[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 OfctoPP _0  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 *uo'VJI7_,  
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建模任务 yY[<0|o u  
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模拟&设置：单平台互操作性 (9<guv  
建模技术的单平台互操作性 <Q?a=4  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 &^}6 9  
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 平面波光源 q EP 4  
 微透镜阵列 1Wm)rXW[x  
 彩色滤光片(吸收介质) AJSx%?h:6  
 通过基底传播 y`$Q\}fS  
 探测 +T=(6dr  
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连接建模技术：微透镜 *^RmjW1I  
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连接建模技术：彩色滤光片 jCrpL~tWT  
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连接建模技术：可编程介质 9*E7}b,  
Qt,M!i,  
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连接建模技术：自由空间传播 n+BJxu?  
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连接建模技术：堆栈 E@-KGsdhK  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 o99pHW(E  
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 微透镜阵列 !!4Qj  
 彩色滤光片(吸收介质) Kh4$ wwn  
 通过基底传播 (`6T&>(4  
 探测 X^\>:<  
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元件内场分析器：FMM u~3%bJ]  
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模拟结果 MB%Q WU  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) N?5x9duK  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ?7M.o  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ,R$u?c0>'&  
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3D仿真与结果比较 n!')wIk  
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3D仿真与结果比较 u7xDau(c  
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