[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 mV zu~xym  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 @1.9PR$x  
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建模任务 P)IjL&[  
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模拟&设置：单平台互操作性 T*\$<-^
 
建模技术的单平台互操作性 ;
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 } J(1V!EA  
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 平面波光源 Ff)@L-Y\K  
 微透镜阵列 8[HZ@@  
 彩色滤光片(吸收介质) p1^
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 通过基底传播 8t\}c6/3"  
 探测 7@~QkTH~y  
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连接建模技术：微透镜 uk6g s)qxC  
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连接建模技术：彩色滤光片 kp; &cQu!  
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连接建模技术：可编程介质 U2UyN9:6F  
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连接建模技术：自由空间传播 QQq/5r4O`q  
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连接建模技术：堆栈 f| =# q  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 x97H(*  
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 微透镜阵列 369Zu4|u  
 彩色滤光片(吸收介质) 6Wb!J>93  
 通过基底传播 vlAy!:CV  
 探测 {s9<ej~<R  
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元件内场分析器：FMM N5ci};?  
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模拟结果 ExqM1&zpK  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ?ff [$ab  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) wE8]'o  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) IG&B2*  
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3D仿真与结果比较 9LHa&""  
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3D仿真与结果比较 1Lc8fP$  
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