[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 pX"f "  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 0D=6-P?^W  
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建模任务 T2GJoJ!  
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模拟&设置：单平台互操作性 ZxY%x/K  
建模技术的单平台互操作性 E<Efxb'p  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 (zte'F4  
7
iT#dpF/A  
bvi Y.G3  
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 平面波光源 uK1DC i  
 微透镜阵列 y@e/G3  
 彩色滤光片(吸收介质) OUQySac  
 通过基底传播 C,&r7  
 探测 Dy mf  
Zg_ fec~6q  
连接建模技术：微透镜 7;5SK:X%dm  
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连接建模技术：彩色滤光片 h:[%' htz  
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连接建模技术：可编程介质 &C6Z-bS"  
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连接建模技术：自由空间传播 B _k+Oa2!  
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连接建模技术：堆栈 E
9<oA.  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;2*hN(  
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 微透镜阵列 wkc)2z   
 彩色滤光片(吸收介质) > &tmdE  
 通过基底传播 '(fQtQ%  
 探测 j2^Vz{  
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元件内场分析器：FMM RA^6c
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模拟结果 _D.4=2@|l8  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) x`n7D  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \8Y62  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) T]oVNy  
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3D仿真与结果比较 A9Kt^HR  
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3D仿真与结果比较 Jo'~
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