[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 vZC2F  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 pN&Dpz^  
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建模任务 (^eS
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模拟&设置：单平台互操作性 r,i^-jv;  
建模技术的单平台互操作性 E'$r#k:o  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 au574tj  
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K|Std)6  
 平面波光源 GfY!~J  
 微透镜阵列 m$A|Sx&sG$  
 彩色滤光片(吸收介质) V_!hrKkL  
 通过基底传播 ]BCH9%zLj  
 探测 ?YX2CJ6N  
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连接建模技术：微透镜 6+FmYp  
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连接建模技术：彩色滤光片  F[115/  
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连接建模技术：可编程介质 NXDdU^w7B  
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连接建模技术：自由空间传播 ^{-J Y  
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&BCl>^wn}  
连接建模技术：堆栈 Yc/rjEn7O  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 =wPl;SDf!  
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CP'?Om2  
 微透镜阵列 WWc{]R^D  
 彩色滤光片(吸收介质) a*NcL(OC  
 通过基底传播 zOCru2/  
 探测 %-i2MK'A  
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元件内场分析器：FMM 6jiVz%`=Z  
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模拟结果 y!."FoQ  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) tV9nC  
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uYhm Fp  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) gsqlWfa  
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F# y5T3(P  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) V?t^ J7{'  
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3D仿真与结果比较 H@qA X  
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3D仿真与结果比较 OySIp[{tJ  
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