[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 k[l+~5ix  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ujZki.x  
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建模任务 w|x=^  
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模拟&设置：单平台互操作性 >wjWX{&?  
建模技术的单平台互操作性 )^uLZMNaI  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 F_!6C-z  
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 平面波光源 br}.s@~  
 微透镜阵列 L`YnrDZK  
 彩色滤光片(吸收介质) +vkqig  
 通过基底传播 H*3f8A&@s  
 探测 d3T|N\(DL  
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连接建模技术：微透镜 {nT !|S)$  
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连接建模技术：彩色滤光片 6hYv  
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%}P^B^O  
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连接建模技术：可编程介质 epm  t  
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连接建模技术：自由空间传播 XZuJ<]}X,  
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连接建模技术：堆栈 uJMF\G=nb  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Kwfrh?  
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 微透镜阵列 Q<zL;AJ  
 彩色滤光片(吸收介质) ExI?UGT  
 通过基底传播 zY(*Xk  
 探测 N{iBVl  
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元件内场分析器：FMM N2;T\xx,  
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模拟结果 jfl7L"2  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) KwWqsuju  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) b.h~QyI/W  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 6*kY7  
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3D仿真与结果比较 nWbe=z&y8[  
O\XN/R3  
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3D仿真与结果比较 !zvKl;yT  
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