[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 udK%>  
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建模任务 dM.f]-g  
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A;q9rD,_  
模拟&设置：单平台互操作性 mX"oW_EK  
建模技术的单平台互操作性 +uF>2b6'  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ,C\i^>=  
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l ~"^7H?4e  
c1(RuP:S  
 平面波光源 zEX  
 微透镜阵列 7DogM".}~Q  
 彩色滤光片(吸收介质) (Bb5?fw  
 通过基底传播 ZoW?nxY  
 探测 a@K%06A;'
 
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连接建模技术：微透镜 Bpo4?nCl}  
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PA{PD.4Du  
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连接建模技术：彩色滤光片 l+K'beP  
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T3.&R#1M8-  
连接建模技术：可编程介质 S&5&];Ag  
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连接建模技术：自由空间传播 {GT*ZU*  
bn&TF3b  
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连接建模技术：堆栈 PCee<W_%YE  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 dh\'<|\K  
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 微透镜阵列 V*;(kEqj  
 彩色滤光片(吸收介质) St9?RD{4;  
 通过基底传播 #powub  
 探测 9Q^r O26+  
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元件内场分析器：FMM mfn,Gjt3O  
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模拟结果 @l5"nBs<_:  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) vzAaxk%  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) N7zft  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) '3tCH)s  
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3D仿真与结果比较 CNyIQ}NJ  
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3D仿真与结果比较 R4cM%l_#W  
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