[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 %iPIgma  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 O>f*D+A-  
AvIheR  
建模任务 RKMF?:  
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模拟&设置：单平台互操作性 #WUN=u  
建模技术的单平台互操作性 LkafB2y  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 $0{h Uex  
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,: z]15fX  
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 平面波光源 u<n['Ur}|  
 微透镜阵列 / E!6]b/  
 彩色滤光片(吸收介质) \\Zsxya1  
 通过基底传播 R))4J  
 探测 cWQ &zc  
(.z0.0W  
连接建模技术：微透镜 a{;+_J3S  
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_MQh<,Z8  
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PHez5}T  
连接建模技术：彩色滤光片 o|n+;h  
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连接建模技术：可编程介质 qbD_  
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J| 46i  
连接建模技术：自由空间传播 D!)h92CIDm  
(t"|XSF  
_+~jZ]o N  
J1r\Cp+h0  
连接建模技术：堆栈 <g&GIFE,  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 g p9;I*!  
E9.1~ )  
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(:+Wc^0  
 微透镜阵列 t1#f*G5  
 彩色滤光片(吸收介质) L]X Lv9J0  
 通过基底传播 s}^W2  
 探测 /byF:iYI  
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元件内场分析器：FMM 4/x.qoj  
Py9:(fdS  
$0M7P5]N*G  
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模拟结果 93.L887  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) grd fR`3  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) li`  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Kna@K$6{w=  
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3D仿真与结果比较 ' b,zE[Q  
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3D仿真与结果比较 x}7Xd P.2$  
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