[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 '0;l]/i.  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 xJpA0_xfG  
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建模任务 C$=%!wf  
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模拟&设置：单平台互操作性 -u+vJ6EY  
建模技术的单平台互操作性 Gq)]s'r2  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 YR\faVk  
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 平面波光源 n-2]M05O  
 微透镜阵列 EmWn%eMN  
 彩色滤光片(吸收介质) PudS2k_Qv  
 通过基底传播 JJ-( Sl  
 探测 zy?|ODM  
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连接建模技术：微透镜 3Y4?CM&0v  
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连接建模技术：彩色滤光片 x3=A:}t8  
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连接建模技术：可编程介质 aH(J,XY  
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连接建模技术：自由空间传播 #<"~~2?  
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连接建模技术：堆栈 edq4D53  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 CT<7mi!  
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 微透镜阵列 #powub  
 彩色滤光片(吸收介质) r EE1sy/#  
 通过基底传播 B2vh-%63  
 探测 |Pax=oJ\M  
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元件内场分析器：FMM WM$ MPs  
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模拟结果 vzAaxk%  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) &vMb_;~B  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) B)g[3gQ  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) wH&!W~M  
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3D仿真与结果比较 qS$Ox?Bw#u  
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3D仿真与结果比较 3z?> j]  
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