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8WLh7[ 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间
分辨率。同时,这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真,以验证微透镜的有效性。
O>f*D+A- AvIheR 建模任务 RKMF?:
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s,C>l_4- )jwovS?V 模拟&设置:单平台互操作性 #WUN=u 建模技术的单平台互操作性 LkafB2y 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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z]15fX J#w=Z>oz < 平面波
光源 u<n['Ur}| 微透镜
阵列 / E!6]b/ 彩色滤光片(吸收介质)
\\Zsxya1 通过基底传播
R))4J 探测
cWQ &zc (.z0.0W 连接建模技术:微透镜 a{;+_J3S jA@
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!#5y%Bf PHez5 }T 连接建模技术:彩色滤光片 o|n+;h
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*c.w:DkfB %"E!E1_Sv 连接建模技术:可编程介质 qbD_
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*!NW!,R J| 46i 连接建模技术:自由空间传播 D!)h92CIDm ( t"|XSF
_+~jZ]o
N J1r\Cp+h0 连接建模技术:堆栈 <g&GIFE, 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
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PJKxh%J (:+Wc^0 微透镜阵列
t1#f*G5 彩色滤光片(吸收介质)
L]X Lv9J0 通过基底传播
s}^W2 探测
/byF:iYI z`J-J*R>d 元件内场分析器:FMM 4/x.qoj Py9:(fdS
$0M7P5]N*G #)T'a 模拟结果 93.L887
5 "x1Pln 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) grd
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!$-QWKD4 c)QOgXv 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) li`
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esv<b>`R Pj^Ccd'>= 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Kna@K$6{w=
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