck`  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 p8[Z/]p  
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 平面波光源 zjM+F{P8  
 微透镜阵列 5Tb93Q@c  
 彩色滤光片(吸收介质) 1 W2AE?  
 通过基底传播 m]=|%a6  
 探测 &Dqg<U  
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连接建模技术：微透镜 a[xEN7L~4D  
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连接建模技术：彩色滤光片 ,8c`  
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连接建模技术：可编程介质 a)Qx43mOS  
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连接建模技术：自由空间传播 Goz9"yazg  
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连接建模技术：堆栈 2y,NT|jp  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 7zgU>$i  
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 微透镜阵列 ]. IUQ*4t  
 彩色滤光片(吸收介质) zRD{"uqi  
 通过基底传播 ts{Tk5+  
 探测 @;G}bYq^(I  
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元件内场分析器：FMM w~;1R\?|  
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模拟结果 kRTT ~  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) tegLGp@_  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 7-'!XD!  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) wx>BNlT@?  
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3D仿真与结果比较 GW]Ygf1t  
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3D仿真与结果比较 8)\ ?6C  
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