[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Y-!YhWsS  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 p zw8T  
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建模任务 8,T4lb<<  
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模拟&设置：单平台互操作性 5f'DoT  
建模技术的单平台互操作性 Xf'=+f2p  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 8TV;Rtl  
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 平面波光源 sfT+i;p  
 微透镜阵列 0rSIfYZa  
 彩色滤光片(吸收介质) ;E;To\NCYF  
 通过基底传播 ]w).8=I  
 探测 ,V] ]:eR  
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连接建模技术：微透镜 `bI)<B  
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连接建模技术：彩色滤光片 <~emx'F|  
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连接建模技术：可编程介质 Et2JxbD  
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连接建模技术：自由空间传播 0BPMmk  
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V~MiO.B  
连接建模技术：堆栈 u^W2UE\  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 .\3`2  
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 微透镜阵列 PaB!,<A  
 彩色滤光片(吸收介质) e;YW6}'}  
 通过基底传播 e&q?}Ho  
 探测 ^H'a4G3  
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元件内场分析器：FMM m`?MV\^  
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模拟结果 ;$j7H&UNQj  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) E4.SF|=x  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) D<{{ :7n  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) AN:@fZ  
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3D仿真与结果比较 U_yE&6 T  
H&}ipaDO  
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3D仿真与结果比较 ;(6g\'m  
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