[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 i0g/'ZP  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 B{2WvPX~q  
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建模任务 `+]e}*7$f  
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模拟&设置：单平台互操作性 g=Bge)  
建模技术的单平台互操作性 !JnxNIr&i|  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 rvG0aqO`  
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 平面波光源 j%ux,0Y  
 微透镜阵列 Nc\jA=  
 彩色滤光片(吸收介质) +Cs.v.GA5  
 通过基底传播 @s8wYcW  
 探测 aBT8mK -.  
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连接建模技术：微透镜 -oB`v'  
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flS_rY5  
+O?`uV  
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连接建模技术：彩色滤光片 V\P .uOI  
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M2piJ'T4u  
连接建模技术：可编程介质 <ql:n  
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M <ccfU!  
连接建模技术：自由空间传播 6r}w  
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K?gO]T{6  
连接建模技术：堆栈 NUM+tg>KM  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 =g<Yi2  
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 微透镜阵列 7f\/cS^  
 彩色滤光片(吸收介质) sV-UY!   
 通过基底传播 vg-'MG  
 探测 <~P([5  
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元件内场分析器：FMM R/ 3#(5  
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模拟结果 WlRaD%Q  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Mk|*=#e;  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ,N@N4<C]  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) v.{I^=  
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3D仿真与结果比较 e|Mw9DIW  
~RIa),GVX  
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0w ;#4X:m  
3D仿真与结果比较 fp'%lbk=  
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