[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ):]5WHYg  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Jbn^G7vH<6  
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建模任务 _%wB*u,X  
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模拟&设置：单平台互操作性 Q%:Z&lgy  
建模技术的单平台互操作性 INEE 37%  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 &EhOSu  
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 平面波光源 pv,z$
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 微透镜阵列 TDX~?>P  
 彩色滤光片(吸收介质) R0urt  
 通过基底传播 I23"DBR3  
 探测 ct
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连接建模技术：微透镜 aUi^7;R&<  
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连接建模技术：彩色滤光片 Ln8r~[tVE<  
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连接建模技术：可编程介质 =&^tfD  
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连接建模技术：自由空间传播 akG|ic-~  
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连接建模技术：堆栈 X/Ii}X/p  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 MeYu  
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 微透镜阵列 )"](?V  
 彩色滤光片(吸收介质) %'/^[j#

 
 通过基底传播 |Yv,zEY)  
 探测 1.5R`vKn]  
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元件内场分析器：FMM Z4g<Ys*  
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模拟结果 8Y_lQfJa  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ;M"[dy`dY  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) -wVuM.n(Z  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 4wWfaL5"  
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3D仿真与结果比较 k"6v& O  
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