[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 3U&QonCV  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 `0rEV_$  
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建模任务 R|T_9/#)  
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模拟&设置：单平台互操作性 X6mY#T'fQ  
建模技术的单平台互操作性 D-.XSIEMu  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 B.&ly/d  
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 平面波光源 OHzI!,2]  
 微透镜阵列 /vFw5KUu  
 彩色滤光片(吸收介质) N}wi<P:*)  
 通过基底传播 vJ$#m_aa  
 探测 OGNjn9av  
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连接建模技术：微透镜 A%n l@`s,  

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连接建模技术：彩色滤光片 !3K6ew>Sf  
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连接建模技术：可编程介质 tv)x(MX  
GVZ/`^ndM  
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连接建模技术：自由空间传播 
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连接建模技术：堆栈 b&p*IyJR  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 wQ[~7 ,o  
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 微透镜阵列 _
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 彩色滤光片(吸收介质) L.lmbxn  
 通过基底传播 /
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 探测 #ldNWwvRGj  
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元件内场分析器：FMM vn~DtTp/  
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模拟结果 e-H:;m5R  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ?s#DD,  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ,g@U*06  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) :}FMauHh  
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3D仿真与结果比较 :,y V?E6]  
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3D仿真与结果比较 ypwVzCUG  
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