[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 pQ:^ ziwa3  
=zK4jiM1  
QDQ"Sc06  
{eaR,d~X  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 In96H`  
eQu(3sYb  
建模任务 hoqZb<:  
ZxwrlaA  
/#M1J:SV  
D~ Y6%9  
模拟&设置：单平台互操作性 8e*skL  
建模技术的单平台互操作性 S1U0sP@o  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 4F#H$`:[  
@`4T6eL5  
S7f.^8  
VbvP!<8  
 平面波光源 _90D4kGU  
 微透镜阵列 w>^(w<~Y  
 彩色滤光片(吸收介质) \j`0f=z_  
 通过基底传播 ) bI.K[0^  
 探测 HdqB B
  
{k_\1t(/  
连接建模技术：微透镜 &`l\Q\_[@  
0@-4.IHl  
M8X6!"B$Y  
nwKp8mfP  
[q2:d^_F
A  
连接建模技术：彩色滤光片 uNyN[U  
: x&R'wX-  
t2(X  
<WZ{<'ajI  
连接建模技术：可编程介质 &<98nT  

"@eGg
Q  
<@;}q^`  
*zrGrk:l  
连接建模技术：自由空间传播 {S{%KkAV  
h8`On/Ur_8  
rwLKY.J]  
{wz)^A sy  
连接建模技术：堆栈 );d07\V  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 agx8*x  
IAH"vHM  
<!Cjq,Sk7  
;m7G8)I  
 微透镜阵列 M=Ze)X\E*'  
 彩色滤光片(吸收介质) _HHvL=  
 通过基底传播 I2$DlEke  
 探测 '/u|32  
AyO%,6p[  
元件内场分析器：FMM E,R
j;?  
paIjXaU1Mb  
Z|n|gxe  
/=p[k^A  
模拟结果 Z8$BgP  
>SDQ@63E?  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) w/*G!o-<  
T$D(Y`zdn  
B8Fb$  
,6{z  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) :1*E5pX0n  
l{dsm1#W~  
+ kKanm[!v  
e n~m)r3&  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) wPM>-F  
]%A> swCpn  
1- s(v)cxh  
dzOco)y  
3D仿真与结果比较 p$\>3\  
~6i'V?>  
H}kZ;8  
g&  e u  
3D仿真与结果比较 vWoppt  
$@'BB=i