[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 +P"u1q*+p  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 lyrwm{&  
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建模任务 A/*h[N+2!  
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模拟&设置：单平台互操作性 #+PfrS=  
建模技术的单平台互操作性 -*&C "%e  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 mi{ r7.e5I  
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 平面波光源 %p.hwgvnp  
 微透镜阵列 vke]VXU9z  
 彩色滤光片(吸收介质) m3iB`  
 通过基底传播 qy~@cPT  
 探测 JQWW's}  
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连接建模技术：微透镜 
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连接建模技术：彩色滤光片 wKs-<b%;  
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连接建模技术：可编程介质 #pw=HHq*(  

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连接建模技术：自由空间传播 6J%+pt[tu  
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C]+T5W\"<B  
连接建模技术：堆栈 M.R]hI  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 A?sU[b6_  
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y:+s*x6Vg  
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 微透镜阵列 RDu'N  
 彩色滤光片(吸收介质)
f@a@R$y  
 通过基底传播 5U/1Z{  
 探测 i\?P>:)  
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元件内场分析器：FMM z~BrKdS  
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模拟结果 #dgWXO  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) -cHX3UAEI  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) k(;c<Z{?1  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 9)qjW&`  
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3D仿真与结果比较  -'|pt,)  
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3D仿真与结果比较 [lC*|4t&  
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