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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-07
    摘要 ^o,y5 ,  
    u)wu=z8  
    @:I \\S@bN  
    _ak.G=  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 rAtai}Lx  
    `>$g y/N  
    建模任务 `Nc`xO?  
    :+kg4v&r  
    <#:Ebofsn  
    @DRfNJ}  
    模拟&设置:单平台互操作性 iLc)"L-i  
    建模技术的单平台互操作性 a>#d=.  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 -<u- +CbuT  
    Fa Qu$q  
    _gis+f/8h  
    Z:W')Nd(  
     平面波光源 g9RzzE!  
     微透镜阵列 uMljH@xBc  
     彩色滤光片(吸收介质) 9CgXc5  
     通过基底传播 =P@M&Yy'  
     探测 ayB=|*Q"  
     dfYYyE  
    连接建模技术:微透镜  WMt&8W5  
    ]0at2  
    &6=TtTp"9  
    XY&]T'A  
    TW;|G'}$  
    连接建模技术:彩色滤光片 !8H!Fj`|j  
    3 LZL!^ 5N  
    )of5229  
    A= \'r<:  
    连接建模技术:可编程介质 0jl:Yzo&\  
    ^H@!)+ =  
    nA{ncTg1\  
    %FXIlH5  
    连接建模技术:自由空间传播 WHdqO8  
    dK-  ^  
    dT*f-W  
    js%4;  
    连接建模技术:堆栈 Uv W:#  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 Rz])wBv e  
    ~Sn5;g8+\  
    Cz$H k;3\6  
    [5}cU{M  
     微透镜阵列 MfZ}xu  
     彩色滤光片(吸收介质) :c+a-Py $E  
     通过基底传播 [xp~@5r'  
     探测 [|m>vY!  
    *;ZW=%M  
    元件内场分析器:FMM ||"":K  
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    qx#ghcU  
    ]ZU:%Qhu  
    模拟结果 S|=rF<]my  
    `,8R~-GPD  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Rzn0-cG  
    ho SU`X  
    %3@RZe  
    J T0,Z  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) xYzcV%-Pm  
    D3ZT''  
    /hA}9+/  
    TnZc.  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) s/p>30Fg  
    ?6.KS  
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    3D仿真与结果比较 L{o >D"  
    DlQ[}5STF  
    ko7-%+0|]  
    Ow&'sR'CX  
    3D仿真与结果比较 ?-6x]l=]  
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