[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 &~cBNw|  
>>4qJ%bL  
zF`0J  
q^@Q"J =v  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 %:f&.@'r  
 h},IF  
建模任务 dohA0  
u4cnE"  
>%_\;svZG  
RT4x\&q  
模拟&设置：单平台互操作性 B&M%I:i  
建模技术的单平台互操作性 1 &jc/*Z"  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 \k7"=yx  
tH@Erh|%  
^cC,.Fdw  
@-07F,'W,  
 平面波光源 nQZx=JK  
 微透镜阵列 1/B>XkCJ  
 彩色滤光片(吸收介质) ~Y[r`]X`"m  
 通过基底传播 @f>-^  
 探测 AG nxYV"p  
R`5.[?Dt  
连接建模技术：微透镜 RF$eQzW  
5:[0z5Hww  
3lL-)<0A(  
=`oCLsz=  
dw>C@c#"  
连接建模技术：彩色滤光片 BGZ#wru  
wQl ,  
C\3rJy(VJ  
Ys9[5@7  
连接建模技术：可编程介质 >{n,L6_t  
H\"sgoJ  
>0y'Rgfe  
*\a4wZ6<3  
连接建模技术：自由空间传播 wD}l$& +  
Vi
$~-6n&  
4}baSV  
m#Jmdb_  
连接建模技术：堆栈
h|9L5  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 dh\'<|\K  
fSj5ZsO  
Pl06:g2I  
lN 4oW3QT  
 微透镜阵列 J$DE"|-  
 彩色滤光片(吸收介质) |-67\p]  
 通过基底传播 #powub  
 探测 A0s ZOCky  
wo{gG?B  
元件内场分析器：FMM &{n.]]%O.  
%)8}X>xq  
Igt#V;kK"2  
*!t/"b
  
模拟结果 nsC3  
U[-o> W#  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) =%K;X\NB  
epe)a  
_Kf%\xg  
Ms#M+[a  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) N7zft  
yjX9oxhtL  
ZgcMv,=  
h 0Q5-EA  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) '3tCH)s  
ibk6|pp  
13=AW  
*I.f1lz%*  
3D仿真与结果比较 CNyIQ}NJ  
,AFu C<  
s?}e^/"v  
(k.[GfCbD  
3D仿真与结果比较 hBUn \~z  
]y'>=a|T