[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ^o,y5,  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 rAtai}Lx  
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建模任务 `Nc`xO?  
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模拟&设置：单平台互操作性 iLc)"L-i  
建模技术的单平台互操作性 a>#d=.  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 -<u- +CbuT  
Fa Qu$q  
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 平面波光源 g9RzzE!  
 微透镜阵列 uMljH@xBc  
 彩色滤光片(吸收介质) 9CgXc5  
 通过基底传播 =P@M&Yy'  
 探测 ayB=|*Q"  

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连接建模技术：微透镜 WMt&8W5  
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连接建模技术：彩色滤光片 !8H!Fj`|j  
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连接建模技术：可编程介质 0jl:Yzo&\  
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连接建模技术：自由空间传播 WHdqO8  
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连接建模技术：堆栈 UvW:#  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Rz])wBv e  
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 微透镜阵列 MfZ}xu  
 彩色滤光片(吸收介质) :c+a-Py $E  
 通过基底传播 [xp~@5r'  
 探测 [|m>vY!  
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元件内场分析器：FMM ||"":K  
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模拟结果 S|=rF<]my  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Rzn0-cG  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) xYzcV%-Pm  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) s/p>30Fg  
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3D仿真与结果比较 L{o >D"  
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3D仿真与结果比较 ?-6x]l=]  
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