[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 *C^TCyBK;  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 >}86#^F  
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建模任务 %O>_$ 4q  
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模拟&设置：单平台互操作性 M|7{ZE`Y  
建模技术的单平台互操作性 DF"*[]^[  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 I&5cUj{GX-  
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 平面波光源 0Rh*SoYrC  
 微透镜阵列 RP6hw|  
 彩色滤光片(吸收介质) 2c5)pIVEy  
 通过基底传播 :) T#.(mR  
 探测 E
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连接建模技术：微透镜 ~&+8m=   
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连接建模技术：彩色滤光片 Vc "+|^  
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连接建模技术：可编程介质 ;-kg3fGB1Q  
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连接建模技术：自由空间传播 qWI8 >my11  
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连接建模技术：堆栈 iMp_1EXe  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 V"|j Dnn5  
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 微透镜阵列 +InFv"wt  
 彩色滤光片(吸收介质) @Y+9")?  
 通过基底传播 (APGz,^9#  
 探测 
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元件内场分析器：FMM @86I|cY  
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模拟结果 ~a.ei^r  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 6
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) o$,e#q)8  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 0I[3
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3D仿真与结果比较 UoKXo*W2  
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3D仿真与结果比较 X##hSGQM  
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