[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 j.3o W  
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OR+A_:c.D  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 !W1eUY  
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建模任务 iUr xJh  
Y~oT)wTU  
MB:n~>ga  
Nm8w/Q5D`  
模拟&设置：单平台互操作性 NMjnL&P`  
建模技术的单平台互操作性 N"DY?6  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 'o\;x"YJ  
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B[NJ^b|  
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 平面波光源 Xa`(;CLW?  
 微透镜阵列 kqB\xlS7k  
 彩色滤光片(吸收介质) 7;HUE!5,^l  
 通过基底传播 D6!tVdnVe  
 探测 DY><qk  
-[.PH M6+?  
连接建模技术：微透镜 '\*A"8;h  
C<he4n.  
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o`%I{?UCDJ  
XUsy.l/  
连接建模技术：彩色滤光片 9YSVK\2$  
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N^B@3QF  
3.)_uo0;o  
连接建模技术：可编程介质 ?~qC,N[  
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连接建模技术：自由空间传播 u[t>Tg2R  
Tcs3>lJ}  
P$h;SK  
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连接建模技术：堆栈 C
MqM;1  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 y@9Y,ZR*  
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 微透镜阵列 |p'i,.(c_W  
 彩色滤光片(吸收介质) T` ;k!F46  
 通过基底传播 u'@Ely  
 探测 tG 7+7Z=  
t/Z!O z6ZE  
元件内场分析器：FMM <t6d)mJ%  
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模拟结果 ,%='>A  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 0HPO"x3-O  
#f9qlM32  
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M;@Ex`+?i  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 2^bgC~2C1  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) coO.kTO;  
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3D仿真与结果比较 4`G=q^GL,  
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3D仿真与结果比较 |Qq+8IeYG  
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