[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 N|mJg[j@7  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 gn8|/ev  
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建模任务 =^&%9X  
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模拟&设置：单平台互操作性  7I=C+  
建模技术的单平台互操作性 hB9Ee@  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 =w$tvo/  
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 平面波光源 SJ?6{2^  
 微透镜阵列 7%MbhlN.  
 彩色滤光片(吸收介质) X(A.X:"  
 通过基底传播 (xl\J/  
 探测 #m<tJnEO  
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连接建模技术：微透镜 q[3x2sR  
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连接建模技术：彩色滤光片 Wy .IcWK  
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连接建模技术：可编程介质 "_|oWn  
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连接建模技术：自由空间传播 QaIjLc~W  
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连接建模技术：堆栈 =Prb'8 W  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 kIHDe
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 微透镜阵列 ]\-^>!F#K  
 彩色滤光片(吸收介质) S$TmZk=  
 通过基底传播 {8$=[;  
 探测 dZ#&YG)?e  
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元件内场分析器：FMM c'uhK8|  
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模拟结果 [x=jH>Y  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ~5Pb&+<$  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) A?_=K  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) v+p{|X-  
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3D仿真与结果比较 +$4(zPs@  
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3D仿真与结果比较 *I}`dC[  
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