[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 l}uZxKuYx  
zo
?RFn  
RTc@`m3 M  
<_xG)vwh.  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 *-9i<@|(U^  
C.S BJ  
建模任务 e(8hSVcl4  
UT\4Xk<  
WA(x]""  
I<D#   
模拟&设置：单平台互操作性 .}\8Y=  
建模技术的单平台互操作性 \}jA1oy  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 aoey 5hts  
n&:ohOH%  
wo0j/4o  
EQ$k^Y8
"  
 平面波光源 Ok_}d&A  
 微透镜阵列 3xy2Z
Yw  
 彩色滤光片(吸收介质) ^`kwSC  
 通过基底传播 QR&e~rks  
 探测 "UTW(~D'  
V5K/)\#  
连接建模技术：微透镜 c7XBZ%D  
RzqgN*]lY  
i3w
~&y-  
9
`*ST(0/  
v.(dOIrX  
连接建模技术：彩色滤光片 %aNm j)L  
eNd&
47lJ  
*tUOTA 3L  
f'=u`*(b7  
连接建模技术：可编程介质 %LrOGr  
O t)}:oG  
Y%?S:&GH  
qofAA!3z  
连接建模技术：自由空间传播 lOt7ij(,L  
w0~%,S  
VM%g QOo<  
lKsn6c,]  
连接建模技术：堆栈  T01Iu  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 =^KgNQ   
1Vu#:6%  
01'>[h#_n  
/JS_gr@DK  
 微透镜阵列 C-y MWr  
 彩色滤光片(吸收介质) W0f^!}f(  
 通过基底传播 ^)-[g  
 探测 >:-e  
'{ _ X1  
元件内场分析器：FMM e#*3X4<\K  
bG]0|  
Rge>20uTl$  
iA
z0 A  
模拟结果 ["D!IqI:  
N6._Jb  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Z[nHo'  
$U_(e:m}f  
+0&^.N
 

G%I .u  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) rQ.zqr  
&G"s!:  
|`o|;A]  
MDF_Xr-hZ  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) |*c1S -#  
!'N@ZZ  
$E@n;0P  
'W(u.  
3D仿真与结果比较 P*6m~`"5  
Z^>4qf,k  
wY<s  
[h'u@%N|/  
3D仿真与结果比较 ?>B?*IK!  
q@wD@_