[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ~3<> 3p  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 }}59V&'t  
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建模任务 YOcO4   
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模拟&设置：单平台互操作性 B6={&7U2  
建模技术的单平台互操作性 $` ""  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ff^=Ruf$  
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 平面波光源  qi^7  
 微透镜阵列 m^zUmrj[  
 彩色滤光片(吸收介质) NCDvobYJ  
 通过基底传播 |!4K!_y  
 探测 YuO.yh_  
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连接建模技术：微透镜 wfH^<jY)E  
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连接建模技术：彩色滤光片 JJN.ugT}1  
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连接建模技术：可编程介质 H*PSR  
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连接建模技术：自由空间传播 ``hf=`We  
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连接建模技术：堆栈 b0Ps5G\ u  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;~m8;8)  
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 微透镜阵列 3[Qxd{8r  
 彩色滤光片(吸收介质) zBzZxK>$  
 通过基底传播 "ut39si  
 探测 )"7iJb<E  
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元件内场分析器：FMM *nkoPVpC  
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模拟结果 ek*rp`y]  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Rl?_^dPx  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 4V)kx[j  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) &5B'nk"  
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3D仿真与结果比较 s+$ Q}|?u  
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3D仿真与结果比较 rr],DGg+B]  
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