[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 {:)vwUe{  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 PpFsp( )x  
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建模任务 Rcf=J){D6  
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模拟&设置：单平台互操作性 h.^o)T  
建模技术的单平台互操作性  i6 L  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 `xIh\q  
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 平面波光源 4>k I^  
 微透镜阵列 @d)LRw.I  
 彩色滤光片(吸收介质) 7&#m]t^^  
 通过基底传播 N7pt:G2~%  
 探测 d$[8w/5Of  
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连接建模技术：微透镜 ^IgS  
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连接建模技术：彩色滤光片 4#h?Wga  
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连接建模技术：可编程介质 :t5uDKZ_j)  
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连接建模技术：自由空间传播 [TEcg^  
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连接建模技术：堆栈 Mciq-c)  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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 微透镜阵列 iokPmV  
 彩色滤光片(吸收介质) 9`INC~h  
 通过基底传播 n.Vtc-yZU  
 探测 N]u2ql&  
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元件内场分析器：FMM }9=2g`2Q  
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模拟结果 BkV(81"C  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) x;mJvfX  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ]?# #))RUS  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) h"8QeX:((  
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3D仿真与结果比较 eQ\jZ0s;p  
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