[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 j`QXl  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 "@L|Z6U(  
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建模任务 Qn \=P*j  
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模拟&设置：单平台互操作性 %";ap8J04F  
建模技术的单平台互操作性 e?<$H\  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 dC?l%,W  
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 平面波光源 R]N"P:wf@  
 微透镜阵列 u(~(+1W  
 彩色滤光片(吸收介质) F@1Eg
  
 通过基底传播 !-tVt D  
 探测 LT:8/&\  
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连接建模技术：微透镜 7@Xi
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连接建模技术：彩色滤光片 cD9.L  
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连接建模技术：可编程介质 j=Z;M1  
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连接建模技术：自由空间传播 bl[2VM7P  
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连接建模技术：堆栈 m5lTf
 
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 5 &s<&h  
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 微透镜阵列 ^TAf+C^Ry  
 彩色滤光片(吸收介质) AX6l=jFZx  
 通过基底传播 K*N8Vpz(  
 探测 M+WN\.2pX  
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元件内场分析器：FMM ]>,Lw=_[_  
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模拟结果 >Slu?{l'  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) s:^Xtox/  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 0f"la=6  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) r-5xo.J'  
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3D仿真与结果比较 p&ZLd
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3D仿真与结果比较
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