摘要 z)yxz:E
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W9{6? ,] )1Os +0az 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
?fc({zb L5of(gQ5] 建模任务 ft4J.oT
B.;/N220P
r^VH [c@c XNf%vC> 模拟&设置：单平台互操作性 :_i1)4[! 建模技术的单平台互操作性 %{5mkO&,2 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
a@lvn/b2 S;a{wY F6v 
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~RZpS d9sl(;r 平面波
光源 UP 75}h9 微透镜
阵列 #ZRQVC; b; 彩色滤光片(吸收介质)
X'IW &^kI 通过基底传播
0^5SL/2 探测
[&j!g g(>;Z@Y
连接建模技术：微透镜 j$n[; \]n &M*&oi ( 7y&Fb 
o2@8w[r |/Am\tk#13 连接建模技术：彩色滤光片 S e%FqI Gyk>5Q}} 
~}i &gd|( ; mu9;ixZ 连接建模技术：可编程介质 *Ny^XQ_ X
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5 b( [1*
3YR6@*!f/ 连接建模技术：自由空间传播 =oV8 !d%] c1'OIK C 
iXqc$!lTH /RT3 r 连接建模技术：堆栈 :\NqG S=< 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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<bDjAVq TSt-#c4B 微透镜阵列
#U{^L{1Gx 彩色滤光片(吸收介质)
vS6} R5 通过基底传播
$M@SZknm 探测
{l-,Jbfi` `^-?yu@ 元件内场分析器：FMM [#fXmW>N/ 5][ Rvu0 
^VR1whCrx ]0G OSh 模拟结果 f \!*%xS; 57'=Qz52 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) :+|b7fF 43W>4fsc 
{d.`0v9h WIb\ +! 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) {6!Mf+ Xq
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Is` S i,NN" 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) l!ltgj
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7 6~x|6) h6}oRz9= g 3D仿真与结果比较 pM9Hav@iWU
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