[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 \Rqh|T<D  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ^@lg5d3F  
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建模任务 ak8^/1*@  
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模拟&设置：单平台互操作性 I= h4s(  
建模技术的单平台互操作性 #IhLpO  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 [S&O-b8A  
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 平面波光源 6(^Upk=59  
 微透镜阵列 dwbY"t[9  
 彩色滤光片(吸收介质) }42qMOi#w1  
 通过基底传播 |5B,cB_  
 探测 n
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连接建模技术：微透镜 1;kG[z=A  
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连接建模技术：彩色滤光片 h3]@M$Y[  
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连接建模技术：可编程介质 M`+e'vdw  
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连接建模技术：自由空间传播 g t^]32$  
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连接建模技术：堆栈 WW[`E  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ELrZ8&5G  
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 微透镜阵列 +)JNFy-  
 彩色滤光片(吸收介质) 7Z`Mt9:Ht  
 通过基底传播 k99gjL`  
 探测 9!xD~(Kr  
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元件内场分析器：FMM KI Plb3oh  
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模拟结果 4kaE}uKU  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) uhTKCR~  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) k_K,J6_)  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) $^vp'^uW>  
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3D仿真与结果比较 Dm|gSv8d,  
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3D仿真与结果比较 [}A_uOGEP  
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