[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ,YBO}l  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ik)u/r DW  
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建模任务 4ME$Z>eN  
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模拟&设置：单平台互操作性 |Rx+2`6Dp  
建模技术的单平台互操作性 5%
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 pp1Kor  
BQ[R)o  
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U&Atgv  
 平面波光源 \}kR'l  
 微透镜阵列 F !OD*]  
 彩色滤光片(吸收介质) ecH7")  
 通过基底传播 j x< <h_j  
 探测 F 2zUz[  
4G;KT~Cgb  
连接建模技术：微透镜 qBK68B)  
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3Rsrb  
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Gh)d` 8  
连接建模技术：彩色滤光片 v^Fu/
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a;U)#*(5|v  
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连接建模技术：可编程介质 bf1$:09  
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{&D$U'ye  
连接建模技术：自由空间传播 lB/^  
s[UV(::E  
<6hs<qXqi  
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连接建模技术：堆栈 jpR]V86G  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 )g $T%  
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 微透镜阵列 vmOye/?k  
 彩色滤光片(吸收介质) n!X%i+|4x  
 通过基底传播 VJW8%s[  
 探测 .-MJ5d:  
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元件内场分析器：FMM 32anmVnf  
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模拟结果 [4B(rra  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟)
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3^q9ll7Op  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) .),9a,  
'h~IbP  
eW3?3l`fvt  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) :U'n0\  
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3D仿真与结果比较 &A/b9GW^-  
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3D仿真与结果比较 |rhB@k  
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