[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 `/XY>T}-  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 u#$]?($}d  
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建模任务 W?
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模拟&设置：单平台互操作性 )e+>w=t  
建模技术的单平台互操作性 Tod&&T'UW  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 h$>-.-  
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 平面波光源 3g,`.I_  
 微透镜阵列 `l ^9/_g'6  
 彩色滤光片(吸收介质) R6Km\N  
 通过基底传播 x(6SG+Kr  
 探测 <I\/n<*  
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连接建模技术：微透镜 hHGoP0/o  
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连接建模技术：彩色滤光片 JN-y)L/>  
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连接建模技术：可编程介质 e "4 ''/  
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连接建模技术：自由空间传播 6 l|DU7i  
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连接建模技术：堆栈 x:NY\._  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 r1`x=r   
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 微透镜阵列 _ @NL;w:!  
 彩色滤光片(吸收介质) Ar
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 通过基底传播 ]___M  
 探测 |}s*E_/[  
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元件内场分析器：FMM oi&VgnSk  
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模拟结果 Z*]9E^  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Q^9_'t}X  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) F4-$~v@  
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3D仿真与结果比较 T"}5}6rSG  
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3D仿真与结果比较 bivuqKA  
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