[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 "=yz
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 VN]j*$5   
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建模任务 e5m]mzF@  
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模拟&设置：单平台互操作性 m.c2y6<=  
建模技术的单平台互操作性 c"zE  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 yDAvl+  
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 平面波光源 8r48+_y3u  
 微透镜阵列 s"(F({J  
 彩色滤光片(吸收介质) O;m[  
 通过基底传播 9XX:_9|I  
 探测 4v.i!U# {  
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连接建模技术：微透镜 DiSU\?N2'  
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连接建模技术：彩色滤光片 l|fb;Giq=D  
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连接建模技术：可编程介质 jk1mP6'P|  
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连接建模技术：自由空间传播 J['i  
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连接建模技术：堆栈 4']eJ==OH  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 'v%v*Ujf[  
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 微透镜阵列 (~]0)J  
 彩色滤光片(吸收介质) .{"wliC2  
 通过基底传播 XF`?5G~~#  
 探测 nmClP  
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元件内场分析器：FMM 7$7#z\VWu  
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模拟结果 @MfZP~T+  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) R'h.lX  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) C@rIyBj1g  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) B=|m._OL]n  
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3D仿真与结果比较 :-e[$6}S  
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3D仿真与结果比较 Y9y'`}+  
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