[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Q\/":ISq1  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 uB#B\i  
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建模任务 4f@\f7\  
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模拟&设置：单平台互操作性 `S~@FX  
建模技术的单平台互操作性 ]JCB^)tM  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 pil*/&pB  
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 平面波光源 +n.j.JP"X  
 微透镜阵列 t=pkYq5t8  
 彩色滤光片(吸收介质) rgvc5p  
 通过基底传播 q$2taG}  
 探测 ~JmxW;|_x)  
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连接建模技术：微透镜 /wRK[i  
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连接建模技术：彩色滤光片 )yH#*~X_  
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连接建模技术：可编程介质 zB7dCw  
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连接建模技术：自由空间传播 &b]KMAo3  
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连接建模技术：堆栈 W:( Usy  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 m?CjYqvf  
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 微透镜阵列 }sNZQ89V*v  
 彩色滤光片(吸收介质) W)P_t"'@L  
 通过基底传播 |;1:$E"  
 探测 yaGVY*M0  
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元件内场分析器：FMM a}]@o"  
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模拟结果 Q-%=ZW Z  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) pq5H{  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ",@g
  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) WD1$"}R
 
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3D仿真与结果比较 KT?s\w  
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3D仿真与结果比较 $1 \!Oe[i  
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