[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 tli.g  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 yBIlwN`kB  
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建模任务 mP(3[a_Q  
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模拟&设置：单平台互操作性 1^p/#jt  
建模技术的单平台互操作性 E h%61/  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 S2~cAhR|M  
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 平面波光源 TOYK'|lwM  
 微透镜阵列 ]Z JoC!u  
 彩色滤光片(吸收介质) P:qmg"i@3  
 通过基底传播 qfkHGW?1/j  
 探测 X'9.fKp  
I$Nh|eM  
连接建模技术：微透镜 E*_^+ %  
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连接建模技术：彩色滤光片 D7ex{SVA)  
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连接建模技术：可编程介质 -wlj;U  
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连接建模技术：自由空间传播 Rd?}<L  
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连接建模技术：堆栈 @nxo Bc !P  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 aM^iDJ$>  
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 微透镜阵列 ]w
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 彩色滤光片(吸收介质) <?jdNM  
 通过基底传播 QbU5FPiN  
 探测 dWY%bb  
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元件内场分析器：FMM E3L?6Q
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模拟结果 lwnO  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) BEZ~<E&0H  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) NgNGq\!  
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KaIKb=4L|  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ! VwU=5  
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3D仿真与结果比较 2:+8]b3i  
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3D仿真与结果比较 EZtU6kW"  
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