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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-07
    摘要 `/XY>T}-  
    $E~`\o%Ev  
    }Yzco52  
    I\{ 1u  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 u#$]?($}d  
    n8 i] z  
    建模任务 W?R6ZAn  
    u@UMP@"#  
    kk@fL  
    Gbr=+AT  
    模拟&设置:单平台互操作性 )e+>w=t  
    建模技术的单平台互操作性 Tod&&T'UW  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 h$>-.-  
    $?Hu#Kn,(  
    T{.pM4Hd  
    f!uwzHA`?  
     平面波光源 3g,`.I_  
     微透镜阵列 `l ^9/_g'6  
     彩色滤光片(吸收介质) R6Km\N  
     通过基底传播 x(6SG+Kr  
     探测 <I\/n<*  
    kR-SE5`Jk  
    连接建模技术:微透镜 hHGoP0/o  
    /<=u\e'rE  
    >V?eog%~  
    ?%-DfCS  
    vXf!G`D  
    连接建模技术:彩色滤光片 JN-y)L/>  
    H?vdr:WlTN  
    |!3DPA(_  
    C=L>zOZ  
    连接建模技术:可编程介质 e "4 ''/  
    xw,IJ/E$1  
    yy^q2P  
    +US!YU  
    连接建模技术:自由空间传播 6 l|DU7i  
    x;P_1J%Q  
    \^J%sf${  
    TOB-aAO  
    连接建模技术:堆栈 x:NY\._  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 r1`x=r   
    A5I)^B<(  
    QC OM_$y  
    X1x#6 oi  
     微透镜阵列 _ @NL;w:!  
     彩色滤光片(吸收介质) ArI2wM/v  
     通过基底传播 ]___M  
     探测 |}s*E_/[  
    Ju!]&G8  
    元件内场分析器:FMM oi&VgnSk  
    DZ'P@f)]  
    '6iEMg&3  
    #C74z$  
    模拟结果 Z*]9E^  
    O~#!l"0 L+  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Q^9_' t}X  
    ]b:Lo  
    b7?uq9  
    H7&8\ FNa  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) /$xU  
    :1. L}4"gg  
    ~rqCN,=d  
    sQHv%]s 0  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) F4-$~ v@  
    G#q@v(_b  
     L2[($l  
    YNyk1cE  
    3D仿真与结果比较 T"}5}6rSG  
    e\`&p  
    9]([\%)  
     c(f  
    3D仿真与结果比较 bivuqKA  
    MO]F1E?X  
     
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