[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 grd fR`3  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 "LZv\c~v,%  
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建模任务 `Z`o[]%  
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模拟&设置：单平台互操作性 YL4yT`*  
建模技术的单平台互操作性 ;[,#VtD  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 M%eTNsbNm  
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 平面波光源 ',Oc+jLR  
 微透镜阵列 4Gh%PUV#  
 彩色滤光片(吸收介质) )B^T7{  
 通过基底传播 mndNkK5o  
 探测 (>om.FM  
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连接建模技术：微透镜 BLo=@C%w5  
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j B{X{Z  
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连接建模技术：彩色滤光片 LC/%AbM  
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连接建模技术：可编程介质 @%As>X<3t  
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连接建模技术：自由空间传播 f:A1j\A?  
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连接建模技术：堆栈 14Jkr)N  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 &m@DK>  
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 微透镜阵列
4{=^J2z  
 彩色滤光片(吸收介质) ]A:G>K  
 通过基底传播 }$'T=ay&  
 探测 Ykj+D7rA:  
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元件内场分析器：FMM D +9l$**a  
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H*EN199  
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模拟结果 (yhnvZ  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Q2xzux~T  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) b(:U]>J  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) T [2l32  
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3D仿真与结果比较 Z {*<Gx  
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3D仿真与结果比较 45tQ$jr`1  
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