[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 [NoOA  
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建模任务 hem>@Bp'V  
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模拟&设置：单平台互操作性 h?Lp9VF  
建模技术的单平台互操作性 )kEH}P&  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 v^dQ%+}7>  
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 平面波光源 s`en8%  
 微透镜阵列  ]&OI.p  
 彩色滤光片(吸收介质) ` >loleI  
 通过基底传播 FQ>y2n=<d  
 探测 ns#v?D9NF  
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连接建模技术：微透镜 M#k$[w}=  
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连接建模技术：彩色滤光片 eD|"?@cE  
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连接建模技术：可编程介质 A,EuUp  
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连接建模技术：自由空间传播 M8R/a[ -A  
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连接建模技术：堆栈 pVM1%n:#  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 +2w<V0V_  
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 微透镜阵列 2sj: &][R  
 彩色滤光片(吸收介质) 07]9VJa  
 通过基底传播 \opcn\vW  
 探测 >sZ_I?YDs  
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元件内场分析器：FMM U]W"  
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模拟结果 Gx*B(t]4y  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Y6T{/!  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Dw>)\\n{Kl  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) !K+hXQE1  
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3D仿真与结果比较 G.$KP  
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3D仿真与结果比较 ,L MN@G  
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