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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-07
    摘要 &~cBNw|  
    >>4qJ%bL  
    zF`0J  
    q^@Q"J =v  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 % :f&.@'r  
     h},IF  
    建模任务 do hA0  
    u4cnE"  
    >%_\;svZG  
    RT4x\&q  
    模拟&设置:单平台互操作性 B&M%I:i  
    建模技术的单平台互操作性 1 &jc/*Z"  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 \k7"=yx  
    tH@Erh|%  
    ^cC,.Fdw  
    @-07F,'W,  
     平面波光源 nQZx= JK  
     微透镜阵列 1/B>XkCJ  
     彩色滤光片(吸收介质) ~Y[r`]X`"m  
     通过基底传播 @f>-^  
     探测 AG nxYV"p  
    R`5.[?Dt  
    连接建模技术:微透镜 RF$eQzW  
    5:[0z5Hww  
    3lL-)<0A(  
    =`oCLsz=  
    dw>C@c#"  
    连接建模技术:彩色滤光片 BGZ#wru  
    wQl ,  
    C\3rJy(VJ  
    Ys9[5@7  
    连接建模技术:可编程介质 >{n,L6_ t  
    H\"sgoJ  
    >0y'Rgfe  
    *\a4wZ6<3  
    连接建模技术:自由空间传播 wD}l$ & +  
    Vi$~-6n&  
    4}baSV  
    m#Jmdb_  
    连接建模技术:堆栈 h|9L5  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 dh\'<|\K  
    fSj5ZsO  
    Pl06:g2I  
    lN 4oW3QT  
     微透镜阵列 J$DE"| -  
     彩色滤光片(吸收介质) |-67 \p]  
     通过基底传播 #powub  
     探测 A0s ZOCky  
    wo{gG?B  
    元件内场分析器:FMM &{n.]]%O.  
    %)8}X>xq  
    Igt#V;kK"2  
    *!t/"b  
    模拟结果 nsC3  
    U[-o> W#  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) =%K;X\NB  
    epe)a  
    _Kf%\xg  
    Ms#M+[a  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) N7zft  
    yjX9oxhtL  
    ZgcMv,=  
    h 0Q5-EA  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) '3tCH)s  
    ibk6|pp  
    13=AW  
    *I.f1lz%*  
    3D仿真与结果比较 CNyIQ}NJ  
    ,AFu C <  
    s?}e^/"v  
    (k.[GfCbD  
    3D仿真与结果比较 hBUn \~z  
    ]y '>=a|T  
     
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